高亮度、高分辨率大屏幕液晶光阀投影机中光电导层和反射层的研究

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1、电子科技大学硕士论文摘要本瑚宽高亮度、高分辨率大屏幕液晶光阀投影机中反射层及光电导层进、、厂行了研究，，主要工作有两部分：光电导层(a．Si：H)的制备工艺；介质反射镜的设计及制备；对于光电导层主要是从从理论上分析了液晶光阀光电导层对光电阻、暗电阻、厚度这三个参数的要求，并分析了它对分辨率的影响，最后是如何从工艺条件上达到a．si：H薄膜性能要求。介质反射镜方面首先进行介绍了光学薄膜的设计理论，用MATLAB进行编程模拟L?4介质膜系多层高反射膜，并介绍了它的制备原理，测试方法，我所设计的反射镜采用了SiO-dTi02高低折射率交替Lt4介质

2、膜系，最终制得了反射率高达99．5％～99，8％的介质反射镜，这在性能上完全能够满足液晶光阀的要求。关键词：液晶光阀、空间光调制器、氢化非晶硅、介质镜、光电导层、光吸收层、分辨率电子科技大学硕士论文AbstractThepaperdescribesthestudies0fphotoconductivelayerandreflectirelayerinthehighbrightness，hi95res01utionandlargescreen1iquidcrystallightvalve．Themainworkincludetwoparts：T

3、heprocessandpreparationofphotoconductive1ayer：Thedesignandpreparationofdielectricmirror：themainworkofphotoconductivelayeriStoanalysetherequirementsofthelightresistanceandthedarkresistance，thicknessofa～Si：H．alsotoanalysethedefinitioninfluenceofthephotoconductive，thegoalistoa

4、ttaintheperformancerequirementoftheliquidcrystal1ightvalvebyprocess．Aboutdielectriclayer，thefirstpartissomeopticalfilmdesigntheory，thenuseIfATLABtosimulate九／4dielectrichighreflectivltyfilm．thesecondpartiStheintroductionofpreparationprincipleofthedielectriclayersandthetestme

5、thodofthethinfiImthickness．TheSi倪／Ti砚L／4dielectriclayersthatIhavedesignedhaveachievedareflectivityupto99．5％-99．8％，andmeetourrequirementsof1iquidcrystal1ightvalve．Keyword：LCLV，spatiallightmodulator，a—Si：H．dielectricmirror，photoconductirelayer，lightblockinglayer．resolution电子科

6、技大学硕士论文第一章引言§1．1概述液晶光阀(LiquidCrystalLightValve简写为LCLV)是一种高分辨率空间光调制器(SLM)。目前，空间光调制器的种类较多。如液晶光阀、普尔斯克空间光调制器(PROM)、微通道板空间光调制器等。但液晶光阀是实际使用最多的一种空间光调器，目前广泛用于投影电视、全息照相、图像识别、立体投影、图像检查、光学计算等领域。基于液晶光阀的实时大屏幕投影显示是接受低亮度、小屏幕的图像．用来自另一光源的光实时将它转换为高亮度、大屏幕图像，本文的研究就是以大屏幕投影显示为背景的。表1．1给出了液晶光阀的基本功

7、能。表1．1液晶光阀的基本功能写入光的性质读出光的性质液晶光阀的功能低亮度高亮度光信息放大非相干光相干光相干性能转换红外紫外光可见光波长变换(可视化)低(非)偏振光偏振光偏振转换液晶光阀(LCLV)投影机是由美国Hughes航空研究室于1970年发明和研制的，它是Hughes与日本JVC联合开发的产物，其基本结构示于图1·l。电子科技大学硪士论文、、／图1．1液晶光阀投影机的基本结构它主要有写入信号源的CRT(或LCD)，将CRT图像投射到液晶光阀上面的透镜LI，液晶光阀。读出光光源Lamp、透镜k，偏振光分束器PBS、投影主透镜Lt及屏幕(

8、Sta-een)组成。液晶投影机(以液晶层为TN或MTN为倒)的工作原理如下：PBS将光源(如氤弧灯或金属卤化物灯)发出的光偏振他(起偏)，通常，PBS被设计成反射