各种真空泵简介资料ppt课件.ppt

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1、真空泵简介设计三室真空泵真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。可定义为：利用机械、物理、化学等方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速可从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。真空泵广泛用于机械、化工、低温设备、电子行业、冶金、石油、矿山等领域。真空泵的性能指标抽速单位时间内，真空泵吸入口在吸入状态下的气体体积量（吸入压力和温度下的体积流量），单位是m³/h、m³/min。抽速与吸入压力有关，吸入压力愈低，抽气速率愈小，

2、直至极限真空时，抽气速率为零。真空泵的性能指标极限压力（单位：Pa）泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的最低的稳定的压力。真空泵分类按其真空度可以分为：粗真空、高真空、超高真空三大类。粗真空：760~10托；低真空：10~10-3托；高真空：10-3~10-8托；超高真空：10-8~10-12托，极高真空：10-12托以下（1标准大气压=760托，1托=133Pa）真空泵分类按其工作原理，真空泵基本上可以分为两种类

3、型。气体输送泵使气体不断的吸入和排出，以达到抽气目的。气体捕集泵使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小容器内的气体分子数目，达到抽气目的。气体捕集泵1、吸附泵主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气。2、吸气剂泵利用吸气剂以化学结合方式捕获气体。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。气体捕集泵有以下几种型式：气体捕集泵3、吸气剂离子泵使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下几种型式：(1)蒸发离子泵：吸气材料以

4、间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁，吸附泵内被电离的气体，以实现抽气。　　(2)溅射离子泵：吸气材料由阴极连续溅射散出来，吸附泵内被电离的气体，以实现抽气。4、低温泵利用低温表面捕集气体的真空泵。气体输送泵1、旋片式真空泵3、往复式真空泵5、滑阀式真空泵7、干式真空泵9、分子真空泵11、复合式真空泵13、气体喷射泵15、扩散泵等。2、水环式真空泵4、定片式真空泵6、余摆线真空泵8、罗茨真空泵10、牵引分子泵12、水喷射真空泵14、蒸汽喷射泵真空泵油极低的蒸气压这是真空泵油的最重要的性能，由于真

5、空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。合适的粘度和良好的粘温特性真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。真空泵油作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。对于真空泵油，有如下要求：真空泵油良好的热氧化安定性真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。较高的闪点主要要求真空泵中不携带轻

6、质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。真空泵油良好的抗腐蚀性和抗乳化性真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。较低的极限压力极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在最低真空极限压力下真空泵的极限压力。真空泵选型1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。2、针对被抽气体选择相应的泵。如气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，

7、应考虑在泵的进气管路安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。选择真空泵时的注意事项：真空泵选型4、正确地组合真空泵。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的出口压强低于大气压，需要前级泵，因此需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应选各种无油泵。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施。真空泵选型7、真空泵排出的油蒸气对环境的影响。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到

8、室外。8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。9、真空泵的价格、运转及维修费用。谢谢！旋片式真空泵旋片泵是一种油封式机械真空泵，是真空技术中最基本的真空获得设备之一。工作压强范围为101325~1.33×10-2Pa，属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵多为中小型泵，有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来