无尘车间标准等级的划分.pdf

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1、湖南纯臻净化工程无尘车间标准等级的划分无尘车间的等级说明首先是无尘车间标准等级定义如下:ClassX(atYμm)其中X是无尘车间的等级,例如100或10000等等,Y是粒径如0.2μm,0.5μm等,可复选。意思就是使用者规定,该无尘室微粒含量,在这些粒径必须满足该等级的限度。以下是几个例子:Class1(0.1μm,0.2μm,0.5μm)Class100(0.2μm,0.5μm)Class100(0.1μm,0.2μm,0.5μm)在Classes100(M3.5)andGreater(Class100,

2、1000,10000....),一般看一个粒径即可。在ClassesLessthan100(M3.5)(Class10,1....),一般要看多几个粒径。第二个是规定无尘车间的状态,例如:ClassX(atYμ,m)At-rest第三个是自订微粒浓度上限,一般在As-built时无尘车间都很干净,微粒控制能力测试不易,这时可以干脆把验收上限压低,例如:Class10000(0.3μm<=10000),As-builtClass10000(0.5μm<=1000),As-built这样做的目的是确保无尘车间在Op

3、erational状态时,依然有足够的微粒控制能力。专业文档供参考,如有帮助请下载。湖南纯臻净化工程以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义,和ISO-14644的等级定义。Fed-Std-209E洁净度定义ClassLimits0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm5μmClassNameVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsVolumeUnitsSIU.S.(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)(m3)(ft3)M1

4、3509.9175.72.1430.90.87510.00.283--M1.511,24035.02657.501063.0035.31.00--M23,50099.175721.43098.751002.83--M2.51012,4003502,65075.01,06030.035310.0--M335,0009917,5702143,09087.51,00028.3--M3.5100--26,50075010,6003003,530100--M4--75,700214030,90087510,000283-

5、-M4.51,000------35,3001,0002477.00M5------100,0002,83061817.5M5.510,000------353,00010,0002,47070.0M6------1,000,00028,3006,180175M6.5100,000------3,530,000100,00024,700700M7------10,000,000283,00061,8001,750ISO-14644洁净度定义Maximumconcentrationlimits(particles

6、/m3ofair)forparticlesequaltoandlargerthantheISOconsideredsizesshownbelow(concentrationlimitsarecalculatedinaccordancewithequationclassification(1).number(N)0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1mm5mmISOClass1102ISOClass210024104专业文档供参考,如有帮助请下载。湖南纯臻净化工程ISOClass31000237102358I

7、SOClass4100002370102035283ISOClass51000002370010200352083229ISOClass61000000237000102000352008320293ISOClass7352000832002930ISOClass8352000083200029300ISOClass9352000008320000293000NOTEUncertaintiesrelatedtothemeasurementprocessrequiresthatconcentrationdataw

8、ithnomorethenthreesignificantfiguresbeusedindeterminingtheclassificationlevel.Equation(1):Cn=10NX(0.1/D)2.08其中Cn是微粒浓度,N是洁净度,D是粒径比较以上两表我们可看出1.209E的公制和英制两套标准,虽然有公式做互换,但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表,徒然造成混淆2

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