真空镀膜操作流程.doc

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1、真空镀膜机操作流程1打开冷凝水。2调节好舟，放一颗银粒到舟（4号舟）上，放置石英片（镀银的面朝下）。3打开总电源，进入操作界面，将样品和4号舟的挡板复位。4开电流，看电路是否连通。5关闭通空气阀门，打开机械泵，开机械泵阀门，抽真空至10Pa以下。6关闭机械泵阀门，打开分子泵，打开分子泵阀门，抽真空至6*10-5Pa。7开电流加热装置，电流缓慢增大30-40A,70-80A,打开旋转开关，将样品和4号舟的挡板打开，打开样品旋转装置。8在电流缓慢增大过程中，打开膜厚度检测装置。加至140A时，此时金属增发，开始镀膜。等膜厚到达35nm-

2、40nm时关闭电流。9关闭分子泵阀门，在操作界面关闭分子泵，等转速降为0时，可关闭分子泵电源。10打开放气阀，放气完毕，取出样品。11关闭通空气阀门，打开机械泵，开机械泵阀门，抽真空至10Pa以下。12关总电源，关冷凝水，实验结束。