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时间：2020-07-30
《TFT-LCD基础制程技术课件.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。
1、TFT-LCD基礎製程技術TFT-LCD薄膜製程1TFT-LCD基本常識TFT-LCD全名TFTThinFilmTransistor薄膜電晶體LCDLiquidCrystalDisplay液晶顯示器LCD動作原理TFT-LCD基本構造TFT-LCD基本製程2LCD動作原理(上)打出白光打出黑光3LCD動作原理(下)電壓控制光的強弱液晶受電場影響改變排列方式電壓距離=電場電壓電場液晶排列光的強弱顏色4TFT-LCD基本構造5TFT-LCD基本製程(上)6TFT-LCD基本製程(下)7TFT-LCD薄膜製程目的在玻璃基板上，製作薄膜電晶體。基板成品板8TFT-LCD薄
2、膜製程(基本製程)成膜光阻塗佈曝光顯影烘乾清洗9TFT-LCD薄膜製程(基本製程)續蝕刻剝膜檢查10TFT-LCD薄膜製程(Array段)TFT由五道光罩製程製造TFTArray組成材料如下SiNxCrn+Sia-Si:HSiNxCr11Mask1：Gate電極形成AA’AA’Cr成膜蝕刻Cr12Mask2：SE島狀半導體AA’AA’SiNx/a-Si:H/n+Si成膜蝕刻n+Si13Mask3：Source&Drain電極形成AA’AA’Cr成膜蝕刻Cr/n+Si14Mask4：ContactHole形成AA’AA’SiNx成膜蝕刻SiNx15Mask5：畫素電極形成AA’
3、AA’ITO成膜蝕刻ITO16實際畫素情況SourceLineGateLineTFT17顯示器解析度18X代廠與面取數19謝謝Thankyou20
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