国外石英谐振传感器发展现状.pdf

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1、国外石英谐振传感器发展现状沈阳仪器仪表工艺研究所夏姿。如表1所示其中研究水平较高的是美国和、一概述日本。、石英谐振传感器具有灵敏度高精度表1、、、高环境适应性强功耗低寿命长和数字读。、国一美一日别一木国生产的品种出等优点数字传感器具有抗干扰能力强适宜远距离传输不需要模数转换装置等特付利特一帕卡德公司型数字温度计,,点所以石英谐振传感器在国际上发展很(ewlettaekardCo.H一P),、、、快已广泛用于测量压力差压荷重膜帕依塞恩斯有限公司石英谐振压力、、、、。厚温度液位加速度湿度和露点等(aroseientifieIne.P)感器石英谐振传感

2、器的核心部件是石英谐振陌.冶甘l

3、阮盯叶巴滋阵匹

4、-

5、I,。(株)横河电机制作所水晶振动式数器而石英谐振器又是由石英晶体制成的字露点计,,它东京Dowpa公司石英压力传感器石英晶体又称水晶是一种非金属材料、、,东京电波机器株式会社水晶温度计;无色透明质地坚硬是各向异性的晶水晶压力传感,,器;水晶加速体不同的切割方向其各种特性(如压度感器、。电谐振温度等等)相差很大明星电气株式会社水晶振动水压、、、水位计差压石英谐振器是由石英晶片电极支架、压力计、气压,和外壳等部分组成其性能与晶片的切型和、、司侧研(Sokken)株式会社超高精度压力计尺寸电极的设

6、置装架形式以及加工工艺。等有关石英谐振器是通过庄电效应进行工厚一器!一器西德凯斯特勒,“,,,,,(K.,。,作的它具有很大的电抗其值决定它具有{一石计高压一英石一英传一热英一压憾一谐一力敏器一谐振一专。一感振膜}仪器仪表公司、。极高的品质因数精度高和稳定性好利用、,它的频率随温度力等改变的特性可以做苏联。成各种传感器、奥地利二国外几种典型的石英谐振传感器下面将几种典型的石英谐振传感器加以,目前国外许多国家在研制石英谐振传:叙述。.,感器据不完全的统计国外一些生产厂1压力(力)传感器一24一度敏感的特性可以做成温度传感器;,该传感器的工作原理是利

7、用石英晶体的,。ewle七七一Paekard公司在1979压电效应实现压力测量它是由精密石英美国H。谐振器、,年就生产了石英数字温度计日本东京电波石英膜片和壳体所组成其壳体也,1980,常用石英制成选用同一种材料可避免引起机器株式会社在年生产的温度传感器。。其测温范围为一50~+120℃;振动频率为热应力该传感器是AT切型的谐振器它.、zoz;1000H在精度可靠性和稳定性等方面是各种压力6MH灵敏度约为z/飞〕,热时。,。间常数为1~7秒苏联的石英热敏谐振器传感器之冠,1981,美国在1981年生产的这种传感器可用(年生产)可检测一百点周围温度

8、变、,一+,0,来测差压绝对压力测压范围为。~化为10~50℃检测距离大于10米.·:,,O4000mmH0精度为士001%FS零测量误差(在~no℃范围内)不大于.·点温度系数为士00007%F8/℃,加速度误士0.IK。。,。。08·S/。3.差为士%Fg日本东亚电波机露点传感器.、器株式会社在198。年生产了高精密高分辨该传感器的检测原理是基于冷却石英谐,,,,率的数字式压力传感器测压范围为。~Ikg振器在结露时由于质量增加共振频率..,,。Z,1,1,/m线性为0%重复性为0%零点漂变低通过测量其共振频率就可测出结露.、。1510℃,is

9、,移为0%/电源为DCgVmA以值可自动识别露点与霜点,、。,下输出频率为500~2500Hz20~12kHz日本在1981年生产的露点传感器可、er,198。测量范围广(最大可达一”一+40西德的Ki的l仪表公司在年生产了靠性高,。一种6218型高压传感器其测量范围为O~10℃).,,,千巴响应时间为2林s线性度好刻度值4其它。分度为1000巴它在动态及准静态高压测量①加速度传感器。,。日中有着广泛的用途该传感器是由压电传感器派生来的2.温度传感器本东亚电波机器株式会社1980年生产的该传,。利用石英晶体某些切向的谐振频率对温感器其技术水平如表

10、2所示表2QADAQADAQADAQANA一…一…一{一士1。士1。。额定容量(G)………z70中心频率(kH){·5频率变化(kH)士…衰减约。一}约~一.一3。。响应频率()3。一一,一蔺赢约一……药);;1②膜厚传感器、测量原理是:三应用当石英晶体表面附着物质,。其谐振频率会发生变化;测量频率的变后现将国外石英传感器的应用加以介绍。,化就可以测出膜厚1石英压力计一25一,上限;石英压力计的优点是测量范围宽②对石英片振动的研究③能陷理论的研,’,可达几千个大气压;;响应速度快自振频率究④石英片老化效应的研究⑤其它研,。,缺点是测静态压力,很高

11、适宜测动态压力究如频率特性等、、。、,2、、误差大由于石英材料强度高耐高温因向小型化高精度高稳定性提;此这种压力计特别适用于恶劣环境的压

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