电子器件中铜及ITO薄膜电极的腐蚀行为研究.pdf

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1、电子器件中铜及ITO薄膜电极的腐蚀行为研究作者:李苗日思导师:劲教授指导，J、组成员:李劲教授将益明副教授目录目录................................................................……I摘要................................................................……iAbstract...........................................................……111前言....................

2、............................................……1第一章研究背景及文献综述..……，....................................……41.1引言...............................................············……41.2铜薄膜与氧化腐蚀...............................................……51.2.1铜薄膜在电子器件中的应用...........……，…，...........……51.2.2铜薄膜的

3、氧化腐蚀问题.....................................……61.2.3金属薄膜的一般氧化过程............................……_……61.3工TO透明导电薄膜与电化学腐蚀...................................……81.3.1工TO薄膜的基本结构与性能.................................……81.3.2工TO薄膜的制备技术.......................................……91.3.3ITO薄膜在电子器件中的应用.....

4、.........................……n1.3.4腐蚀电化学行为..…，..................……，...........……121.3.4.1电化学分析........................................……121.3.4.2电极极化..........................................……131.3.4.3电极系统的界面结构.…，...........................……131.4相关研究现状与文献综述..............................

5、..........……巧1.4.1铜薄膜的研究现状........................................……151.4.2工TO薄膜的研究现状......................................……151.5本章小结.，....................................................……16第二章实验方法.....................................················……172.1引言.......................……，

6、..........……，二，…，....……172.2样品制备................................................·.·.·.……172.2.1真空蒸镀法制备铜薄膜....................................……172.2.1.1真空蒸发设备......................................……182.2.1.2薄膜厚度控制....................……，...........……192.2.2工TO电化学测试样品的制备..................

7、.............……202.3研究方法......................................................……212.3.1同位素示踪法............................................……212.3.2方块电阻法..............................................……222.3.3循环伏安法....................……，...................……232.3.4电化学阻抗谱..........