专用设备制造行业：以长江存储为例，国内存储芯片的设备供应链格局解析

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1、目录1.为何以长江存储为例？31.1.长江存储是国内投资规模、规划产能最高的项目之一31.2.回顾2018年，长江存储对国产设备支持力度较大41.2.1.分析前提：公开数据与真实情况有差异，但不影响整体格局41.2.2.长江存储的整体设备国产化率较高51.2.3.与下游设备、材料商合资成立研发中心，支撑产业发展61.3.展望2019年，长江存储进入设备采购与搬入的高峰期71.3.1.据产业调研，长江存储已进入第二阶段20K产能爬坡期71.3.2.近期招投标数据可对产业调研结论做充分验证72.北方华创、中微公司等厂商加速实现供应82.1.刻蚀设备：中微市占率提升，北方硅刻

2、蚀进入供应链82.2.成膜设备：北方的PVD、拓荆的PECVD有较大提升空间92.3.清洗设备：盛美在单片清洗领域保持较大优势92.4.氧化/退火设备：北方的炉、Mattson的RTP有明显优势102.5.量测设备：中科飞测、睿励科仪实现突破102.6.研磨抛设备：华海清科实现多家供应112.7.其他国产设备厂商：北京京仪、沈阳科仪123.结论及投资建议124.风险因素144.1.技术开发风险144.2.受行业景气影响的风险141.为何以长江存储为例？1.1.长江存储是国内投资规模、规划产能最高的项目之一长江存储是国内三大存储器项目之一（另外二者为福建晋华、合肥长鑫），

3、是国内实现存储芯片国产化率提升的重点支持项目。“长江存储”的实施主体长江存储科技有限责任公司于2016年7月在中国武汉成立，是一家专注于3DNAND闪存芯片设计、生产和销售的IDM存储器公司。长江存储为全球工商业客户提供存储器产品，广泛应用于移动设备、计算机、数据中心和消费电子产品等领域。正式开工建设国家存储器基地奠基32层3DNAND闪存芯片T/O设计完成长江存储科技有限责任公司成立国务院批复国家存储器基地落户武汉图1：长江存储项目于2016年启动，2018年实现试投片2016.2016.2016.2016.2017.0702.2303.2807.2612.30201

4、7.09.282017.112018.04.112018年底2019年底64层3DNAND闪存量产生产机台正式进场安装厂房主体提前封顶32层3DNAND闪存芯片试产32层3DNAND闪存芯片完成首次验证数据来源：长江存储官网、相比于另外两个项目，长江存储的投资规模、规划产能更高。按照规划，长江存储一期主要产品为3DNAND，预计投入240亿美元（1612亿人民币），到2020年形成月产能30万片的生产规模（分三期，每期10万片/月），到2030年建成每月100万片的产能；而合肥长鑫项目主要产品为DRAM，预计投资额72亿美元（484亿人民币），规划到2019年底一厂实现

5、产能2万片/月，2020年开始规划二厂建设；福建晋华项目主要产品为DRAM，一期总投资370亿人民币（55亿美元），到2019年底一厂一期项目实现月产6万片产能，到2020年底一厂二期同样达产6万片。表1:长江存储的投资规模、规划产能最高公司地点生产项目技术节点投资金额(亿美元)月产能(万片)生产状态签订/启动时间开工时间封顶/搬入设备投产时间量产时间长江存储武汉3DNANDFlash40~50nm24030（2020年）投产2016/3/282016/12/302018年4月2018年底2020年合肥长鑫合肥DRAM19nm722（2019年一厂）投产2016年5月2

6、017年5月2018年1月2018年底2019年底福建晋华泉州DRAM32-20nm556（2019年一厂）暂停2016年5月2016/7/162018年7月-2019年底数据来源：各公司官网、合肥长鑫DRAM72亿美元长江存储3DNANDFlash240亿美元福建晋华DRAM53亿美元图2：长江存储的投资规模、规划产能最高数据来源：各公司官网、因此，考虑到：1）长江存储的中期及长期投资规模较大；2）长江存储目前处于稳步推进的过程中，投产、量产等时点相对比较确定；3）长江存储背靠的紫光集团后续在南京、成都等地依旧有较长期、较大规模的投资规划。我们认为，以长江存储的设备供

7、应链来分析整个存储芯片的供应链格局，具有较强的代表意义。1.1.回顾2018年，长江存储对国产设备支持力度较大1.1.1.分析前提：公开数据与真实情况有差异，但不影响整体格局2018年第一季度，合肥长鑫率先移入机台设备；2018年4月11日，长江存储武汉基地芯片生产机台正式进场安装，标志着这两大存储器基地纷纷从厂房建设阶段进入量产准备阶段。而根据一般经验，设备的采购与意向订单下发一般领先于设备进场6-12个月，而数据的公示又往往滞后于意向订单签订。这其中存在三类例外：1）部分freedemo设备（主要是想要新进入供应链的设备商）与厂商的接