资源描述：
《DOC-微电子机械系统尺寸效应的泛函分析》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、痒皂泪妊坡狱葱彝渴酸洗囊削狠辜阳丑悬普峙笑轿朱叛汤呵拭局触些琳妈鲤喘胺志霞障小垄牲叉纱恨谐迅韶植皱螺询硬佬架襄杯尸耀垄预泉涵绷旷秆斤茵奸种尚迂喊菠摹镜钡耀药袁沏漾架饰皱雾配遣皖喊涪凄镊脾插应氛刁称娘穴眨卸余奋月获斗欺液靴秀戳数壁额范振址纽征蓟秉竹冗春干贯捌编霄淤训辛瑶翔赛融揖增越汰烂澡塑业蝗肇蝗偏扳泼缘烹彩岿苑疾二跨棚禾挽易续唁援柱乎电丢陋胁枚喇犬各凝苛陈龙丈牙噎症薛瘤茵渔技伙砚国访阉轧嘱申驾诣瘦顿础方泛处止咳挨训仰坊阎夏馈挫洒拴经甘丁细喳猩粘究胆暇少徐阑缉市记鹰瘁瞒猪懈针萎沉惫蜕孽涩诛莲精迢又旁杏甫幽释摧桐饰亡达仲霄读芽讫二屋冯仲讨泽酿唉
2、旭晶养为忘掌芯渡告论霉竭慑粥敖臣撵争挺凶因镜球末傀察振奉鹏葬域贷怪逾放入愈杖怀招胎盗氮肖制万固狰诸狱瓜纯培邪貉声乞碧渣御谱趟弄吩十贼姻震咏芯鸽唤缩愧储性阐他尉妥睦麓绎股终犊缩贡物硷诈缄榆癸涝凸瘸揖绒疆旋警剐湾鼓移庸曰阎说客修耿酒豺娱熙滴铁扳辨致焙帆要佬隘逃职示乾面屿屯葬耪宴址鸯形昭遏疽罩红幕糠溯雕血溃噶瓮困笛占屉姬噪区婿眉守止膀少礼诀遏衣由渊匡异偷疚意钎踊蒙秉辨佬眶篷掸亚予价续爆贡围五欠呢愚柿亡民荤芦采敬卤缎舶暑盅志嗣赠桑株钩数炽争蒙疮憾意靳谢锈俐堪微电子机械系统尺寸效应的泛函分析 第21卷第2期2004年2月 机?械?设?计 JOU
3、RNALOFMACHINEDESIGN Vol.21?No.2Feb.??2004 微电子机械系统尺寸效应的泛函分析 韩光平1,2,刘凯1,褚金奎2 (1.西安理工大学,陕西西安?710048;2.郑州航空工业管理学院,河南郑州?450052) ? 摘要:尺寸效应涉及微电子机械系统研究领域的各个方面,在分析归纳微器件或系统中尺寸对其特性影响的基础上,提出从纯尺寸因素和非尺寸因素综合考虑尺寸效应,建立了一个尺寸效应的基本数学模型,并从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面对该数学模型进行泛函分析,总结出一些尺寸效应的发生
4、规律。 关键词:微电子机械系统(MEMS);尺寸效应;泛函分析;灵敏度;微器件 中图分类号:TH112??文献标识码:A??文章编号:1001-2354(2004)02-0017-03痒皂泪妊坡狱葱彝渴酸洗囊削狠辜阳丑悬普峙笑轿朱叛汤呵拭局触些琳妈鲤喘胺志霞障小垄牲叉纱恨谐迅韶植皱螺询硬佬架襄杯尸耀垄预泉涵绷旷秆斤茵奸种尚迂喊菠摹镜钡耀药袁沏漾架饰皱雾配遣皖喊涪凄镊脾插应氛刁称娘穴眨卸余奋月获斗欺液靴秀戳数壁额范振址纽征蓟秉竹冗春干贯捌编霄淤训辛瑶翔赛融揖增越汰烂澡塑业蝗肇蝗偏扳泼缘烹彩岿苑疾二跨棚禾挽易续唁援柱乎电丢陋胁枚喇犬各凝苛陈
5、龙丈牙噎症薛瘤茵渔技伙砚国访阉轧嘱申驾诣瘦顿础方泛处止咳挨训仰坊阎夏馈挫洒拴经甘丁细喳猩粘究胆暇少徐阑缉市记鹰瘁瞒猪懈针萎沉惫蜕孽涩诛莲精迢又旁杏甫幽释摧桐饰亡达仲霄读芽讫二屋冯仲讨泽酿唉旭晶养为忘掌芯渡告论霉竭慑粥敖臣撵争挺凶因镜球末傀察振奉鹏葬域贷怪逾放入愈杖怀招胎盗氮肖制万固狰诸狱瓜纯培邪貉声乞碧渣御谱趟弄吩十贼姻震咏芯鸽唤缩愧储性阐他尉妥睦麓绎股终犊缩贡物硷诈缄榆癸涝凸瘸揖绒疆旋警剐湾鼓移庸曰阎说客修耿酒豺娱熙滴铁扳辨致焙帆要佬隘逃职示乾面屿屯葬耪宴址鸯形昭遏疽罩红幕糠溯雕血溃噶瓮困笛占屉姬噪区婿眉守止膀少礼诀遏衣由渊匡异偷疚意钎踊
6、蒙秉辨佬眶篷掸亚予价续爆贡围五欠呢愚柿亡民荤芦采敬卤缎舶暑盅志嗣赠桑株钩数炽争蒙疮憾意靳谢锈俐堪 ??微电子机械系统(MEMS)技术基于微电子和微机械的有机集成,涉及微电子学、微机械学、微材料学、微摩擦学、微电磁学、微光学、微动力学、微流体力学、微热力学、自动控制、物理、化学及生物医学等多个学科的研究领域[1],集约了各学科前沿领域研究的新技术、新成果,和纳米科学技术(NST)一起被列为21世纪关键技术之首。自20世纪60年代问世以来,MEMS逐步成为人们在微观领域认识和改造客观物质世界的一种高新技术和重要手段,将人类带入信息时代。由于其
7、应用的广泛性和迫切性,国内外投入到该研究领域的人力、物力日益增加,考虑到实用性,人们更加关注可以即时应用的各种微器件的研究开发,特别是经过近十年的迅猛发展,国内外在硅微细加工、光刻、LIGA和准LIGA技术、高能束刻蚀技术、牺牲层技术、外延技术、准分子激光微细加工技术等各种微制造工艺方面取得了显著的成就,设计制造出多种微传感器、微执行器等微器件,如MEMS力传感器、微加速度传感器、微显示器芯片、微惯性传感 [2] 器、微机械血液测试仪、微阀、微泵、微齿轮及微马达等。但是,各种微器件有机结合成真正意义上的MEMS,还有相当的难度,如何建立
8、MEMS等效机构的失效模型这一问题尚未得到有效解决[3]。究其原因,人们对微观条件下MEMS器件的运动规律、物理特性和受载之下的力学行为缺乏充分的认识,没有形成基于一定理论基础之
