Bonding 技术介绍解析课件.ppt

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1、WireBonding工艺介绍11WireBonding是什么？WireBonding(压焊，也称为帮定，键合，丝焊)是指使用金属丝（金线等），利用热压或超声能源，完成微电子器件中固态电路内部互连接线的连接，即芯片与电路或引线框架之间的连接。2压焊放大图32WireBonding的方式：WireBonding的方式有两种：BallBonding(球焊)和WedgeBonding(平焊/楔焊)2.1BallBonding(球焊）金线通过空心夹具的毛细管穿出，然后经过电弧放电使伸出部分熔化，并在表面张力作用下成球形，然后通过夹具将球压焊到芯片的电极上，压下后作为第一个焊点，为球焊点，然

2、后从第一个焊点抽出弯曲的金线再压焊到相应的位置上，形成第二个焊点，为平焊（楔形）焊点，然后又形成另一个新球用作于下一个的第一个球焊点。4BallBonding图52.2WedgeBonding（平焊/楔焊）将两个楔形焊点压下形成连接，在这种工艺中没有球形成。WedgeBonding图672.3球焊和平焊的主要区别：2.3.1两者的焊点结构2.3.1.1球焊的第一个焊点为球焊点，第二个为平焊点2.3.1.2平焊（楔焊）的两个焊点都为平焊点BallBonding焊点示意图8WedgeBonding焊点示意图92.3.2两者所用压焊头2.3.2.1球焊选用毛细管头；焊点是在热(一般为10

3、0-500℃)、超声波、压力以及时间的综合作用下形成的。2.3.2.2平焊选用楔形头；焊点是在超声波能、压力以及时间等参数综合作用下形成的。一般在室温下进行。球焊用毛细管头示意图1011平焊用楔形头示意图12132.3.3两者的操作流程2.3.3.1球焊流程示意图141516173Wirebonding所需的设备及物料：3.1压焊机（平焊机及球焊机）3.1.1平焊机18193.1.2球焊机20213.2压焊头压焊头一般选用耐磨，耐氧化，容易清洁的材料。3.2.1球焊使用毛细管头毛细管头一般用陶瓷或钨制成。223.2.2平焊使用楔形头楔形头一般用陶瓷，钨碳合金或钛碳合金制成。233.

4、3金属线目前，最常用的是金线(Au,Cu)和铝线(Al,1%Si/Mg)。最常用的金属线的直径为：25–30μm3.3.1金线压焊用于大批量生产的场合，这种工艺速度较快，但目前金线压焊的间距极限为75μm，金线压焊需要光滑、洁净的焊接表面。表面的干净程度会影响焊接的可靠性。金线主要用在球焊和平焊工艺中。由于金线在热压下更容易变形，在电弧放电下更容易成球形，故在球焊中广泛使用。同时，由于完成压焊之后，金的特性较稳定，特别适合密封包装中，故在微波器件中，金线的平焊用处最广。3.3.2铝线压焊则用于封装或PCB不能加热的场合。有更精细的间距。采用细铝线压焊可以达到小于60μm（50μm）

5、的间距。铝线主要用于平焊工艺。费用较低。244压焊的工序控制：有效的对压焊进行工序控制，必须从以下几方面着手：4.1压焊机的设置超声波能量压力时间温度金属线的弯曲形状高度及焊接工艺根据压焊的几何学原理决定毛细管的形状，尺寸，材料直接影响压焊的最后形状压焊机的压焊速度产量的考虑4.2洁净要求及环境条件工作间的清洁100000级净化环境工具的清洁工作台的振动照明温湿度金线的储存条件N24.3焊接表面的清洁氩等离子微量的污染都会影响紫外线可靠性和焊接性溶剂清洁4.4压焊金属线的物理性质金属线的硬度金属线的拉伸强度合金成分2526只有充分考虑以上因素，才能有效控制压焊工序，才能获得高精度，

6、高可靠性，高强度，和有竞争力价格的压焊产品。目前，主要的方法是通过对拉力测试值，焊球剪切测试值进行SPC(统计工序控制)及外观检查来控制。5丝线压焊生产工艺特点：5.1焊接工艺操作空间有限5.2在操作之前，必须确认球焊和平焊的使用5.3通常，压焊的第一个压焊点在芯片上，第二点在引线框架或基层上5.4平焊压焊工艺可以代替球焊压焊的场合5.5平焊允许的焊盘的间距为75μm5.6球焊允许的焊盘的间距大于125μm5.7全显微状态下工作5.8严格的ESD要求及环境,元器件的清洁净化要求5.9严格的物料存储如金线（放在干燥的N2环境中，减小湿度的影响）5.10一般，球焊的第一个焊点要比第二个

7、位置要高5.11压焊工艺返修简单，但受制于操作空间276压焊工艺的评估：通常，对压焊效果的评估有两种方法：外观检查及机械测试6.1外观检查外观检查主要通过光学显微镜，电子显微扫描（SEM），X射线探测等手段来实现。SEM探测图（良好的球焊效果及月牙形的尾部）286.2机械测试最常用的机械测试方法有两种：拉力测试和焊球剪切测试6.2.1拉力测试示意图296.2.2焊球剪切测试示意图307压焊工艺的缺陷介绍：在压焊工艺中，主要会产生以下缺陷，这些缺陷都将严重影响焊接的质量