光束整形异形元件的加工工艺研究.pdf

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1、分类号：TG580．6密级：坌五编号：光束整形异形元件的加工工艺研究FABRICATIONOFODD．FORMCOMPONENTUSINGINBEAMSHAPINGSYSTEM学位授予单位及代码：篮查堡王太堂!!Q!墨鱼2学科专业名称及代码：当堂王猩!Q墨Q≥2研究方向：现垡迸堂蕉莶丛王猩廑旦申请学位级别：亟±本人郑重声明：所呈交的硕士学位论文，《光束整形异形元件加工工艺的研究》是本人在指导教师的指导下，独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外，本论文不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品成果。对本

2、文的研究做出重要贡献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。作者签名：婴L年三月斗日长春理工大学学位论文版权使用授权书本学位论文作者及指导教师完全了解“长春理工大学硕士、博士学位论文版权使用规定”，同意长春理工大学保留并向中国科学信息研究所、中国优秀博硕士学位论文全文数据库和CⅫq系列数据库及其它国家有关部门或机构送交学位论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。本人授权长春理工大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，也可采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇

3、编学位论文。摘要近年来在光学制造领域中，大小不同、形状各异的非球柱面镜在军用和民用产品上得到了广泛的应用。为了达到非球柱面镜更高的加工精度，解决这一光学元件加工领域面临的难题，对非球柱面镜的加工工艺进行深入的研究。本文采用古典与现代制造技术相结合的方法，研制了用于光束整形的异形元件，该异形元件是由非球柱面镜和柱面镜所组成。根据非球柱面镜面型难以控制的问题，给出了独特的菱形抛光模结构设计。使用轮廓仪进行面形检测和误差分析。实验结果表明，整形元件非球柱面镜面型误差尸一y值为0．8787“m，曲率半径为尺为33．26nⅡn，柱面

4、镜的曲率半径R为37．06mm。各项数据均满足光学零件的使用要求。ABSTRACTInrecentyears，Imnydifl’eremkiIldsofasphericcyliIldricalmi玎orwerewidelyappliediIlthernjlitaryandciVilianproductsiIlopticalfabrication．Inordertoreal也etheasphericcylmdricalmnorofhighprecisionprocessmg，solVethedimcultproblemsiI

5、lthisfield，theasphericcylindricalmi玎orprocessingandtestingInethodsarede印lyresearched．ClassicalprocessaIldmodemprocessmethodstoprocess．areadopted加dodd-fomcon】ponentforbeamshapillgsystem，whichiscomposedofasphericcylindricalmi玎orandcylilldrical111jrror，arefabricatedi

6、11thisp印er．AuIliquelozengeproductonofpolishmgdiskisproposedbasedontheproblemthatthesu而cesh印ecomrolledhardly．usillgpro丘lometerforsurfaceshapedetection，aIldthesurfaceerrorareanalyzed．TheexperimentalresultsmdicatethattheasphericcyliIldricalsur伍cee11roris0．8487}lmandc

7、uⅣatureradiusis33．26lIl】[11，cylilldricalmj盯orcuⅣatureradiusis37．06111】[11．AUthepaurameterscanmeettherequirementoftheopticalelement．Keywords：asphericcyHndricalmirrorcyUndricalmirrorprocessingtestingsuI·faceerror目录摘要ABSTRACT录第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．．11．1引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯

8、⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯11．2国内外发展现状⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．11．3论文研究的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯3第二章非球柱面加工检测技术的理论基础⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯．52．1非球面的分