精功铸锭炉安全操作规程

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1、海南英利新能源有限公司JJL500铸锭炉安全操作规程文件编号：版次：修订状态：受控状态：编制：审核：批准：2011年11月30日实施JJL500铸锭炉安全操作规程目次1范围22引用文件23对操作人员的要求24铸锭炉操作规程24.1系统介绍：24.2铸锭炉系统组成：24.3炉子的操作44.4安全的装上石墨板和螺栓将石墨支撑板放在坩埚周围。64.5MONITORINGTHEAUTOCYCLE115.设备的维修与保养15第12页共13页JJL500铸锭炉安全操作规程1范围本文制定了JJL-500铸锭炉操作规程本文件仅适用于JJL-500铸锭炉。2引用文件厂家设备使用说明书3对操作人员的

2、要求3.1熟悉设备安全操作规程，能正确使用设备。3.2未经批准，不准无关人员操作设备3.3多人操作同一设备，应严格履行交接班检查手续。3.4精功铸锭炉使用过程中严格执行《精功铸锭炉维修保养作业指导书》，使其达到设备完好标准。4铸锭炉操作规程4.1精功铸锭炉工作原理简介：精功铸锭炉工作顺序为：加热、熔化、晶体生长、退火、冷却，并包含突发情况出现时的急冷。控制原理及生产流程简述如下：通过工控机设置完各种工艺参数和预设定参数后，送达SNAP智能控制器。将经过SiN涂布处理的坩埚里装入多晶硅料，并放置在热交换台上。关闭闭炉体及隔热笼并抽真空。然后通过调整可控硅来控制变压器输出3800A的

3、电流加到石墨加热器，并通过SNAP智能控制器，自动温度控制，加热若干小时以使多晶硅料熔化。当多晶硅料完全熔化后，根据工艺要求，缓慢降低隔热底板，暴露出热交换台，使能量可以藉辐射方式散发至通有冷却水的炉壁。热交换台的温度下降会使硅溶液形成垂直的温度梯度，此温度梯度控制硅由底部开始凝固结晶。当所有硅料凝固结晶后，硅锭再经过热退火，供入惰性气体，控制冷却方式等步骤消除热应力，以避免铸块出现裂缝及减少差排的发生。冷却到规定温度后，开炉出料。4.2精功铸锭炉系统介绍：4.2.1钢结构部件钢结构部份分上下两层，中部三支腿支撑炉体以及驱动装置，外部四立柱支撑整个钢楼面，两侧装有楼梯（可选），钢

4、结构平台上部围有护栏。真空与供气系统、水冷却系统、电源供应系统、控制柜与操作面板的大部分管路都悬藏于钢结构平台下面。第12页共13页JJL500铸锭炉安全操作规程图1系统硬件4.2.2真空炉体整个真空炉体的中部为圆柱形，上下端呈碟形，分内外两层，中间夹层通有冷却水。从中部法兰面分为上下炉体，上炉体由三个支腿支撑固定；下炉体悬挂于三个螺旋升降器末端，一个直流马达通过可弯曲的软轴驱动这三个螺旋升降器的丝杠，使下炉体上下移动。当上下炉体闭合时，法兰面上的密封圈被紧压，同时合上法兰面外侧的锁紧装置，保证不漏气。4.2.3加热隔热系统隔热系统分为隔热笼，隔热底板，加热组件，热交换台四个部分

5、。隔热笼在上炉体内，由上下两层不锈钢框架组成，四周衬有碳纤维隔热材料，所有隔热材料为平板状，便与安装与更换，以两层堆积的方法避免流失热量。整个框架用三根不锈钢杆悬挂于上炉体内侧凸台上。隔热底板通过下炉体底部安装的平行驱动丝杠系统完成升降功能。中部支撑杆外侧用不锈钢波纹管保护，防止漏气。当隔热底板运行到最高位置时，和隔热笼配合组成一个密闭腔体。加热组件由铜电极，石墨加热部件及绝缘陶瓷管组成。六个铜电极从炉体上方穿入，提供交流电至石墨加热部件，加热部件悬挂于上炉体内，是由四组上下弯曲的石墨板组成，呈四方型，四角用连接板连接。绝缘陶瓷管使加热组件和隔热笼相互绝缘，保证生产安全。石墨加热

6、部件周围即是隔热笼。在下炉体内，用三根石墨柱支撑一个散热交换台，用于放置坩埚及均ࣔ坩埚底部温度。4.2.4真空与供气系统真空系统是由罗茨泵、机械滑阀抽气泵、安全阀及其他管路等附件组成。罗茨泵和滑阀泵同时工作可以使炉内压力迅速降至0.06mbar。当工作压力需维持在400～600mbar时，由机械滑阀抽气泵作用。氩气注入量由质流控制器控制，抽气量是由连接真空泵的比例调节阀控制。空气压力挡板阀用于关闭氩气进气系统及使炉体与真空系统分开。第12页共13页JJL500铸锭炉安全操作规程4.2.5冷却系统冷却循环水共有八路，通过管路和炉体水道分别流经炉体的上中下部、六路电极和真空泵。冷却水

7、歧管装在钢结构部件的后方支脚上，并配有流量计和温度传感器，便于监测冷却循环水的正常运行。升温后的水通过外部冷却系统进行热交换，并用水泵送回。4.2.6电源供应及控制系统控制系统分为上位机和下位机，上位机以工业控制计算机为主体构成完成监控和输入参数等功能，下位机以SNAP智能控制系统为主体构成。大致分为以下几大部分：1）、工控机整个控制系统以工控机作为上位机，上位机完成控制工艺的设置，控制过程的监控，各种反馈信息（如：温度，水流量，隔热区位置，控制阶段等）显示，出现异常情况报警显示