超净高纯硝酸纯化技术的研究.pdf

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1、第42卷第5期新材料与新技术化工设计通讯2016年5月NewMaterialandNewTechnologyChemicalEngineeringDesignCommunications超净高纯硝酸纯化技术的研究陈　林，朱　龙，邵　勇（江阴江化微电子材料股份有限公司，江苏江阴214400）摘　要：高纯度硝酸在市场上有了越来越多的需求量，简述了硝酸的提纯工艺及高纯度硝酸提纯的方法。高纯度硝酸的提纯工艺主要由：普通蒸馏、精馏、减压蒸馏、亚沸蒸馏、膜分离等。这些方法均有优缺点，需要根据实际情况进行选择。如何将几种提纯方式的优点进行集合，将超高纯度硝酸的

2、提纯工艺达到最优化是如今研究人员讨论的重点。关键词：超净高纯；硝酸；精馏；膜分离中图分类号：TQ111.26文献标志码：B文章编号：1003–6490（2016）05–0070–02ResearchonHigh-PurityCleanNitricAcidPurificationTechniquesChenLin，ZhuLong，ShaoYongAbstract：High-puritynitricacidhavemoreandmoredemandinthemarket，thepaperdescribesthemethodofpurification

3、processofnitricacidandnitricacidofhighpuritypurification.Today，thehigh-puritynitricacidhasseveralmainpurificationprocess：ordinarydistillation，distillation，vacuumdistillation，sub-boilingdistillation，membraneseparationmethodhasadvantagesanddisadvantages，youneedtobeselectedaccor

4、dingtotheactualsituation.Howthebenefitsweresetinseveralwayspurification，thepurificationprocessofultra-highpuritynitricacidtooptimizethefocusnowresearchersdiscussed.Keywords：ultra-cleanhigh-purity；nitricacid；distillation；MembraneSeparation1超净高纯硝酸纯化技术的现状器通过调节压力，将硝酸进行提纯。进过一系列纯化，

5、硝酸1.1硝酸的特性中的Pb含量由之前的30μg/L降到0.6μg/L。由此可以看出强酸具有强氧化性，有极强的腐蚀性，硝酸属于几大常经过提纯与未经提纯有很大的区别，通过减压蒸馏高纯度硝见强酸之一。硝酸不仅易溶于水，且溶液呈透明状。硝酸还酸的回收率也有了很大的改善。有易被光分解的特性，通常应放在棕色玻璃瓶里面储存。硝亚沸蒸馏也是对高净纯硝酸纯化物提纯的主要手段。在酸在各个行业都有广泛的应用。例如：医药化工、化纤、炸药。加热过程中，会产生大量的气体，这些气体一部分是杂质的硝酸还可以和盐酸的以1∶3的比例进行混合，这就是我们通汽化物，一部分是硝酸的反应

6、物，必然会造成硝酸的一部分常所说的“王水”了。损耗，其对于纯化物的回收率和纯度都会有一系列不好的影1.2硝酸纯化工艺的现状响。为解决这一系列问题，亚沸蒸馏并不是通过对于原料加当前高纯硝酸的提纯方式，主要依靠试剂硝酸进行提纯，热进行蒸馏，更准确的说是在加热的方式上有所改善。红外该方式的技术含量低，且缺点多。主要有三个方面，首先在线本身具有加热效果，利用这一特性，对原料进行处理，并制备过程中有较大的浪费，可想而知试剂级硝酸已经是通过将液体温度控制在沸点以下10℃左右，这样可以使反应速度一次蒸馏而得到的产物，再通过蒸馏的方式进行提纯，其所不那么剧烈，尽

7、量减少出现大量蒸气。通过分子之间的平衡需要的工艺更为复杂，且浪费更多。其次，不管采用什么方状态也可以让硝酸的纯度更好，不失为一种好的提纯技术。式蒸馏都需要对于硝酸进行一定的加热，硝酸受到温度升高精馏也是现实硝酸纯化技术的重要方法。在其过程中会的影响会产生二氧化氮有害气体，对于大气环境造成一定伤有很多回合的蒸发与气体冷凝，如此反复，通过层层重复反害。最后，耗能如此之大，且有一定环境污染的提纯方式，得应去除杂质，提纯的产品十分优良，并在工业中得到大量推广。到的硝酸纯度是多高呢？且高纯度的硝酸产量怎样呢？因为3超净高纯硝酸纯化技术大规模发展阶段物质从液

8、体形态变为气体形态，通过加热等环境因素的催化，近几年，微电子一直处于快速发展的阶段，因此超净高产生了完整的蒸馏过程。但在这一流程中有着一