光刻版图oasis格式简介.doc

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1、Chapter1  oasis文件简介oasis是用来表示光刻版图的一种文件格式，上面记录了光刻图案。作为gdsii文件的替代格式，和gdsii类似是一种流格式的文件。一般性的介绍可以google到。这里就不再累述。这篇文档，是对参考文献【1】的注释和部分翻译。第一为了方便阅读，对文献【1】中的一些概念和例子进行了解读说明；第二对文献【1】中容易忽略和混淆的地方进行了强调，对没有明确的但可以从其他地方推断出来的一些内容进行了明确。Chapter2  oasis文件格式是一种二进制流的文件格式。它采用变形的BNF语法来描述文件格式，BNF语法见参考文

2、献【1】中36.1节，oasis文件格式的描述见参考文献【1】中36.2节。这里不对那些内容进行重复叙述，只对文件进行部分说明强调。1.  按照标准是"%SEMI-OASIS"，但是各个厂商可能会有不同，可能厂商会加上自己的log。程序中出现了"BROA"作为oasis文件格式的开头字段。2.  特别注意、和字段中的大括号中的域是不能重复出现的，而和中的大括号中的字段是可以重复出现的。在解析的时候要特别注意这点。3.  注

3、意到中，除了自己的关键字START、CBLOCK、PAD和PROPERTY以外，还有两个内嵌的结构，就是和。其中中，第一个出现的字段是CELL，每一个中CELL会且仅会出现一次。因此可以把CELL作为第二层解析的入口。而中，由于这些关键字跟其他部分都不重复，而且在一个中仅都只能出现一次，所以可以直接放在第一层解析。具体可以参见第五章。Chapter3  oasis数据类型不同于普通的计算机编程语言的数据格式，oasis作为一种流格式文件，有自己的数据类型

4、表示方法。这些在参考文献【1】中的第七章进行了说明。这里对其中内容进行部分说明，以便方便查阅。一共有下面几种类型的数据格式：Table 1 oasis数据格式    类型长度其他说明bytes8bit最低位bit放在最右边integersunsigned-integer不定，N个byte，8个bits中只有7bits表示实际数据，每个byte最高一个bit表示后面是否还有数据。0表示自己是最后一个byte。最低位byte放在oasis文件的最前面signed-integer不定，N个byte，8个bits中只有7bits表示实际数据，每个byte最

5、高一个bit表示后面是否还有数据。0表示自己是最后一个byte。符号位放在最低位byte（文件中最先出现的byte）的最后一位（bit）：0表示正，1表示负。最低位byte放在oasis文件的最前面real不定。有8种表示方式。由一个unsigned-integer的数据来表示采用何种表达方式。表示数据表达方式的unsigned-integer数据出现在文件的最前面。接着它后面才是实际要表达的数值。string由一个unsigned-integer的数据来表示string的长度unsigned-integer数据出现在文件最前面。string可以分

6、成b-string,a-string和n-string三类deltasdelta是用来表示方向和长度的一种数据类型。分成4类。各类长度不一样。在oasis文件中，这种数据的第一个出现的字节的最后几个bit是表示方向。后面具体描述。repetitions用来表示重复出现的各个图形的位置的一种数据类型。也分成多类，各类长度不一。在后面具体说明pointlists利用这个数据结构就可以画出图形。但这个数据结构本身不包括画图的起始位置信息。而在其他地方确定。是一串delta信息，用来表示各条边的长度和方向。图形的顶点越多，长度越长。在后面具体说明。prop

7、ertyvalue由一个unsigned-integer表示类型，加上后面的propertyvalue值构成。各种类型的属性，value值不一样，但都比较简单。可以参看参考文献的7.8节table9。3.1  integers类型说明3.1.1  unsigned-integerunsigned-integer的长度不确定，是由自己的值来确定的，如果数据长度有N个byte，每个byte的8个bits中只有7bits表示实际数据，最高一个bit表示后面是否还有数据。0表示自己是最后一个byte。最低位byte放在oasis文件的最前面。举个例子就清楚

8、了。十进制的16383：正常的2进制表示是：11,1111,1111,1111，一共14个1。在oasis文件中，由于只有