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1、一.防靜電基礎知識靜電產生的原理:1.摩擦:絕緣體之間磨擦而產生靜電AB————————————————+++++++++++++++2.傳導:電荷的轉移,示意圖如下: AB 電量相等電荷轉移++++++++++++++++++++++++3.感應:帶有靜電的物體在電場的作用下使另一個物體也帶有靜電,示意圖如下:AB靜電感應只對導體和半導體才有作用.++++++++++++——++——++——++二.靜電電荷產生的種類:1>.摩擦2>.分離3>.電場感應4>.傳導三.靜電電荷對微電子工業的影響:1.微粒污染:在潔凈室裏,靜
2、電是使直徑在0.1~1.0微米之間的顆粒沉積的主要原因.當芯片帶有靜電后就很容易沉積灰塵.2.ESD(ESD中文意思是靜電放電)失效:靜電放電時當放電電流過大,產生過高熱能,將會擊穿集成電路內部線路.3.三種擊穿現象:1>.熱擊穿:P-N破壞2>.介電擊穿:氧化層的破壞3>.金屬汽化:金屬線被汽化而開路四.半導體的靜電敏感度:裝置型式靜電放電敏感度範圍(伏)裝置型式靜電放電敏感度範圍(伏)VMOS30~1800散粒(肖特基)二極管300~2500MOSFET100~200薄片電阻(厚,細)300~3000GaASFET100~300雙向晶
3、體管380~7000EPROM100ECL(發射極偶合邏輯電路)500~1500JFET140~7000SCR(可控硅)680~1000SAW150~1500散粒(肖特基)晶體管1000~2500OP-AMP190~2500散粒晶體管邏輯電路1000~2500CMOS250~3000五.靜電放電的三種型式:1.人體型式:當人體活動時身體和衣服之間摩擦產生靜電,若不及時將靜電釋放給大地,而直接把靜電轉移給ESD敏感裝置而造成損壞.2.微電子器件帶電型式:在自動化生產過程中,一些塑料器件因摩擦產生靜電,通過ESD敏感裝置接觸,造成損壞.3.場
4、感應型式:在有強電場圍繞時,能通過感應方法損壞ESD敏感裝置.六.靜電電荷的消除原理:1.接地:將導體材料接通大地,把靜電電荷傳導到大地.2.離子中和:用離子發生設備產生離子,來中和物體表面所帶靜電荷.3.屏蔽:用高導電性材料做成屏蔽層,使ESD敏感裝置不受外界靜電場損壞.七. ESD等級分類：等級電壓範圍典型設備00~100VEPROM,VMOS,MOSFET,GAAS,FET,SAM1100~1000VSCR,JFET,薄膜電阻,二極管21000~4000VProtectedMOS,SCHOTTKY,TTL,OP-AMPandLS
5、I34000~15000V大多其它半導體八.預防措施:a.人员凡生产中可能接触到电子元器件或产品的人遇均需具备一定的静电防护措施.1、在线生产人员必须佩戴有线防静电手环方可作业,该有线防静电手环应与专用之接地线相连;2、非在线之作业员,设备操作员,现场之管理干部及周边单位(工程、品管、检测、企划等)技术员、工程师等需佩戴证明有效的无线式防静电手环；3、SMT现场之工作人员,除佩戴相应之防静电手环外,还应该穿防静电服与防静鞋;4、品检人员应佩戴证明有效的无线式防静电手环,但当检验静电敏感器件(如IC,电晶体,二极体,晶振)等时,或带有ESD
6、S器件的产品时的,必须戴有线防静电手环.b.设备与工具1、生产设备,包括插件线、输送带、各种焊锡机、水洗机、前加工设备、吸放板机、锡膏印刷机，贴片机等必须要有专用导线与接地线相连；2、接触静电敏感元器件的工作台,检验桌,修理桌等,表面必须覆盖导电性桌垫,且必须有专用导线与接地线相连;3、焊锡修理等应使用瓷质绝缘的电铬铁/吸锡枪,电热丝部分是低压控温并接地(三极插头),接地电阻低于10Ω,且前端温度控制在360±20℃;4、各类量测与测试设备同样必须要有接地.在线测试机和ATE要有专用导线与接地线相连,如使用三极插头,显示板表面应定期喷有静
7、电防止剂(一月一次).5、靜電壓表、靜電場表應能夠检验超過±200伏靜電壓;6、用於查核ESD不間斷接地的測量儀應能檢查出小於1歐姆的電阻值;7、用於測量工作臺表面電阻測量儀應能讀出10^12ohm電阻率及小於它的值.c.接地1、ESD接地可以是设备的接地(使用三极插座中的第三极),或专用的大地接地,并保证接地电阻低于1Ω.2、专用接地线要使用铜编织线、有线式防静电手环、导电性桌垫、设备上除电源外和接地器等要通过导线与专用接地线相连，或者使用导线将上述设施与三极插座的接地端相连.3、整个建筑物必须要有一个集中的接地系统.4、所有新的专用接
8、地保护线和电源地线要经过技术人员的全检确认方可投入使用.5、用来检测防静电专用接地线的仪器、仪表等要求能测出小于1Ω的电阻值。九.作业时要注意:7.1拿取IC时手指不可触碰到IC脚;拿取电晶体
