半导体操作维护说明.docx

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1、半导体操作维护说明书南京凯旋电子光学仪器有限公司20南京凯旋电子半导体激光刻字机操作规程一、开机顺序1、打开水循环制冷机；2、打开总电源开关（位于电源箱最下面的开关）；3、打开激光电源开关，按红色按钮；当数位跳至0.0时，将旋钮右旋至打标所需电流；4、打开Q驱动电源，将旋钮右旋调整至设定频率；5、启动计算机，打开打标软件，调出文件开始工作；二、关机顺序1、关闭计算机；2、关闭Q驱动电源（在工件不变的情况下，无须将频率调整至原位）；3、将激光电源的旋钮左旋至打开时的初始电流（0.0），按下红色开关，关闭激光电源开关；4、最后

2、关闭水循环制冷机电源；特别注意事项：1、不管使用与否，只要水循环制冷机里有循环水，必须每10天更换一次循环水（必须是纯净度较高的蒸馏水），且每次换水时都要把水箱清洗干净。2、每次开机前，必须先开水循环制冷机。3、每次关机时，必须最后关闭水循环制冷机。4、每次关断激光电源前必须先将激光电源的旋钮左旋至打开时的初始电流：0.0方可按下红色开关，关闭激光电源开关；20一、基本原理二、系统构成三、激光电源四、激光器五、激光强弱的调整六、扫描驱动系统七、冷却系统八、设备的连接与使用九、设备的安装环境与保养十、设备的安全使用十一、激光

3、电源常见故障、原因及排除方法十二、激光部分常见故障、原因及排除方法20一、基本原理激光是一种受激辐射的特殊光源,具有亮度高、波长一致、方向性好和相干性强等显著特点。激光束可以在时间上和空间上实现高度的集中，具有良好的聚焦性能，经过聚焦后的激光束能够达到极高的功率密度，其亮度和功率密度大大的超过其他的任何光源。经过聚焦后的激光束形成细微的光斑，当激光束作用在物体的表面时，由于材料对激光的吸收使表面局部迅速的升温并引起一系列的物理变化，照射区域的材料发生熔融、汽化、电离、抛射，适当能量的激光束在计算机的控制下把工件的表面刻蚀成

4、人们所需要的文字和图案，这就是激光标刻的基本过程。半导体系列激光标刻机是由激光器、激光电源、计算机及专用软件、扫描驱动部件、循环冷却系统等部分组成,是典型的光、机、电一体化的高新技术设备。20、系统的构成循环冷却激光电源―激光器—k扫描驱动―标刻工件计算机本系统由激光器、激光电源、光学扫描驱动部件、计算机与应用软件以及冷却循环部件所构成。三、激光电源激光电源是激光打标机能否稳定工作的关键。半导体系列激光打标机采用了先进的开关型电源，具主回路采用进口的大功率IGBT器件组成全桥逆变电路，开关频率高、充电精度好、性能可靠、操作

5、维护简单，并且可以长时间连续工作，是目前比较先进的电源。电源内部有过压与过流保护、断水保护、水温过高与过低保护、器件过热保护等，并且都显示在面板上，使操作者一目了然。储能电容器的最高充电电压为1000伏，最高工作频率可达10K次/秒。激光电源与外部信号通过光电耦合器连接，可以在计算机的控制下按照用户编制的程序工作，也可以很方便地与外部信号同步以实现自动化。电源工作原理本电源直接接入外部220伏交流电，经过整流回路后供给逆变回路。整流回路中为避免开机时大电流的冲击而设计了软启动电路，这样开机时整流桥输出的脉动直流电不是直接输

6、出到滤波电容，而是通20过一个软启动电阻再接到滤波电容，最大峰值I=U/R，因此电流就比较小，等到滤波电容上的直流电压达到一定值时，软启动板进行取样比较，电流继电器J动作，短路软启动电阻R向控制电路发出软启动完成信号，整流桥直流输出端就直接与电解电容短接并进入正常的工作状态。逆变电路的作用是把经过整流滤波后的直流电变成频率为数拾KC的交流电，再经过高频整流向储能电容器充电，储能电容器上的电压由电压取样电路送至控制板进行比较，达到一定值时控制板输出触发信号，放电可控硅模块导通，使储能电容通过限流电感和交流接触器K2向半导体光

7、源放电，半导体光源的光能激发YAG激光晶体发出激光。控制回路是电源的中心，它控制着电源各部分的工作时序，发出振荡脉冲和工作电平信号，连接外部（计算机和其他控制信号）信号与激光电源，及时地向用户发出过压过流，水温，水压，过热等警告，确保设备的正常运行。四、激光器1激光的特点（1）单色性好：普通光源中最好的单色光源半导体光源发出的光，谱线宽度为△入=0.0047A,而单膜稳频氨覆激光的谱线宽度可达到△入=10A°。（2）方向性好:普通光源发光向四方八面辐射,而激光是相当好的平行光束，发散角在毫弧度数量级。20(3)高亮度：毫微

8、秒宽度的脉冲激光，亮度高达108瓦/厘米2立体弧度，而太阳表面的亮度才2X103瓦/厘米2立体弧度。(4)相干性好：光的相干性和单色性密切相关，普通光源中最好的单色光源半导体光源，相干性只有几百毫米，氨覆激光相干长度理论上可达到100公里以上。2激光器的基本组成(各部件位置见附图)基本的激光器由前腔片，