洁净度等级对照.doc

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1、1-9级可能是参照的ISO的标准国际标准,一般我们所说的百级相当于ISO5级万级相当于ISO7级十万级相当于ISO8级一百万级相当于ISO9级1，洁净室或洁净区内空气悬浮粒子洁净等级还有著名的美国联邦标准（Fed.St.209系列）可以参考；2，ISO1644的ISO5相当于Fed.St.209系列的100级（≥0.5μm粒子，≤3.5颗/升，或100颗/ft3，或3530颗/m3）3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用0.5μm粒径考核的居多；4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越

2、来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如0.5μm）而要用到更多的粒径，如0.3μm0.2μm   甚至0.1μm对洁净室进行检测评定。ISO1644国际标准中洁净室或洁净区选用的空气悬浮粒子洁净度等级等于或大于相应粒径的最大允许浓度（粒/m3）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μmISO1102ISO210024104ISO31000237102358ISO4100002365101835283ISO52365110176351783229ISO635

3、1688318293ISO7831762925ISO829251ISO9