日本电子透射电镜操作和使用要点.pdf

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1、日本电子透射电镜的操作与使用捷欧路（北京）科贸有限公司透射电镜应用工程师孙莉内容：1、由TEM构造谈TEM操作2、由平行电子束模式到会聚电子束模式3、由TEM模式到STEM模式4、总结以上内容适用于：2100F/2100,2010F/2010电子枪部分光阑部分透镜部分TEM基本构造电子枪类型：热电子发射型电子枪场发射型电子枪电子枪合轴：LaB6/W，检查灯丝像对称亮度，饱和度与偏压FEG，调ANODEWOBBLER1-5合轴：电子枪发射电子束与聚光镜系统同轴建议调节周期1周一次，放大倍数100KXWLaB6FEG透镜部分：电磁透镜存在像差，像散调

2、节聚光镜像散调节，使照明光斑对称，透射电镜心脏：物镜标准电流值STDFOCUS/DV=0HT，改变照明条件（放大倍数，束斑尺寸，照明模式等）电流中心物镜像散，高倍观察图像是否与有方向性拉长（非晶碳FFT）400KX中间镜像散：衍射模式下透射斑是否为圆形投影镜合轴光阑部分：光阑合轴聚光镜光阑：光阑孔选择，＃1常规图像与选区衍射＃2高分辨观察，＃3纳米束分析＃4纳米电子束衍射物镜光阑作用-提高图像衬度，选择合适衍射信息成像TEM-BF/DFTILT/SHIFT中间镜光阑作用：选区尺寸大约2um-100nm选区衍射：SAMG模式小结：常规合轴（模式改变

3、调节）1.电子束中心（beamshift）2.CL光阑校正3.HT中心调整亚常规合轴1.电子枪合轴（一周一次）2.Tilt联动比调节（很少）3.Shift联动比调节（很少）合轴数据存储TEM模式照明角(Alphaselector)Alpha转变时需要合轴三步曲1.Alpha3≤40KX2.Alpha2介于40kx与100kx之间3.Alpha1＞100kxSpotsize选择1或者2内容：1、由TEM构造到TEM操作2、由平行电子束到会聚电子束3、由TEM模式到STEM模式4、总结试样TEMEDSNBDCBD光路图不同EDS模式NBD模式TEM模

4、式CBD模式不同的模式下illuminationangle(Alphaselector)选择EDS模式：Alpha5NBD模式：Alpha1CBD模式：Alpha1-9选择不同模式下聚光镜光阑选择EDS：＃1，2，3NBD：＃4会聚束模式合轴：常规合轴三步曲和聚光镜像散不同模式电子衍射HRTEMHRTEMNBD#1SAEDNBD#2100nmSAEDNBD#310nmNBD#1NBD#2NBD#3内容：1、由TEM构造到TEM操作2、由平行电子束到会聚电子束3、由TEM模式到STEM模式4、总结入射电子束入射电子束试样试样物镜后焦面暗场探测器像平

5、面明场探头TEM成像原理STEM成像原理电子源第一聚光镜ASID提前准备工作：1、物镜标准电流值第二聚光镜2、试样高度3、TEM常规合轴扫描线圈ASID-STEM合轴1、合光斑位置物镜前场2、合束斑-最佳束斑试样STEM模式示意图ASID-STEM合轴1、合光斑位置目的类似于1-5合轴，具体操作见手册2、合束斑-最佳束斑聚光镜像散试样高度Ronchigram像PLA合轴Ronchigram像试样非晶Ronchigram电子源电磁透镜荧光屏晶体Ronchigram利用Ronchigram调节聚光镜像散abca)欠焦模式下像散红色圆圈内代表球差最小b

6、)欠焦模式下无像散Ronchigram像，应该用聚c)正焦模式下无像散光镜光阑选择此部分利用Ronchigram像调节样品高度欠焦过焦正焦样品不同焦距下的Rochigram像过焦正焦欠焦1、STEM+EDSMAPPING大束斑低分辨率，AMAG模式，聚光镜光阑＃2或3号2、HRSTEM0.2nm束斑，STEM合轴，样品因素＃3聚光镜光阑必须的相机常数选择DetectionangleHAADFdetectoratupperpositionCameralengthInner(mrad)Outer(mrad)12cm5214010cm611638cm7

7、3194HAADF1(11.26cm)56149HAADF2(9.8cm)67168HAADF3(7.8cm)92228HAADF4(5.6cm)120228HAADF5(4.2cm)167228内容：1、由TEM构造到TEM操作2、由平行电子束到会聚电子束3、由TEM模式到STEM模式4、总结总结：1、HT重要性，常规合轴三步曲2、会聚束模式使用3、HRSTEM与STEMEDSanalysis