半导体IC切割SSS培训教材课件.ppt

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1、SSS培训教材第一章V2Handler的各部分机械调节的方法按下E-Stop，转动Turret,检查运动顺序是否正确：外环下内环下外环上内环上确定吸嘴的位置，在RejectBoat,GoodBoat以及Orientater处的位置是否在正中间。OrientatorRejectBoatGoodBoatSawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整8个吸嘴是否在同一个高度方法：在XYTable上面确定一个固定点，转动Turret,看每一个吸嘴接触定点的高度是

2、否相同，调节上方顶杆和杆套，选取高度平均值，使各吸嘴处于同一高度。检查吸嘴在XYTable,RejectBoat,GoodBoat以及Orientater处的高度是否满足要求：在XYTable上面放置一个Unit,如图所示吸嘴UnitXYTableSawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调整Orientator位置的高度标准：RejectBoat,GoodBoat上面高度标准：SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV

3、2Handler机械位置调整检查XYTable在XY轴向的平行度：固定一个吸嘴，转动XYTable在X,Y轴向的马达，移动XYTable检查GoodArm在IndexTray和GoodBoat上面的高度，以在IndexTray上的高度为基准；RejectArm在RejectTray和RejectBoat上面的高度，以RejectTray上面的高度为基准。Turret速度设定：旧机器——50~100，新机器——100~120SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械

4、位置调整GoodBoat——802sensor,RejectBoat——801sensor调节时Boat必须在Arm的正下方GoodBoatSensorSensorUnitArm2检查Arm2Gripper和Carrier是否在同一个平面；跑机过程中检查Gripper是否变形；Arm2在XYTable的马达位置，Retainer活动顺畅；Arm2在Flipper,Wash的位置是否正确，调节气阀，使上下运动力度再合适的范围之内；SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handle

5、r机械位置调整Washing&Drying:Washing冲洗次数为3~6次，速度为80mm/sDrying烘烤次数为8~10次，速度为60mm/s,温度设定为2~3若在正常设定下发现不能清洗干净不能烘干，则必须检查如下：清洗不干净：检查上下喷嘴是否堵塞；检查高压水压力状况；Carrier在Start,End的位置是否正确清洗不干净：检查上下喷嘴是否堵塞；检查压缩空气的压力；加热泵是否工作；Carrier在Start,End的位置是否正确SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2H

6、andler机械位置调整发现链条活动常：检查前后导矸是否平行；导杆前后距离太近导致链条过长刮到Wash底部；连轴器松动导致位置变化；Carrier托盘是否松动，检查轴套是否破损，及时更换；长轴是否变形Flipper检查检查Flipper在Work,Home状态下是否平衡，调节连轴器，使之达到平衡；Carrier两头的夹子是否松动，固定架子的杆是否松动；检查Flipper在翻转是是否顺畅；检查定位针是否磨损；调节气阀大小，使之翻转的动作平缓SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2H

7、andler机械位置调整Leadin检查：检查Sensor高度，皮带是否磨损导致Substrate不能到位，检查轨道宽度Arm1检查检查Arm1Left在Leadin位置是否平行，定位针是否破损，保证在吸料时，Substrate完好；检查Arm1Left在Chucktable位置，检查上下平面是否平行，确保放料位置正确；检查Arm1Right在Chucktable位置，检查平面度，下降高度不能太低，确保位置正确；方法：手动使Carrier在Chucktable位置下降到底，比较Chucktable与Carrier两个平面，

8、以Chucktable平面为基准，同时移动Arm1Right到一个定位销与Chucktable平面平行，再检查另外一个定位销是否与Chucktable平面平行，若不平行，松开中间四个螺丝进行调整。SawSortSystemTechnicianTrainingManualASAV2Handler机械位置调