【9A文】机电助理工程师职称论文

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1、【MeiWei_81-优质适用文档】机电助理工程师职称论文（浅析机电技术在真空磁控溅射镀膜设备上的应用）——蒋攀成都巨峰玻璃有限公司（157厂）2016年8月【MeiWei_81-优质适用文档】【MeiWei_81-优质适用文档】目录摘要................................................................................................................................11机电技术简概...

2、.......................................................................................................22真空磁控溅射镀膜原理及其特点..........................................................................22.1真空磁控溅射镀膜原理...................................................

3、................................22.2真空磁控溅射镀膜特点...................................................................................23真空磁控溅射镀膜设备..........................................................................................33.1机械部分...................

4、........................................................................................33.1.1真空室........................................................................................................33.1.1.1壳体...............................................

5、......................................................33.1.1.2真空室门.............................................................................................33.1.1.3真空室冷却套.....................................................................................

6、43.1.2磁控溅射靶................................................................................................43.1.2.1磁场强度.............................................................................................43.1.2.2磁场均匀性.................................

7、........................................................53.1.2.3磁控溅射靶的水冷系统.....................................................................53.1.3工作架........................................................................................................53

8、.1.3.1摩擦传动工作架...................................................................................53.1.3.2齿轮传动工作架...................................................................................