NPM培训教材(机台校准)课件.pptx

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1、相册由QCMC创建NPM-D校准相册由QCMC创建NPM-D校准目录一、NPM-D校准项目、程序1校准项目2校准时使用的量具3共通程序4校准菜单画面的说明二、校正吸头相机XY原点三、面补正XY四、吸头/面补正Z1移载吸头五、实装位置/传送带1传送带2实装位置六、线性照相机七、量具站八、高度偏移量相册由QCMC创建NPM-D校准一、NPM-D校准项目、程序1、校准项目这里是校准项目和设备状况变化(移设、装置更换等)时实施的项目。相册由QCMC创建NPM-D校准2、校准时使用的量具这里是校准时使用的量具。相册由QCMC创建NPM-D校准3、共通程序显示校准菜单

2、。1按。•将会显示装置的菜单。2按。•将会显示校准菜单。相册由QCMC创建NPM-D校准4、校准菜单画面的说明a表示校准的工序(第1~4工序)。b表示校准的每个工序(第1~4工序)内的项目。c表示执行校准作业的动作或准备等作业所需的动作的项目。d表示通过校准设定的参数，按下按钮后显示现在所登录的参数。相册由QCMC创建NPM-D校准二、校正吸头相机XY原点本操作是全部吸头的共通操作。1按。2按[吸头照相机XY原点]。3选择工作台。∗请选择进行校准的工作台。4按+[照相机角度]。•将会进行校准。5确认是否已正常结束。6按+[XY原点照相机标尺]。•将会进行校

3、准。相册由QCMC创建NPM-D校准7确认是否已正常结束。∗请反复进行程序3.~7.的操作，在其他工作台上也要进行同样的操作。8按[面补正XY]。•不仅是下一项目，从此画面换到其它画面时都会显示确认是否保存数据的画面。∗若要保存通过校准获得的数据，请按[是]。•若按[否]，将会进行原点复归，通过校准获得的数据将被失掉。•上述操作完毕后，画面将会转换。相册由QCMC创建NPM-D校准三、面补正XY本操作是全部吸头共通的操作。面补正量具需要通过手动作业来设置，因此请使用面补正量具来调整前工序及后工序的搬送传送带的宽度。进行校准之前，请将支撑销全部取下。1在前工

4、序的轨道1和轨道2上设置面补正量具。2按。3按[面补正XY]。∗请确认本机内没有基板。4按+[量具搬入]。•当本机内有基板时，将显示错误。∗取出本机内的基板后，请再次进行[量具搬入]的操作。5按+[执行]。•本机将会进行传送带宽度的自动调整，请搬入面补正量具。相册由QCMC创建NPM-D校准6按+[确认]。•吸头将会移动到退避位置。7将伺服开关置于OFF。8打开安全盖。9轨道1、轨道2都将前面轨道上面的基准标记对准面补正量具的右端。∗(左?右流动、右?左流动都同样。)10关闭安全盖。11将伺服开关置于ON。相册由QCMC创建NPM-D校准12按[确认]。1

5、3按+[面补正XY]。•将会进行前侧的校准，然后继续进行后侧的校准。14确认是否已正常结束。相册由QCMC创建NPM-D校准15按。•不仅是下一项目，从此画面换到其它画面时都会显示确认是否保存数据的画面。∗若要保存通过校准获得的数据，请按[是]。•若按[否]，将会进行原点复归，通过校准获得的数据将被失掉。•上述操作完毕后，画面将会转换。16按+[确认]。•吸头将会移动到退避位置。17将伺服开关置于OFF。18打开安全盖。相册由QCMC创建NPM-D校准19用手推面补正量具，将其送到后工序的设备或后工序的传送带。20取出面补正量具。21关闭安全盖。22将伺服

6、开关置于ON。23按+[确认]。•将会转换到在程序15.中所选择的画面。相册由QCMC创建NPM-D校准四、吸头/面补正Z1、移载吸头该操作是16吸嘴吸头、12吸嘴吸头、8吸嘴吸头、2吸嘴吸头通用的。1按。2按[贴装头/面补正Z]。3选择工作台。∗请选择进行校准的工作台。4选择吸嘴位置。∗请选择进行高度计测的吸嘴位置。∗在初期画面上已选择所有的吸嘴位置，平时基本上也请选择所有的吸嘴位置。但是，有不使用的吸嘴位置时，请仅选择所需要的吸嘴位置。相册由QCMC创建NPM-D校准5按+[高度计测]。•吸头将会移动到作业位置。6将伺服开关置于OFF。7打开安全盖。8

7、将吸嘴安装在程序4.中所选择的吸嘴位置上。12吸嘴吸头、16吸嘴吸头∗请安装230CS吸嘴。8吸嘴吸头∗请安装230C吸嘴。2吸嘴吸头∗请安装1002号吸嘴。9关闭安全盖。10将伺服开关置于ON。相册由QCMC创建NPM-D校准11按+[确认]。•将会进行校准。12确认是否已正常结束。•每个吸嘴位置的显示在高度计测正常结束后，会从‘--’变成‘OK’。13按+[面补正Z]。•吸头将会移动到作业位置。14确认吸嘴的安装位置。12吸嘴吸头、16吸嘴吸头∗请使用230CS吸嘴。8吸嘴吸头∗请使用230C吸嘴。2吸嘴吸头∗请使用1002号吸嘴相册由QCMC创建NP

8、M-D校准15按+[确认]。•将会进行校准。16确认是否已正常结束