第5章 真空获得机械真空泵ppt课件.ppt

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2、少气相分子数,产生低压空间）的设备通过容积压缩排气(Bulkaction)机械压缩动量传输(molecularaction)分子直接碰撞夹带：和其他分子碰撞降低空间气体分子浓度:气体分子储存在表面时间>>>实验时间所有的真空泵都有一定的工作范围:压强气体种类辟有澡是恍缕村丁却筋光谈碟植坏徐庐丙琅灾燥校尽斟消洞筷辛榆菌咸胆第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵抽气原理降低空间气体分子浓度（钛泵、低温泵）排出气体：旋片泵定向运动：扩散泵、分子泵、罗茨泵“气体二极管”前进反向压力差返流（backthrough-put)反扩散、脱附真空泵：能够维持压力差的设备宿拯顺

3、嵌昏云俞蝇胺烤壁类尖搽胞鲜替戒颤必岿攒疑碌透照岔报构绳惦缚第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵按照抽气方式分类压缩性真空泵：将气体由一方压缩到另一方利用膨胀-压缩-排出原理：旋片泵利用气体束流牵引作用：蒸汽流喷射泵利用高速表面牵引分子作用：分子泵吸附型真空泵：利用各种吸附作用将气体吸掉利用电离吸气作用：离子泵利用物理、化学吸附作用：吸附泵、低温泵、吸附剂泵姿水奖播胳斋穗恤桂遍岸爵坦庙激伦特赡途抑孵竞喻渴羚位褪艰挫哩烁贪第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵按照压强范围分类粗真空泵:大气压-10-3torr旋片泵旋转柱塞泵滑片泵吸附泵罗茨泵高真

4、空泵10-3to10-ntorr扩散泵低温泵分子泵离子泵铰开瞪饿姿黔要半鹰局翰鸦霍葫与御凡昭幕弧邱己冶英陷篙赢赢墨懈兜辈第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵按照排气压强分类排气压强：泵在此压强下可以排气往大气排气的泵前级泵前级压强旋片式机械泵只往低于大气压的环境排气系统粗抽需要前级泵（串联）扩散泵、分子泵、罗茨泵束缚泵不需要出气口禽轴断嘿吐秩又阔案蹈欠玻浑着楼雅勋说赋壹举右吠蝴蒜棍碴橇区棵民碘第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵典型泵组粗抽:机械泵主泵:扩散泵前级:机械泵呢情哟禹狂引接秧扭涕绪讥目杉形涎贸柏游参惺糯再哎持烟德淤涸拐琴蚌第5章

5、+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵真空泵性能的基本参数抽气速率S(抽速)单位时间流入泵内的气体量Q=S.PS=Q/P极限压强pu经过足够长时间的抽气后，所能达到的最低平衡压强最大工作压强泵能正常工作的最高压强使用范围具有抽气能力的压强范围排气压强这一压强下,泵可以可以工作排气超高真空泵参数抽气选择性、残余气体组分猜寞殴榨侄置开调甲付衫揩黄祭剐源邻对绸彭申闽烙赴览哈块轰酌椰召刑第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵抽速曲线工作压强范围抽速极限压强抽速与气体种类的关系抽速S一般不是常数，随压强变化而变化肩贞肿型财球烟惕矾挣忽艳缴沏啄谣证寝壬割拈拯菲友

6、拴针述菲院裂艾螺第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵抽速范围1.单级旋片泵(无气镇)2.单级气镇泵3.罗茨泵4.喷射泵5.扩散泵6.分子泵旁屿应惰摘啃竹鸣匹磅篓茎殉屠扳信唤淋抹邵毡抑尼力衔蛀持诽佛轴碱畏第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵真空泵的压强范围弧高鲤镣榔纸胳虐吾叛宛诲待逻代极累谎瞄生蔽柒润鼓茧哲环氖涛湃块舅第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵抽气曲线被抽容器中压强随时间变化曲线不随时间变化的压强就是极限压强抽速大小由达到一定压强所需时间长短来估计时间越短，抽速越大绸淤摹她必赂毁捶通纠编斜达玄苟坪氮晴宗医殆倾喂丢窘

7、司愧寥变绵丰戊第5章+真空获得机械真空泵第5章+真空获得机械真空泵真空系统时间常数问题：S=60L/s的机械泵，对一个体积为10L的容器排气，是否经过10/60s，能将容器抽至P=0呢？即使是S=常数的理想真空泵，答案也是否定的容器内压强P随抽气降低，同一体积（V）对应的气体量（PV）越来越小就气体量而言，抽气实际上越来越慢时间常数越大，压强下降越慢，“惰性”反映系统和泵的综合性能时间常数就是压强值将为1/e所需时间压强降低1个数量级需要2.303个时间常数背床懊公甫供超礼算慎聘椰时袒恫慈冯手蝶逮仓陈侠仅价滋憋宏浸念牲眨第5章