硅晶柱数控磨铣专机晶向测量系统设计与分析.pdf

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1、安徽工业大学毕业设计（论文）说明书硅晶柱数控磨铣专机晶向测量系统设计与分析┊┊┊机械设计制造及其自动化孙志超089054427指导教师：汪世益教┊┊授┊┊┊摘要┊┊┊本文根据用于太阳能的硅晶片加工要求，硅晶柱外圆磨削之后需要测量晶向，然┊后在特定的晶向铣扁。为了减少工件装夹次数、提高工件的定位精度和提高劳动生产┊率，本课题针对硅晶柱磨铣数控专机开发，设计了一套在加工过程中使用的晶向测量装系统。┊本设计课题所完成的工作内容主要有：简要介绍了硅晶柱磨铣专机以及国内外现┊状，论证并确定了晶向测量系统的设计方案，对测量系统的主要零件进行了设计计算，┊完成了晶向测量系统的机械结构设计。应用三

2、维设计软件对晶向测量系统进行三维造┊型设计，应用有限元分析软件对其进行静态分析和模态分析，考查了测量系统各阶固┊有频率，为掌握该测量系统在工作状态下的应力情况、优化机床结构以及避免机床振订动提供了依据。┊关键词：硅晶柱磨床晶向测量三维设计有限元分析┊┊┊┊线┊┊┊┊┊┊┊┊┊共II页第I页┊┊┊安徽工业大学毕业设计（论文）说明书Abstract┊┊Accordingtotheprocessingrequirementsforsolarsiliconwafer,itis┊requiredthatthemeasurementofcrystaldirectionaftersiliconc

3、rystal┊columnexternalgrinding,theninaspecificorientationtothemillingflat.┊Inordertoreducethenumberoftheworkpiececlamping,improvethe┊positioningprecisionoftheworkpiecesandincreaselaborproductivity,the┊topicisforsiliconcrystalcolumnmillingNCmachinedevelopment,designing┊asetofwafermeasuringsystem

4、usedinprocessing.┊Thatthecontentofthedesigntaskhascompletedaremainly:abrief┊introductionofthesiliconcrystalcolumnmillingmachineaswellasthe┊domesticandforeignstatusquo,argumentationanddeterminationofthe┊crystalorientationmeasurementsystemdesign,designandcalculationofmain┊partsofthemeasurementsy

5、stem,completionofmechanicalstructuredesign装ofthecrystalorientationmeasurementsystem.usingthree-dimensional┊designsoftwareforthecrystaldirectionmeasuringsystemfor3Dmodeling,┊usingfiniteelementanalysissoftwaretoperformstaticanalysisandmodal┊analysisandexaminevariousfrequenciesofthemeasurementsys

6、tem.They┊providethebasistomasterthestressconditionofmeasurementsysteminthe┊workcondition,optimizemachinetoolstructureandavoidthevibrationof订machinetools.┊Keywords:siliconcylindricalgrinder,crystalorientation┊measurement,three-dimensionaldesign,finiteelementanalysis┊┊┊线┊┊┊┊┊┊┊┊┊共II页第II页┊┊┊安徽工业大

7、学毕业设计（论文）说明书┊第一章绪论┊┊┊1.1磨床概述┊1.1.1机床设计发展的几个阶段┊┊随着社会生产的发展和制造技术的进步，机床设计思想也在不断进步、发展和完┊善。现代机床设计思想的形成，主要经历了以下几个阶段：┊1.经验设计阶段：二十世纪40年代中期之前，机床设计思想的主要任务是解决┊加工与强度问题，即刀具与工件之间形成某种相对运动，以加工出一定形状的工件。┊同时机床零部件还应具有足够的强度，不受破坏。┊2.试验设计阶段：二十世纪40年代中期到60年代初期，随