一种具有广泛适应性的微机械加工方法研究.pdf

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1、第23卷第7期传感技术学报Vo1．23No．72010年7月CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORSJuly2010StuayofaFlexibleMicromachinedFabricationMethodSHIQin，QIUAnping，HUANGQinwen，LUORong，SUYan，1．SchoolofMechanicalEngineering，NanjingUniversityofScience＆c∞Z0gy，Nanfing，China．、＼2．The13ResearchInstitute，CETC，Shijiaz

2、huang，China／Abstract：Aflexiblemicromachinedfabricationmethodisstudied．Thismethodcanbeusedtofabricateavarletvofdevicesrangingfromgyroscopes，accelerometers，shearstresssensortoopticalswitches．Thenthemethodwasem．ployedtofabricateMEMSgyroscope．Finally，thetestresultsofthemicrofabricated

3、gyroscopearepresented．Itshowsthattheimprovementonfabricationhasanimportanteffectontheperformanceofgyroscope．Theeffectoffab．ricationprocessontheperformanceofdevicesfabricatedbythismethodisanalyzedandattentionisfocusedontheeffectofthesilicon—glassanodicbonding，thinningprocessandtheq

4、ualityofsidewallformedbydeepetching，in—cludingthesidewallprofileandimpuritydepositedonthesidewallduringdeepetchingontheperformanceofdevices．Keywords：micromachinedsilicongyroscope；deepetching；bonding；sidewallEEACC：2575：7630一种具有广泛适应性的微机械制造方法研究施芹，裘安萍，黄钦文，罗蓉，苏岩，1．南京理工大学机械工程学院，南京210094

5、；、＼2．中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄050051／摘要：研究了一种具有广泛适应性的微机械制造方法，该方法可用于制备各种不同的器件，包括硅微陀螺仪、加速度计、剪切应力传感器以及光开关等。利用该方法，制备了硅微陀螺仪，并给出了所制备的硅微陀螺仪的性能测试结果，同时分析了利用该制备方法制备各种不同器件时，工艺流程对器件性能的影响，重点讨论了硅一玻璃阳极键合、减薄工艺以及深刻蚀所形成的侧壁质量，包括侧壁垂直度、侧壁杂质等因素对器件性能的影响。关键词：硅微陀螺仪；深刻蚀；键合；侧壁中图分类号：TN30文献标识码：A文章编号：1004—1699(2010

6、)07—0922—04Inertialgrademicromachinedgyroscopesandac-times，makingthemusefulindemandingenvironmentalcelerometersareofinterestofnavigation，defense，andandhigh．performanceapplications[一．spaceapplicationswherehighperformance，light-Thecurrentpaperpresentsaflexiblemicromaeh-weight，low—co

7、st，andreliabledevicesarecruci—inedfabricationmethod，whichcanbeusedtofabricatea1E一]．MEMSshearstresssensoI．sals0havebeende．gyroscopes，accelerometers，shearstresssensorand0p-velopedwidelybecauseaccuratemeasurementsofwallticalswitchesandSOon．Themicromachinedfabricationshearstress(WSS)i

8、nwallboundedflowsareofpart．i—proc