有关机械专题报告真空帮浦

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1、機械專題報告真空幫浦班級:自控四乙學號:99712024姓名:鄭宏昇圖片來源:http://www.gohappy.com.tw/shopping/Browse.do?op=vp&sid=158&cid=28472&pid=1311728(Vacuumpump)目錄介紹真空幫浦發展史何謂真空幫浦真空幫浦種類介紹真空幫浦原理真空幫浦用途參考文獻圖片來源:http://tw.asiamachinery.net/supplier/product_details.asp?ProID=1491&SupID=1432真空幫浦-發展史真空幫浦技術是一項古老的技術，早在1640年Galileo即曾經利用活

2、塞機構來抽真空。現今之真空幫浦則與舊有的幫浦在抽氣性能、功能設計及應用範圍上有著截然不同之處。最主要原因是因應高科技產業如半導體製造及光電產業等圖片來源:http://tieba.baidu.com/f?kz=491135475馬德寶半球實驗何謂真空幫浦一特定空間內之氣體去除，以減低氣體分子數目，造成某種程度之真空狀態之機件，統稱為真空幫浦。有的真空幫浦是將真空裝置內的氣體輸送到較高壓力的外部而排出，諸如油旋轉幫浦、擴散幫浦或噴射幫浦之類的蒸氣噴射泵浦。圖片來源http://www.gohappy.com.tw/shopping/Browse.do?op=vp&sid=158&cid=28

3、472&pid=1311728電動真空幫浦真空幫浦種類介紹真空幫浦-排氣式此類真空幫浦其作用為將低氣壓處的氣體排送到高氣壓的地方，如果只應用一個幫浦抽氣，只能將系統內得氣體直接排出到系統外面的大氣中，如果應用兩階段抽氣，亦即應用兩種不同的幫浦串聯抽真空，則氣體從系統內較低氣壓處被一幫浦送到較高氣壓處，然後再由另一幫浦抽送到大氣中，通常後者被稱為前段幫浦亦稱為粗略幫浦，前者有時被稱為高真空幫浦。圖片來源http://www.web66.com.tw/ch/61/CW220/NMD/220509.html此類幫浦其抽氣原理與排氣式完全不同，被抽的氣體被幫浦抽到其中，永久或暫時貯藏在幫浦中而不排

4、出。通常被抽的氣體分子在幫浦的進口附近受高電壓離子化後，被幫浦中的一種特殊物質物理吸附或結合成化合物。也有靠低溫將此些氣體分子（通常為空氣），冷凍而儲存在幫浦內。儲氣式幫浦近年來發展迅速，幾乎所有高真空及超高真空均採用此類幫浦。真空幫浦-儲氣式圖片來源:http://www.uni-crown.com/prolistca.php?C2ID=18真空幫浦-原理真空幫浦(vacuumpump)以產生真空為目的的低壓發生器，氣體自動會流向壓力較低之處是一種自然法則。真空幫浦的使命就是在系統中連續維持低壓，使氣體相連的容器流動過來；依照自然法則，氣體是自然流過來，而不是勉強硬拉過來。圖片來源:ht

5、tp://www.ptpump.com.tw/product/tabid/884/ProdID/1169/RtnTab/884/PageIndex/1/CatID/703/Default.aspx輔助式魯式真空幫浦抽氣系統真空幫浦-用途由於真空幫浦之性能隨操作條件有很大的差異，針對不同之操作壓力範圍必須使用不同種類之真空幫浦，真空幫浦對產業之重要性，是因為對任何製程機台、鍍膜設備或真空儀器而言，唯有靠真空幫浦來抽，才能以人為方式創造出一低壓、潔淨、無污染、低水氣之高品質。真空環境，這個真空環境正是確保製程品質，達到設計目標之最重要條件。圖片來源:http://tzene1123.myweb

6、.hinet.net/new_page_10.htm耐腐蝕真空幫浦1.請問歷史上哪一個著名的實驗曾使用真空幫浦?馬德寶半球實驗2.請問真空幫補分為哪兩大類?(1)排氣式(2)儲氣式3.請問真空幫浦，能以人為方式創造出哪四項高品質?(1)低壓(2)潔淨(3)無污染(4)低水氣真空幫浦-Q&A參考文獻真空幫浦發展史:http://www.erac.ntut.edu.tw/真空幫浦原理:http://www.phy.ntnu.edu.tw/真空幫浦種類介紹:http://www.me.tnu.edu.tw/報告完畢-謝謝大家