扩散车间安全生产规则

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1、扩散车间主要是对硅片进行磷扩散的场所，其中主要存在的安全隐患有，高温、高电压、有毒化学药剂等。为了保证车间安全生产，扩散车间要注意一下几点：　　一、高温危害　　由于硅片要在800℃以上进行扩散工艺，此温度对人构成极大威胁，并且对决大多数物品构成破坏性作用。因此在要从以下几点防止高温所产生的安全隐患。　　1、在扩散炉炉口打开时，要人员远离炉口位置，防止烫伤；　　2、在碳化硅桨进出扩散炉管时要注意，桨上以及要进入炉管的石英舟上是否有手套、无尘纸、无尘布等易燃物品和铁、铝等金属物品，防止火灾发生以及污染工艺卫生。　　3、在石

2、英舟出炉后，要将石英舟抬下卸片时，要戴好隔热手套，防止烫伤。　　二、化学品危害　　扩散车间常用的化学品有POCl3和乙醇。POCl3有强腐蚀性、毒性，可对人体造成极大伤害，乙醇为易燃物品，在高温下极易引起火灾事故，并对人体也可构成伤害。　　三氯氧磷正式名称为氧氯化磷，又名磷酰氯。为无色透明发烟液体，有辛辣气味。熔点2℃，沸点105.1℃，密度1.68kg/l。有强腐蚀性、毒性，不燃烧。　　三氯氧磷遇水或水蒸汽剧烈反应生成磷酸与氯化氢等有毒的腐蚀性烟雾，对皮肤、粘膜有刺激腐蚀作用。三氯氧磷可引起急性中毒，在短期内吸入大量

3、三氯氧磷蒸汽可引起上呼吸道刺激症状、咽喉炎、支气管炎，严重者可发生喉头水肿窒息、肺炎、肺水肿、紫绀、心力衰竭，亦可发生贫血、肝脏损害、蛋白尿。口服三氯氧磷可引起消化道灼伤，眼和皮肤接触引起灼伤，长期低浓度接触可引起口、眼及呼吸道刺激症状。　　乙醇为无色、透明，具有特殊香味的液体（易挥发），其蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触发生化学反应或引起燃烧。在火场中，受热的容器有爆炸危险。其蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃。本品为中枢神经系统抑制剂。首先引起兴奋，随

4、后抑制。急性中毒：急性中毒多发生于口服。一般可分为兴奋、催眠、麻醉、窒息四阶段。患者进入第三或第四阶段，出现意识丧失、瞳孔扩大、呼吸不规律、休克、心力循环衰竭及呼吸停止。慢性影响：在生产中长期接触高浓度本品可引起鼻、眼、粘膜刺激症状，以及头痛、头晕、疲乏、易激动、震颤、恶心等。长期酗酒可引起多发性神经病、慢性胃炎、脂肪肝、肝硬化、心肌损害及器质性精神病等。皮肤长期接触可引起干燥、脱屑、皲裂和皮炎。　　在生产中应做到以下几点已杜绝安全隐患：　　1、在车间中要带好口罩，防止吸入有害气体。　　2、如果在生产过程中有闻到异味，

5、通知设备人员，检查POCl3是否有泄露，防止吸入有害气体。　　3、在生产过程中由于工艺出现问题，需要中途停止工艺，请确认炉内是否有POCl3，如有，要先将POCl3反应完后才能将石英舟抬出。防止POCl3扩散到生产车间。　　4、在使用乙醇时，要带好口罩以及手套，防止对人体造成伤害。　　5、乙醇在不使用时要密封保存，防止挥发形成安全隐患。　　6、在车间大量使用乙醇后，要注意通风，并尽量不要打开炉管或使用明火，防止火灾产生。三、高电压及其他危害　　在扩散车间，由于设备需要，其电路属于高压线路，在生产过程中要避免接触这些高压

6、电路。　　1、在设备人员不在场时禁止打开机器设备的挡板。　　2、设备人员在机器维护结束后及时将挡板安装上，防止车间人员意外接触电路接头。　　3、在机台上的硅片碎块及时清理干净，防止碎块掉进机械手等行动导轨，造成机器故障或掉进电路接头造成漏电。　　4、操作台上的制程或制造的碎片及时集中处理，防止硅片碎片的尖锐部位割伤操作人员。　　5、机械臂在运行时，操作人员应远离机械臂工作区域，防止人员受伤或感应器感应到人而引发机械故障。　　紧急情况应急处理办法　　如果在生产过程中出现以外伤害应及时处理，将伤害降到最低。　　一、POCl

7、3紧急情况应急处理　　由于POCl3的危害，在生产过程中意外接触，应按以下方法采取应急处理　　1、吸入:1.迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。2.立即就医。　　2、皮肤接触：立即用大量清水冲洗患处,并脱掉受污染的衣物,包括被污染的鞋，并立即就医。　　3、眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟，隐形眼镜必先除去或用水冲出来，并立即就医。　　4、食入：用水漱口，无腐蚀症状者洗胃。忌服油类，并立即就医。　　5、急救人员防护：橡胶耐酸碱手套

8、、不宜用口对口人工呼吸。　　二、乙醇紧急情况应急处理　　1、皮肤接触：脱去污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。　　2、眼睛接触：提起眼睑，用流动清水或生理盐水冲洗。就医。　　3吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。　　4食入：饮足量温水，催吐。就医。　　5、防护