碳膜平面式复合电极的制备及电化学性能.pdf

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1、第26卷第8期化学研究与应用Vo1．26，No．82014年8月ChemicalResearchandApplicationAug．，2014文章编号：1004—1656(2014)08—1277435掺硼金刚石膜／碳膜平面式复合电极的制备及电化学性能练发东，苟立(四川大学材料科学与工程学院，四川成都610065)摘要：采用微波等离子体化学气相沉积法在本征硅上制备掺硼金刚石膜／碳膜平面式复合电极，其中硅片的一面为掺硼金刚石膜，另一面为碳膜。通过SEM和拉曼光谱分析了薄膜的表面形貌和成分，掺硼金刚石膜为纳米级金刚石，碳膜表面有均匀分布的凹坑；利用四探针、循

2、环伏安法和交流阻抗法表征电极导电性和电化学性能，随着沉积时间增加，电极方阻减小；在铁氰化钾溶液中电极发生准可逆氧化还原反应，电势差为119mV，在1OHz附近阻抗为1l3n；多巴胺的检测限为5Ixmol·L～。关键词：化学气相沉积(CVD)；掺硼金刚石膜；碳膜；复合电极中图分类号：O613．7；0646．54文献标志码：AElectrochemicalperformanceandpreparationofcompositeplanarelectrodebasedonborondopeddiamondfilm／carbonfilmLIANFa—dong，G

3、OULi(CollegeofMaterialsScienceandEngineering，SichuanUniversity，Chengdu610065，China)Abstract：Borondopeddiamond／carboncompositefilmelectrodeofplanarconfigurationwaspreparedontheintrinsicsiliconbymi—crowaveplasmachemicalvapordeposition．Borondopeddiamond(BDD)filmwasdepositedonthesili

4、consubstratewhilecarbonfilmwasonthebacksideofthesubstrates．ThesurfacemorphologyandcompositionofthesefilmswasstudiedbySEMandRamallspectroscopy．TheSEMandRamanresultsshowthattheBDDfilmsisnanocrystallineandtherealemanypitsonthesurfaceofcar-bonfilms．Theconductivityandelectrochemicalpr

5、opertiesofthesefilmswerecharacterizedbyfour—probe?measurement，cyclicvol—tammetryandimpedancespectroscopy．Theresultsrevealthatthesurfacesquareresistanceofthesamplesdecreaseswiththein-creaseofthedepositingtime．Electrochemicalreactionisaquasi—reversiblereactioninpotassiumferricyanid

6、esolutionwiththepo-tentialdiferenceof119mv．Theimpedanceofthesamplesatthe~equencyabout1000Hzis113ft．Theminimumdetectionlimitofdopamineis5Ixmol·L～．Keywords：CVD；boron—dopeddiamondfilm；carbonfilm；compositeelectrode采用刺激的方法可以进行神经系统疾病治疗学势窗宽、背景电流小、灵敏度高、生物相容性好和康复，而刺激的直接效果可通过电化学电极进和耐腐蚀¨等性能

7、。而刺激电极材料需具备低行实时监测和记录。电化学电极材料需具备电化阻抗、高电荷储存和注入容量及耐腐蚀等优越性收稿日期：2014-03-26：修回日期：2014-05-20基金项目：电子薄膜与集成器件国家重点实验室开放课题资助(KFJJ201313)联系人简介：苟立(1967一)，女，教授，主要从事传感器研究。E—mail：gouli@8CU．edu．cn1278化学研究与应用．第26卷能【引。安和交流阻抗性能。三电极体系：复合电极为工目前用的电极材料有铂J、铱J、氧化铱]、作电极，铂片电极为对电极，Ag／AgC1电极为参比钨、碳纤维和碳纳米管等。金属材料

8、是较好电极，电极测试面积约为0．5cm。的刺激电极材料，但是其电化学势窗小，信噪