精密与超精密加工技术精密提纲

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1、精密提纲1.精密加工的尺度界限答：微加工涉及纳米加工技术，小至微米尺度和纳米尺度，超精密加工已经小到原子格子间距(0・3nm)的亚纳米级领域。2.物理加工答：包括电火花加工，激光加工，超声波加工3.表面粗糙度加工表面具有的较小间距和微笑峰谷不平度。其两波峰或两波谷之间波距1mm以下，属于微观几何形状误差。4.EEM-ElasticEmissionMachining答：弹射加工(EEM)是指旋转的研磨球与工件不直接接触，抛光液作为其间的润滑膜(约1um),微磨粒沿着其间的流向与工件表面平行流动进行化学加工。5超景深显微镜答：超景深显微镜利用光学聚焦原理，分层检测确定高度值，再重构

2、三维形貌。实现生动清晰的3D观测，超高分辨率观测，现场保存图像等。6非接触三维白光干涉检测答：采用白色光源在半反射镜上分叉到测试表面和参照镜，再反射回来结合于半反射镜，当光路差相等时发生干涉。白色光的干涉性较小，能够在很小范围内产生干涉条纹，因此，通过采集的干涉强度驱动干涉计的垂直光轴方向，能够调节到干涉条纹的零位置。7、形状误差答：形状误差是指实际形状对理想形状的变动量。这个变动量就是实际得到的误差值。它是用来表示零件表面的一条线，或一个面，加工后本身所产生的误差,是实际测得值。8、MCP-MeehanicaIChemicaIPolishing答：机械化学抛光加工：电子部分材

3、料需要被加工机能材料时，加工次表面的结晶缺陷极为小，因此，在抛光中选用0.5微米的磨料，其加工机理就会伴随着化学反应的过程9、光干涉显微镜和超景深显微镜的应用范围？光干涉显微镜：适用于对多种物体的显微观察超景深显微镜：广泛应用于观察微生物，半导体的质量监控，还扩展到电子，化工和制药行业上10、化学加工答：化学加工是利用酸、碱或盐的溶液对工件材料的腐蚀溶解作用，以获得所需形状、尺寸或表面状态的工件的特种加工。11v精密机床的SSS(supersmoothsurface)控制模块答：SSS(SuperSmoothSurface)超高平滑表面控制，大幅改善模具加工精度及时间要求。SS

4、S(supersmoothsurface)控制在较大领域进行形状识别，以实现最优速度控制。SSS控制模块不仅能在任何陡悄或拐角处加工出光滑面,而且可以将加工时间缩短约50%o12、零部件表面功能特性主要是追求表面粗糙度的改善？表面结构形状的优化和控制？答：零部件表面功能特性主要是追求表面按结构形状的优化和控制，可以产生新的功能特性，使得工作系统具有更高的性能，更小的结构尺寸和更低的能量消耗。13、EEM-EIasticEmissionMachining答：弹射加工：旋转的研磨球与工件不直接接触抛光液作为其间的润滑膜，微磨粒沿着其间的流向与工件表面平行流动，进行化学加工14、在化

5、学抛光中硅晶片和石英玻璃材料时一般采用何种抛光磨料？对于石英玻璃一般采用二氧化硅磨粒，采用二氧化硅磨粒不是让材料变形破坏,而是利用各自表面的活性进行化学反应，使得化学与机械作用复合工作.15、脆性材料工件的脆/塑性转变的临界切除深度？切削硬脆性工件时，切削深度要控制在亚微米级范围及以下，才能发生脆性材料的塑性去除加工16、超精密加工设备的关键控制因数？超精密主轴、超精密导轨、传动系统、超精密工具盒精密检测技术17、金刚石表面的微结构加工选择电子束加工？还是离子束加工？电子束加工18、龟裂变为主的普通加工和纳米级破坏的超精密加工。纳米级破坏的超精密加工：欲得到1cm的加工精度，加

6、工的最小单位必然在亚微米级。由于原子间的距离为0.T0.3nm,纳米级加工实际上已经到了加工精度的极限。纳米级加工中，试件表面的一个个原子或分子将成为直接加工对象。纳米级加工的物理实质就是要切断原子间的结合，实现原子或分子的去除。19、切削和磨削加工技术加工的微结构功能表面应用？切削：磁盘芯片，球面、非球面反射镜，感光鼓，球面、非球面模芯磨削：微结构光学功能元件模具20、金属部件的复杂结构表面抛光通常选择电子束加工还是离子束加工？电子束加工是基于电能使电子加速转换成动能，在撞击工件时动能转换成热能使材料熔化、气化而被蚀除，主要用于打孔、切割、焊接、热处理等。而离子束加工是电能使

7、质量较大的正离子加速后打到工件表面，靠机械撞击能量使工件表面的原子层变形、破坏或切除分离，并不发热，主要用于精微表面工程，有离子刻蚀、溅射沉积、离子镀、离子注入等形式。故选择离子束加工21、误差补偿加工supersmoothsurface控制模块能在任何陡ill肖或拐角处加工出光滑面，而且可以将加工时间缩短50%0supersmoothsurface控制模块通过对比形状识别自动选择最优速度加工路线，从而避免不必要的减速并且能光顺地进给。OMR-FF控制模块可以直接从加工的机械部分补偿CNC指