晶圆处理工程用语.doc

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1、晶圆处理工程用语D．1基本、共同用语编号用语（英文/中文）用语说明D1001unloader卸载机、卸货机是将被加工对象（work）从所定位置取出之机构D1002Indexer指针器，索引器是指发送机（sender）与接收机（receiver）之总称。在处理之前后，亦有使用同一匣盒使遮光罩(mask),晶圆等基板收纳位置不会变化之单面匣式（uni-cassette）方式。D1003Waferautomatictransfersystem晶圆自动传送系统是指将晶圆每次一片或每次多片，从匣盒自动转移至各处理装置之装置。此一装置是由匣盒载物台(cassettestage)、晶圆搬运机器人，

2、以及该接口所构成，大都与匣盒搬运机械人搭配使用。D1004Waferhoist晶圆交接升降装置系指有关晶圆输送机构之晶圆交接升降机构。大都与附属在输送机构先端之晶圆承接臂成对搭配使用，位在交接之制程位置，由晶圆承接部分与驱动该部分之上下机构所组成。D1005Waferholder晶圆保持器系指有关形成薄膜之半导体制造装置，在各种处理或晶圆输送时，用来保持晶圆之装置部分。D1006X-Ystage/X-Ytable从横移动载物台/从横移动载物盘是指可将被加工对象(work)加以从横方向移动，且可决定其精确位置之机构。D1007materialsafetydatasheet材料安全数据清

3、单MSDS是指记录化学物质之物性、毒性、可燃性，反应性及处理方法之安全性数据清单。为确保使用瓦斯或药品处理装置在操作时之安全为目的，通常与使用说明书等附加在一起。D1008Orientationflatarrangeequipment晶圆定向平面摆齐装置是指将匣盒内晶圆之定向平面加以摆齐在一个方向之装置。为要检查晶圆转移传送是否确实，或为要使晶圆在各处理装置内之定向决定，能顺利所使用之装置。D1009cassette/magazine晶圆匣盒/晶圆收纳盒是指将晶圆被加工对象整齐加以收纳之装置。为使晶圆加工对象在各制程上能容易进行搭载及卸在载为目的，所使用之匣盒。类同之用语有magaz

4、ine一语。D1010cassette-to-cassettehandling匣盒间转运处理系指从供给侧晶圆匣盒，将晶圆每次一片自动加以取出，输送至处理室处理后，将晶圆逐片收纳在收纳侧晶圆匣盒之处理方式。D1011Availability利用度，利用率系指针对计划运输时间，实际可正常运输时间之比率。D1012Substrate基板,基片是指成为处理对象之空白遮光罩(maskblank),晶圆等材料总称.编号用语（英文/中文）用语说明D1013Carrierbox指为要输送或保管晶圆之容器.运载盒在制造过程上务必保持晶圆不至受到容器排放瓦斯之污染,输送盒材质之鉴定至为重要.目前,输送盒

5、以使用聚丙稀(polypropylene)树脂及聚碳酸脂(polycarbonate)的树脂为主.D1014Clustertool组合设备公具指将不同装置厂家之设备或不同制程之结合,或能将半导体装置制造商独特之制造模块，加以装配之多加工室（multichamber）制造装置。是以美国半导体制造装置厂家为中心之团体MESA(ModularEquipmentStandardArchitecture)所提倡者。D1015Pre-purge是指要使用热处理炉、反应室或瓦斯配管系统之前，将纯性瓦斯引进加以净化之操作。D1016Costofownership是将半导体制造相关设备之投资，或将营运

6、之经济性评价基准，以经营位皆加以模型化者。将制造装置之寿命周期成本（lifecyclecost）,以装置价格、生产性、可靠性及成品率等加以考量，而算出每一晶圆良品成本之方法。D1017Magneticcoupledfeedthrough磁耦合旋转馈通是指利用N极S极之磁性结合力，将外旋转驱动力传达到真空气氛内之旋转机构。是一种非接触旋转，因多半在真空与大气间隔着一道墙壁之构造，其真空密封寿命为无限大，对超高真空性能之维持很有效。D1018Magneticlevitationtransfer磁悬浮输送是指利用磁性反斥力之非接触性输送机构。是由控制磁悬浮之控制电磁铁、线性马达及悬浮体等所

7、构成，例如遮光罩或晶圆等之基片搭载在悬浮体上来移动。在真空中使用时，因属非接触，无振动、无润滑油及全然不产生灰尘，具有可获得洁净真空等大特点。D1019Robotforusinginvacuum真空机械人是指在真空室内，为要移送基板单体所使用输送机构之总称。为防止例如遮光罩，晶圆等基板受到微粒之污染，采用振动部极低之机构。就其功能而言，一般具有直进、旋转、上下移动等功能。D1020Throughput生产量，工作数是单位时间内所能处理之遮光罩或晶圆等基板之