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1、CleanroomSystem[洁净室系统]a,内装修工程:(高架地板工程、洁净室隔墙板系统、铝合金龙骨吊顶/ceilinggrid、无尘涂装、环氧地坪等)、压差控制系统、ESD防静电等;b,循环空调系统:(包括部分供热与通风系统,比如MAU/OAC、AHU、FFU、DDC、FCU、粗、中、高、超高过滤器、化学过滤器etc.、送气风机、排气风机etc.);c,FOUNDATION:防震机座、粉尘监测智能系统/DMS系统、风淋室、传递窗、层流罩、洁净工作台、洁净洗手器、洁净衣架、洁净电梯、正压洁净楼梯间系统、化学品储存冷库和
2、压缩机etc.MechanicalSystem[机械系统]中央动力,Centralutility:Mechenical(热水、冷冻水、软水、工艺设备冷却水PCW、生产上水、自来水﹑饮用水、一般蒸汽和洁净蒸汽等管路供应系统;锅炉、冷冻机、冷却塔、空压机等厂务设施)SpecialtyGasandBulkGas[特殊气体和大宗气体]a,BulkGas:GASYARD气站,CQC(N2/H2/O2/Ar/He/天然气)【包括普通和超纯/精制气体】,压缩空气(CDA)--有些FAB还将机台用CDA和厂务设备用CDA供应系统分开,呼吸
3、空气供应系统等;b,SpecialtyGasSystem(部分特性有重迭):(1)易燃性气体(FlammableGas)(2)毒性气体(ToxicGas)(3)腐蚀性气体(CorrosiveGas)(4)惰性气体(InertGas)(5)氧化性气体(OxideGas)(6)低压/保温气体(HeatGas)WaterTreatmentSystem[水处理系统]a,超纯水供应系统、热/温纯水供应系统、一次纯水(RO水)供应系统etc.b,工艺废水处理(酸、碱、含氟排水、slurry/cmp、研磨排液、温排水、纯水回收、一般排水
4、、TMAH显影液、H2O2、硫酸排液、磷酸排液、NH3排液etc.)c,办公用给排水系统:饮用水供应、自来水供应、生活污水处理、雨水排放系统etcExhaustSystem[工艺排气系统]a,工厂SCRUBBER:酸、碱、有机VOC、粉尘、一般排气etc.[有些FAB还包括了紧急排烟/事故排风系统]b,LOCALSCRUBBER(一般附属于工艺设备):依其原理大概可分成下列几类(1)电热水洗式;(2)燃烧水洗式(3)填充水洗式;(4)干式吸附式。ChemicalDispensingSystem[化学品供应系统]包括化学品供
5、应系统和化学品回收系统,具体使用的化学品种类根据每个FAB产品的不同而不同:a,ChemicalDispensingSystem化学品供应系统酸性碱性有机溶剂氧化腐蚀性b,化学品回收系统:光刻胶resist、STRIPPER剥离液(EKC、SST-A2、ORP、N311、T106、PGMEA、PGMEetc.)、异丙醇、硫酸废液、硫酸铜废液回收等VacuumSystem[真空系统]真空系统包括工艺真空(ProcessVacuum)、真空吸尘(HoseVacuum)或者清扫用真空、设备真空Pumping-line/vent系
6、统/Pumping-Exhaust系统。PowerSupply&AutomationSystem[电力供应及自动化]a,强电:高低压供电(包括中央变电站和各终端变电站)、ups电源供应系统(蓄电池组)、紧急柴油发电机系统、SSTS高速切换开关、VSS电容补偿系统等、各类配电盘、照明(包括teardrop泪滴型照明灯具、黄光灯)、插座;b,弱电:各类动力、EHS方面的自控部分(包括各类弱电盘面)、FMCS厂务监控系统(包括各sub-scada系统),【监控方面还有气体监控系统(GMS)、气体侦测系统(GDS)、有的厂是GMS
7、+GDS=FMCS、有的厂GMS和GDS会分开来的】、各类电气接地、静电防护系统etc.Construction[建筑结构]建筑结构相关(包含厂房维修),主要分为建筑和结构两大块(有些FAB将EHS相关的防火门、逃生门、紧急疏散口、挡烟垂臂、升降平台etc.也归入此类)EHSSystemControl[环境健康安全]EHS涉及环境保护(污染物控制【三废处理等】、有害物质控制【PFC、CFC、PFOS、ROHS指令等、WEEE等】)、健康(职业卫生)、工业安全、能源、治安保卫、ERC(ERT应急响应等)、风险管理【ISO14
8、001、OHSAS18001、QC080000等】,EHS其它等。硬件涉及:消火栓设备、喷淋系统、漏液检测系统、门禁系统、电话广播系统、PHS系统、紧急对讲机系统,感温电缆报警系统、vesda、烟感热感探头、闭路电视系统/CCTV监视摄像头、消防与观光电梯、地震监控系统、SCBA呼吸面具、紧急冲淋、各类
