新型双并联电渗微泵的制备与测试.pdf

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1、第28卷第8期传感技术学报Vo1．28NO．82015年8月CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORSAug．2015FabricationandTestingofNewDoubleParallelElectroosmoticMicropumpSHENDandan，船，Tanyong，TANQiulin’，Xiaxia，FANGMing一，FANGJiahua一，QINLi，(1．ScienceandTechnologyonElectronicTestandMeasurementLaboratory，NorthUn

2、iversityofChina，Taiyuan030051，China2．KeyLaboratoryofInstrumentationScienceandDynamicMeasurement，MinistryofEducation，NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，China3．StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology，DepartmentofPrecisionInstrumentsandMechanology，TsinghuaUniversity，Bering1

3、00084，China)Abstract：Thispaperdesignedadoubleparallelelectroosmoticdrivenpumpwhichconsistedofthreeparallelmainchannelsandinterdigitalelectrodes．Eachchannelisformedbyanumberofparallelgrooveswhichhavea45。an—glewiththedirectionofformingelectroosmoticfluid．ByselectingITOglasssl

4、ideassubstrateandgettingitsopti—mumparameters，thePDMS-glassmicrofluidicchipcontainingelectrodeswasmade．Finally，theEOPwastested，byrecordingthevolumeofsinglemainchannelpumpingliquidinaperiodoftime，theflowrateofsinglemainchan—nelandthetotalmicro—pumpwereobtained．Itwasfoundinex

5、perimentthatwithin5V，theabilityofEOPpumpingliquidincreasedwiththeincreaseofvoltage，andthemicro·pumpflowratecouldreachaqueoushumorproductionrateofnormalhumaneyes．Infuture，thestructurewillshowpotentialinapplicationsforaqueousdrainagedevice．Keywords：electroosmoticdrivenpump；ma

6、inchannel；interdigitalelectrodes；PDMSEEACC：2307doi：10．39690．issn．1004-1699．2015．08．006新型双并联电渗微泵的制备与测试沈丹丹，魏坦勇，谭秋林，，纪夏夏，方明，房家骅，秦丽(1．中北大学电子测试技术重点实验室，太原030051；2．中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051；3．清华大学精密测试技术及仪器国家重点学科实验室，北京100084)摘要：设计了一个双并联电渗驱动泵，它由三条并联的主通道和叉指型电极两部分组成，其中每条主通道由若干个与电

7、渗流形成方向成45。角的沟槽并联构成。通过选用ITO载玻片作为芯片基底并获得其最佳工艺参数，制作了带电极的PDMS一玻璃微流控芯片。最后对制作的电渗微泵进行测试，通过记录一段时间内单个主通道泵输送液体的体积，得出单个主通道的流速与微泵总流速。实验发现在5V内，微泵泵送液体的能力随着电压的增加而增大，微泵流速可以达到正常人体眼球房水生成速度，该结构在未来房水引流器件制作方面具有潜在的应用价值。关键词：电渗驱动泵；主通道；又指电极；PDMS中图分类号：TP212文献标识码：A文章编号：1004—1699(2015)08—1131—05微泵是微流控

8、系统的重要组成部分，随着微全微泵由于其价格低廉、高效性、通用性，被广泛应分析系统(一TAS)的发展，微泵的应用变得越来越用在微流控芯片装置中，尤其是基于电渗流的微泵