高温超导微波延迟线的制备及测试研究.pdf

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1、高温超导微波延迟线的制备及测试研究TheStudyofFabricatingandTestingforHighTemperatureSuperconductingMicrowaveDelayLines2011年3月委员：矽般彩，’中厶^㈣攀燃肥工业大学硕孝成美0稿．AM‘之曩弓‘J7嚆≥增刷吼呵，叫◆独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加以标志和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得金月巴王些太堂或其他教育机构的学位或证

2、书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。学位论文作者签刭锇字眺协慷荔月r日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解金胆王业太堂有关保留、使用学位论文的，规定，’有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅或借阅。本人授权金理王些太堂可以将学位论文的全部或部分论文内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。(保密的学位论文在解密后适用本授权书)学位论文者签名：钏铘签字日期：hff年勿月y日学位论文作者毕业后

3、去向：工作单位：通讯地址：导师签名：纾啡签字日期：列¨年峙邱日电话：邮编：高温超导微波延迟线的制备及测试研究摘要所谓延迟线，就是电子系统中可以实现信号延迟的元件。随着近代电子工业的迅猛发展，延迟线得到了越来越多的重视，广泛应用在了雷达、电子战、频谱分析等领域。高温超导微波延迟线有着极为广阔的发展空间和巨大的应用潜力，随着制备工艺的逐步成熟，高温超导微波延迟线必将成为未来微波器件的重要组件。其具备的体积小、重量轻、Q值高、插损小等优点都是常规导体所无法比拟的。本文说明了微带线的结构和原理，讲解了高温超导材料的发展、应用和特性。

4、在频率很高时，超导体内有交变电场存在。交变电场同样作用于正常电子，会使他们产生运动，这样就会带来损耗。这就表明了在高频时超导体具有电阻R。。本文采用电子科大的镜像蓝宝石谐振法，对制备的小面积高温超导薄膜的表面电阻进行了测试，得到了谐振器的固有品质因数和有载品质因数，并根据公式计算出了高温超导薄膜的表面电阻。这次实验采用HFSS对曲折双螺旋结构高温超导微波延迟线进行了仿真，得出了S参数、插损和群时延仿真图。并使用常规金属对微波延迟线进行了预制，结合仿真结果和对预制延迟线的测试，推测出同规格高温超导微波延迟线应具备的性质。本文利

5、用脉冲激光沉积(PLD)方法按照微带线结构制备了YBCO高温超导微波延迟线，并使用矢量网络分析仪对其进行了测试。将测试结果和制备前的仿真结果进行了对比，通过对比，在工艺方面找出了实验中的一些不足，并简单提出了改进方案。关键词：高温超导；微带线；脉冲激光沉积；延迟线TheStudyofFabricatingandTestingforHighTemperatureSuperconductingMicrowaveDelayLinesABSTRACTAdelaylineisacomponentthatcandelaysignalin

6、electronicsystem．Peoplehasattachedgreatimportancetodelaylinesinthisfastelectronicgrowingagebecauseitcanbeappliedinradar，electronicwarfare，analyzingforfrequencyspectrumandsoon．Highqualitydelaylinesshouldhavelowloss，lowdispersion，smallvolumeandenoughdelayfortheelectr

7、onicsystem．Withoutfailhightemperaturesuperconductingmicro．wavedelaylineswillbeappliedfarandwideinthefuture．Hightemperaturesuperconductingmicrowavedelaylineswilldefinitelybecomethemostimportantmicrowavedevicesalongwiththematurityofmanufacturing．Itsadvantages，suchass

8、malIvolume，lowweight，highQ，lowloss，getaheadofallkindsofcommonconductors．Inthisworkweexplainedthetheoryofmicrostrip．Wealsoexplainedevolution．appli