温度对AACVD法制备AZO透明导电薄膜的影响.pdf

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1、第29卷第4期无机化学学报Vo1．29No．42013年4月CHINESEJ0URNAL0FIN0RGANICCHEMISTRY723．728温度对AACVD法制备AZO透明导电薄膜的影响秦秀娟1邵光杰★{l，2赵琳1(燕山大学，河北省应用化学重点实验室，秦皇岛066004)(燕山大学，亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室，秦皇岛066004)摘要：低成本、大面积、沉积速率高、均匀性好、光电性能优良的Al掺杂ZnO薄膜(AZO)制备技术依然是透明导电薄膜领域研究的重点之一。本文采用冷壁式气溶胶辅助化学气相沉积fAACVD1技术在玻璃衬底上制备了AZO透明导电薄膜．研究了衬底温度对薄膜结构

2、和光、电性能的影响。利用X射线衍射、原子力显微镜、紫外一可见光谱和光致发光光谱等对样品进行了表征结果表明：在AACVD法生长AZO薄膜的过程中，衬底温度对AZO薄膜晶面的择优取向生长影响呈起伏式变化明显的电学性能的转变温度发生在约400oC，光学性能和晶面的择优取向生长变化出现在约450℃讨论了温度对AACVD法制备AZO透明导电薄膜结构和光、电性能影响的微观机制。400℃时沉积的AZO薄膜方阻190口。平均透过率为80％关键词：气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)；AZO薄膜；温度；极性半导体；结晶质量中图分类号：0614文献标识码：A文章编号：1001．4861(2013)04．07

3、23—06DOI：10．3969~．issn．1001·4861．2013．00．061EfectofSubstrateTemperatureOiltheAZOFilmsGrownbyAACVDTechniqueQINXiu-JuanSHAOGuang—Jie'。ZHAOLin(HebeiKeyLaboratoryofAppliedChemistry,YanshanUniversQinhuangdao，Hebei066004，China)(2StateKeyLaboratoryofMetastableMaterialsScienceandTechnology,YanshanUnivers

4、ity,Qinhuangdao，Hebei066004，China)Abstract：A1一dopedZnOthinfilms(AZO)fabricationtechniquewithlowcost，largearea，highdepositionrate，welluniformityandexcellentopticalandelectricalpropertieshasbeenoneofthemostimportantaimsinthetransparentconductiveoxidefilmsresearchfield．AZOthinfilmsweregrownontheglas

5、ssubstratesbycold-wallaerosol—assistedchemicalvapourdeposition(AACVD)methodinthispaper．Structural，opticalandelectricalpropertiesofAZOfilmsgrownatdifferentsubstratetemperaturewereinvestigatedindetail．ThesamplesweretestedbyX-RayDiffraction，AtomicForceMicroscopy，UV—VisandPhotoluminescenceSpectroscop

6、y．ResultsindicatethatinfluenceofthesubstratetemperatureonthepreferredorientationgrowthofAZOfilmsappearsundulantchangeduringthecourseofAZOfilmdepositedbyAACVD．Distinctelectricalpropertiestransitiontakesplaceataround400℃．OpticalpropertiesandpreferredorientationgrowthoftheZnOfilmstransitiontakeplace

7、ataround450℃．Microcosmicmechanismwasdiscussedthattheeffectofsubstratetemperatureonthestructural，opticalandelectricalpropertiesofAZOfilmsgrownbyAACVDmethod．Sheetresistanceandtheaveragetransmittancesinthevisibleregionsof