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《光学元件超光滑表面在精密抛光中表面光洁度控制研究(可编辑)》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在工程资料-天天文库。
1、分类号密级编号中南大学工程硕士学位论文论文题目??煮掌丞件超光滑表面在精蜜抛光一史表面光洁度控制韵研究学科、专业?执槭制造及墓.自.动化?..研究生姓名一恩??艳?导师姓名及专业技术职务??萱??捐??数援?~年月川删??舢原创性声明本人声明,所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。尽我所知,除了论文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得中南大学或其他单位的学位或证书而使用过的材料。与我共同工作的同志对本研究所作的贡献均已在论文中作了明确的说明。?名:母也吼号年卫月止学位论文版权使用授权书本人了解
2、中南大学有关保留、使用学位论文的规定,即:学校有权保留学位论文并根据国家或湖南省有关部门规定送交学位论文,允许学位论文被奄阅和借阅;学校可以公布学位论文的全部或部分内容,可以采用复印、缩印或其它手段保存学位论文。同时授权中国科学技术信息研究所将本学位论文收录到《中国学位论文全文数据库》,并通过网络向社会公众提供信息服务。,?、,作者签名:剑玄匕导师签名嗍:坪年毕月丛日摘要随着科技的发展,高精度产品的需求日益迫切,具有亚纳米级粗糙度的超光滑表面在软射线光学、强激光及激光陀螺等领域有着越来越广泛的应用。抛光过程是一个极为复杂且难以控制的加工过程,实现生产的自动化是超光滑表面加工
3、所追求的最终目标。本文主要围绕影响抛光表面光洁度质量的几个关键技术进行研究。论文首先针对超级研磨抛光机的工作状态,从流体动力学的角度,分析并计算了抛光液对工件产生的流体动压力;从理论上指出抛光中工件与抛光模处于接触状态,并通过两个抛光实验验证了这一观点。论文就超光滑抛光机理进行了研究,详细地解释了超光滑抛光中工件原子级去除的概念,提出工件表面材料去除的动因是表面原子获得能量;工件与抛光模间的弱摩擦作用是去除表面原子的能量来源。针对超光滑表面的特点,研究了超光滑表面抛光过程中的抛光液、抛光模、材料去除率等几个关键技术对超光滑表面的影响,通过实验,提出了一系列的工艺改进方案;并
4、指出材料去除率与表面质量有着直接的关系。论文最后对光学石英玻璃、微晶玻璃和玻璃三种典型光学材料进行的超光滑抛光实验研究,通过优化加工工艺均获得了较为理想。的超光滑表面,最好表面粗糙度达.关键词精密抛光,超光滑抛光,超光滑表面,粗糙度.?.,..?..?,,‘.,.,.....,,....,,?...,,?,目录摘要.??.?.?.?.目第一章绪论.;言?..超光滑表面的概念.超光滑表面的应用.超光滑表面制造技术的发展?.我国的超光滑表面加上技术现状.超光滑表面加工技术发展趋势.本文研究的主要内容?第二章抛光状态及抛光力的分析.引言...抛光状态的物理模犁及转速分析?..相对
5、瞬时速度的影响..流体动力学基本方程..楔角平面模型的流体动力学分析??..?一.计算实例:?...工件与抛光模间动压膜的承载能力..实验验证??...基于聚氨酯抛光模的实验【】...?....基于锡抛光模的实验./、砉..第三章超光滑表面抛光机理及主要影响因素分析?.引言?..原子级材料去除模型..超光滑抛光中材料去除机理..抛光液分析?...抛光粉粒度及粒度分布范围的影响:..抛光粉硬度的影响:..抛光粉的实验选型?..抛光液值的影响:.抛光模分析?...沥青抛光模制作..抛光模微孔结构..抛光模面形的影响?.去除率对表面粗糙度的影响..小结..第四章三种典型光学材料超
6、光滑表面抛光实验研究、:艺优化及测量.弓言...实验与优化?....微品玻璃单因素抛光实验?..微晶玻璃抛光上艺参数优化..石英玻璃超光滑抛光正交实验..石英玻璃抛光艺参数优化..玻璃超光滑抛光正交实验??....玻璃抛光工艺参数优化..超光滑表面粗糙度的测量?..小结..第五章总结与展望??。参考文献??~致谢.攻读学位期间的主要研究成果?绪论硕士学位论文第一章绪论.引言加工技术的发展是人类社会进步的重要标志之一。在现代社会中,能实现最高加工精度的加工技术作为先进制造技术的重要组成部分,不仅对提高武器的精度与性能有重要意义,而且在民用工业中也是带来巨大经济效益的重要手段。
7、海湾战争使各国清楚地看到超精密加工技术在国防工业中重要地位。例如,导弹摧毁目标所需爆炸力与目标距离的立方成正比;采用高精度陀螺后的美国型导弹的命中精度由普通导弹的提高到;这意味着同样的目标,高精度导弹/的爆炸力。当今微型计算机的计算速度不断提高和价格不断降低,则是超精密加工在民用领域应用的最好例证。超精密加工的精度极限随年代的延伸而不断提高。年,谷纪男首次提出了“纳米技术”是超精密加工的目标,其尺寸范围在.~之间,即从一个原子到一个光波长的范围。美、英、德、日等国在推动超精密加工技术的设备、计测和工艺的研究方面起着
