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《半导体行业专业知识 wafer知识.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。
1、PIE0l9M#l3M!v1.何谓PIE? PIE的主要工作是什幺?%c%S*f1[&*]2Z#I4V4~5i答：ProcessIntegrationEngineer(工艺整合工程师),主要工作是整合各部门的资源,对工艺持续进行改善,确保产品的良率（yield）稳定良好。!a;c+o8}1A:p0J*E5H2.200mm，300mmWafer代表何意义?%C2a5R,m5q(G6Q2P答：8吋硅片(wafer)直径为200mm,直径为300mm硅片即12吋.*Y6C%g;w0T(n4H8d-h4@3.目前中芯国际现有的
2、三个工厂采用多少mm的硅片(wafer)工艺？未来北京的Fab4(四厂)采用多少mm的wafer工艺？7U5N N+V)s%`3d0o1}答：当前1~3厂为200mm(8英寸)的wafer,工艺水平已达0.13um工艺。未来北京厂工艺wafer将使用300mm(12英寸)。7R(l9u-@2@$?(P+V1B4.我们为何需要300mm?:N4k0X'c6e,?%N.P答：wafersize变大，单一wafer上的芯片数(chip)变多，单位成本降低8w#P8S2b/p6w7I2A c%
3、200→300面积增加2.25倍
4、,芯片数目约增加2.5倍!H't!e*j9`&k:O7D#h9]3@9y#I P(X3K"o(t/b.q&{)W"j/S5W&B$"m/
5、5.所谓的0.13um的工艺能力(technology)代表的是什幺意义？8U'V%g/w2[,y答：是指工厂的工艺能力可以达到0.13um的栅极线宽。当栅极的线宽做的越小时，整个器件就可以变的越小，工作速度也越快。$@'M9~"u3]1h$_.{6.从0.35um->0.25um->0.18um->0.15um->0.13um的technology改变又代表的是什幺意义？1d)3
6、k#p ?#T:s1H答：栅极线的宽（该尺寸的大小代表半导体工艺水平的高低）做的越小时，工艺的难度便相对提高。从0.35um->0.25um->0.18um ->0.15um->0.13um代表着每一个阶段工艺能力的提升。,S2h"`-s)N.H(N7.一般的硅片(wafer)基材(substrate)可区分为N,P两种类型（type）,何谓N,P-typewafer?2O7h0x!Z3[1}%S#
7、)答：N-typewafer是指掺杂negative元素(5价电荷元素，例如：P、As)的硅片,P-type的wafe
8、r是指掺杂positive元素(3价电荷元素,例如：B、In)的硅片。1L4y(
9、4}'m/T.w)d8t.{#W)A2U8M(Y(*^&@;H8.工厂中硅片（wafer）的制造过程可分哪几个工艺过程(module)？2i/Z#Q7]3k6K.p7d+U,e答：主要有四个部分：DIFF（扩散）、TF(薄膜)、PHOTO（光刻）、ETCH（刻蚀）。其中DIFF又包括FURNACE(炉管)、WET(湿刻)、IMP(离子 注入)、RTP(快速热处理)。TF包括PVD(物理气相淀积)、CVD(化学气相淀积)、CMP(化学机
10、械研磨)。硅片的制造就是依据客户的要求，不断的在不同工艺过程（module）间重复进行的生产过程，最后再利用电性的测试，确保产品良好。&W%l$A.I!r:R.x&G.v9.一般硅片的制造常以几P几M及光罩层数(masklayer)来代表硅片工艺的时间长短，请问几P几M及光罩层数(masklayer)代表什幺意义？#r6V9w3S'I-N9z-f"O;{答：几P几M代表硅片的制造有几层的Poly(多晶硅)和几层的metal(金属导线).一般0.15um的逻辑产品为1P6M(1层的Poly和6层的metal)。而'];s:h
11、"T*J+h光罩层数（masklayer）代表硅片的制造必需经过几次的PHOTO（光刻）.1d%]2W%&s8S)J%n0L10.Wafer下线的第一道步骤是形成startoxide和zerolayer?其中startoxide的目的是为何？%@2x%_1y-x-g(O答：①不希望有机成分的光刻胶直接碰触Si表面。 Q7I(?%}/?)E8U②在laser刻号过程中,亦可避免被产生的粉尘污染。2U"?-y)`#h#]11.为何需要zerolayer?.G/j:s*_'a/u$L答：芯片的工艺由许多不同层次堆栈而成的,各
12、层次之间以zerolayer当做对准的基准。5
13、(r T+M/w)M'U12.Lasermark是什幺用途?WaferID又代表什幺意义?3N;@3e1E4i9t$T/f答：Lasermark是用来刻waferID,WaferID就如同硅片的身份证一样,一个ID代表一片硅片的身份。 x1V#f1o8
