等离子刻蚀机.docx

《等离子刻蚀机.docx》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、等离子刻蚀机1、紧凑的台式设备、可调节的RF功率、符合CE安全标准。2、清洗舱：长6.5(165mm)英寸，直径6(152mm)英寸；3、常用工作气体：空气、氧气、氩气、氮气或混合气体等4、1/8英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力5、1/8英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换6、整机尺寸：11"Hx18"Wx9"D(279mmx457mmx228mm)档位功率设置：输入功率200W*7、功率为低、中、高档可调，应用射频线圈，产生的等离子功率对应表:低档功率范围：电压716V

2、DC电流10mADC工作功率7.16W中档功率范围：电压720VDC电流15mADC工作功率10.15W高档功率范围：电压740VDC电流40mADC工作功率29.6W&真空托盘石英材质托盘，调整待处理样品的放置咼度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。9、需配置采购高级无油真空泵系统支持各类活性气体的等离子体清洗处理；附带软管、软管箍、进气道适配器，定心环和摆动钳等连接套件。10、气体流量混合器各路气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入技术规格1、等离子清洗机主机★1

3、.1台式设备、功率为低、中、高档可调，符合CE安全标准。1.2腔体材质：圆柱形派热克斯玻璃舱；★1.3腔体尺寸：长6.5(165mm)英寸，直径6(152mm)英寸；1.4腔体容积：3升;1.5应用最大到30W的射频线圈；1.61/8英寸标准锥管螺纹针型阀控制气流和腔体压力；1.71/8英寸标准锥管螺纹三通阀便于气体混合，隔离舱体和排气的快速切换；1.8档位功率设置：输入功率200V；1.9应用射频线圈，产生的等离子功率对应表：1)低档功率范围：电压716VDC电流10mADC工作功率7.16W2)中档

4、功率范围：电压720VDC电流15mADC工作功率10.15W3)高档功率范围：电压740VDC电流40mADC工作功率29.6W★2.、真空油泵VacuumPump2.1峰值抽速：(60Hz)5.1m3/h★3、气体流量混合控制器4.、HQT-1扩3.1气体和混合气体流量的精准控制，舱内压力的实时监控，可支持两路气体输入处理样品。展型样品托盘VacuumTray4.1石英材质托盘，调整待处理样品的放置高度，确保处理的等离子浓度与均匀度均达到最佳。5、原装进口针型阀三通阀套装6、RF测试荧光灯管差示扫描

5、量热仪技术规格一、设备名称：差示扫描量热仪二、用途：在程序温度控制下，测量样品的吸放热与温度（或时间）的函数关系，表征材料相变过程的特征温度及热焓。三、交货期：合同签订后三个月四、技术指标和参数：★1.1.温度范围：-170~600C★1.2•制冷方式：双制冷系统，液氮制冷和机械制冷同时安装，使用时无需插拔，只需软件切换★1.3.升/降温速率：0.001〜500C/min★1.4.温度准确度:0.1C（标准金属）★1.5.热焓准确度：±）.5%（标准金属1.6.）温度重复性：±）.01C1.7.热焓重复

6、性：±）.1%1.8.灵敏度：0.1yw1.9.测量范围：步50mW1.10.基线漂移：±0^w（-50C〜300C）1.11.温度/热焓校正：多点标样，非线性校正技术1.12.气流控制：内置式3路质量流量计，软件自动切换1.13.自由转换的中英文智能控制/分析软件，支持Win10。1.14.附件1）校准标样：1套用于标定热焓和温度（含6个标样，全量程）2）液氮制冷系统3）机械制冷系统4）配备concavus铝坩埚五、技术服务要求5.1供应商必须提供仪器的现场安装调试并达到投标书指标要求的技术性能，并同

7、时在现场对用户进行操作培训。5.2仪器在调试验收合格后，提供壹年免费保修服务，在保修期内，所有服务及配件全部免费，保修期外,仪器终身维修。5.3供应商在中国应设有保税库，保证能更及时地为用户提供备品备件。*5.4供应商在国内必须设有分析仪器培训，免费为用户提供仪器的基本原理、操作、日常维护及基础分析仪器理论课程，并为用户不少于两人的国内免费培训。*5.5供应商提供为用户提供免费的电话咨询及技术服务。六、售后服务6.1投标方应具有可靠的供货实力，在中国境内有维修站，并具有高素质的专业维修队伍。6.2在接到

8、用户维修请求后，应能在24小时内作出快速响应，并在72小时内到达现场。6.3仪器整机保修期为12个月（从最终验收合格后起）。七.交货地点：客户指定地点LB膜分析仪1、工作原理：威廉法；*2、内置微量天平的分辨率优于0.2⑷；*3、测量传感器：直径0.51mm，特殊合金材质，能够测量粘稠样品的表面张力/表面压力；测量传感器抗化学腐蚀，本仪器能够测量硫酸等强酸性样品；*5、测量探针不含铂金，可被阳离子化合物充分润湿。测量含阳离子化合物的样品时，