太阳能电池制造工艺.ppt

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1、太阳能电池制造工艺制绒-刻蚀-镀膜1培训内容制绒清洗刻蚀去PSG镀膜2制绒的作用去除损伤层形成减反射绒面（陷光结构）单晶绒面为金字塔结构,多晶为蜂窝状结构3单晶制绒:超声清洗装片粗抛（去除表面损伤）制绒（形成绒面）清洗HCl（去金属离子）HF（去除氧化物）清洗干燥清洗4硅的晶体结构金刚石结构5硅的晶向6单晶制绒的原理各向异性目前太阳能电池所用硅片均为100面7NaOH（氢氧化钠）IPA（乙丙醇）Na2SiO3（硅酸钠单晶制绒所需的化学药品8化学原理：Si+2NaOH+H2O→Na2SiO3+2H2↑Na2SiO3+H2O→H2SiO3+OH-Na

2、2SiO3→(Na2O)x·(SiO2)y9时间和浓度对粗抛效果影响：时间30-180，浓度10%-35%10原材料硅片粗抛后绒面11绒面结构的二次吸收12腐蚀量和腐蚀速率随时间变化：13多晶制绒:装片制绒（形成绒面）碱洗水洗酸洗（HF/HCl）水洗扩散制绒机干燥水洗1415化学原理硅被HNO3氧化，反应为：用HF去除SiO2层，反应为：总反应为：16工艺控制所需药品HNO3（硝酸）HF（氢氟酸）溶液的浓度度溶液的温度腐蚀时间17清洗18清洗盐酸（HCl）的作用：去除金属离子去除表面残留的碱溶液氢氟酸（HF）的作用去除氧化物生成疏水的表面

3、19安全防护盐酸强酸性易挥发氢氟酸强腐蚀性易挥发防护措施防护面罩耐酸碱手套20等离子体刻蚀21注意事项单面扩散的硅片要注意正反面，镀膜面为扩散面，如果镀膜在另一面印刷时会在电池的扩散面印刷铝背场，在烧结时铝会穿过并破坏PN结22等离子刻蚀目的23什么是等离子体？随着温度的升高，一般物质依次表现为固体、液体和气体。它们统称为物质的三态。如果温度升高到10e4K甚至10e5K，分子间和原子间的运动十分剧烈，彼此间已难以束缚，原子中的电子因具有相当大的动能而摆脱原子核对它的束缚，成为自由电子，原子失去电子变成带正电的离子。这样，物质就变成了一团由电子和

4、带正电的的离子组成的混合物。这种混合物叫等离子体。它可以称为物质的第四态。24等离子体的产生25等离子体刻蚀原理等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性生成物而被去除。它的优势在于快速的刻蚀速率同时可获得良好的物理形貌。这种腐蚀方法也叫做干法腐蚀。26等离子体刻蚀反应27首先，母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子。其次，这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，并在表面上发生化学反应。生产过程中，CF

5、4中掺入O2，这样有利于提高Si和SiO2的刻蚀速率。28等离子体刻蚀工艺装片在待刻蚀硅片的两边，分别放置一片与硅片同样大小的玻璃夹板，叠放整齐，用夹具夹紧，确保待刻蚀的硅片中间没有大的缝隙。将夹具平稳放入反应室的支架上，关好反应室的盖子。29工艺设置片数气体流量气压（Pa）辉光功率（瓦）反射功率CF4（sccm）O2(sccm)200-30020020100500-7000工艺步骤预抽主抽送气辉光清洗充气30边缘刻蚀控制短路形成途径由于在扩散过程中，即使采用背靠背扩散，硅片的所有表面（包括边缘）都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生

6、电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。此短路通道等效于降低并联电阻。控制方法对于不同规格的硅片，应适当的调整辉光功率和刻蚀时间使达到完全去除短路通道的效果。31刻蚀工艺不当的影响32在等离子体刻蚀工艺中，关键的工艺参数是射频功率和刻蚀时间。刻蚀不足：电池的并联电阻会下降。射频功率过高：等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤，导致边缘区域的电性能变差从而使电池的性能下降。在结区（耗尽层）造成的损伤会使得结区复合增加。33刻蚀时间过长：刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大，时间长到一定程度损伤不可避免会延伸

7、到正面结区，从而导致损伤区域高复合。射频功率太低：会使等离子体不稳定和分布不均匀，从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足，导致并联电阻下降。34检验方法冷热探针法冷热探针法测导电型号35检验原理热探针和N型半导体接触时，传导电子将流向温度较低的区域，使得热探针处电子缺少，因而其电势相对于同一材料上的室温触点而言将是正的。同样道理，P型半导体热探针触点相对于室温触点而言将是负的。此电势差可以用简单的微伏表测量。热探针的结构可以是将小的热线圈绕在一个探针的周围，也可以用小型的电烙铁。36检验操作及判断确认万用表工作正常，量程置于200mV。冷探针连

8、接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点，电压表显示这两点间的电压为正值，说明导电类型为P