单晶硅厂实习报告

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1、单晶硅厂实习报告Si单晶太阳能电池生产实习报告一、实践目的学习Si太阳能电池片的制造工艺原理，初步了解和掌握太阳能电池的整个生产制造流程的工艺技术。学习每个工艺的目的和作用，工艺原理、具体工艺参数。熟悉半导体工艺设备半导体制造工艺技术以及工艺过程测试与分析方法，并学以致用、理论联系实际，巩固和理解所学的理论知识。另外，培养在实际生产过程中发现问题、分析问题、解决问题和独立工作的能力，增强综合实践能力，建立劳动观念、实践观念和创新意识，树立实事求是、严肃认真的科学态度，提高综合素质。二、实践安排实

2、践课程时间：2016-7-14至7-21日7月14-15日在图书馆上网查资料7月16日对单晶硅表面制绒和腐蚀工艺7月17日扩散制结7月18日去磷硅玻璃7月19日等离子刻蚀7月20日镀减反射膜7月21日丝网印刷，烘干，烧结，测试实践课程地点：晶体楼一楼实践课程教学内容：学习太阳能电池的整个生产流程的工艺制造技术三、实践过程和具体内容1太阳能电池简介随着化石能源的逐渐枯竭及伴随的环境恶化，人们迫切需求对环境友好的可再生能源。太阳能是目前最具前景的新型能源：用之不竭，且太阳能的使用不会破坏地球生态及环

3、境；安全，无污染，利用成本低，且不受地理条件限制。太阳能利用的形式多种多样，其中太阳能电池技术可将太阳能直接转换为电能，被认为是最有效的利用太阳能的方式。太阳电池发电具有很多优点，如安全可靠，无噪声，无污染等，这些优点是常规发电和其他发电方式所不及的。太阳能电池的分类有很多种，按用途分有航天用电池和民用电池，按其结构可分为晶体电池、薄膜电池、化学太阳能电池、多元化合物薄膜太阳能电池等。目前市场上的太阳能电池主要是硅基太阳能电池，其中又以多晶硅太阳能电池为主流。然而，能够提供太阳能电池用的高纯硅厂

4、家主要在国外，包括美国、日本和德国，且近年来多晶硅原料已经明显出现市场缺口，由此带来了其价格的迅速攀升。多晶硅的市场价格由xx年的贸美元/kg猛涨到xx年的400美元/kg，xx年略有回降。而目前太阳能电池的发电成本为5-6元/lkw·h，约为煤电成本的10倍以上。况且项目投资高，能耗高，一般建1000t的工厂需要18个月的工期，投资达10亿元以上。另外，中国的产品市场主要在国外。2太阳能电池的工作原理当用适当波长的光照射非均匀半导体时，由于内建场的作用，半导体内部产生电动势；如将pn结短路，则

5、会出现电流。这种由内建电场引起的光电效应，称为光生伏特效应。太阳电池是将光能转化为电能的半导体光伏元件，利用的就是半导体的光生伏特效应。由于pn结势垒区内存在较强的内建电场，结两边的光生少数载流子受该场的作用，各自向相反的方向运动：p区的电子穿过pn结进入n区；n区的空穴进去p区，使p端电势升高，n端电势降低，于是pn结两端形成了光生电动势，这就是pn结的光生伏特效应。由于光照产生的载流子各自向相反的方向运动，从而在pn结内部形成自n区向p区的光生电流IL。由于光照在pn结两端产生光生电动势，相

6、当于在pn结两端加正电压V，使势垒降低为qVD-qV，产生正向电流IF。在pn结开路的情况下，光生电流和正向电流相等时，pn结两端建立起稳定的电势差Voc，这就是光电池的开路电压。如将pn结与外电路接通，只要光照不停止，就会有源源不断的电流流过电路，pn结起了电源的作用。这就是光电池的基本原理。描述光电池的特征参数有4个，包括短路电流、开路电压、填充因子和转换效率。图2。2光能到电能的转换有负载电阻的太阳电池，电子和空穴的扩散所产生的电流，的能带图开路电压的建立3太阳能电池的工艺实践准备工作这次

7、实践课的第一堂课，老师就强调了实验安全方面的事情，比如有机溶液的安全使用规范、酸和碱的安全使用、气体的使用安全。半导体制造过程中，必须穿带防静电服和帽子，经过超净处理后才能进入实验室。在这次实践课中我们所用到一些酸性溶液比如HF酸以及异丙醇，都具有较强的腐蚀性。处理HF酸溶液时要穿防护服，双手必须戴上橡皮手套，防护镜，活性炭口罩。在使用完HF酸溶液后使用后用水冲洗，让其废液留到一个中和箱内，PH值为中性时方可让废液流到管道里。使用有机溶液时候务必要戴上口罩，防止其挥发的气体伤害到呼吸系统等。太阳

8、能电池制造工艺流程如图2。3所示，本次实践以单晶硅太阳电池为主，在老师的指导下，对每一步工艺的目的与作用、工艺原理、具体工艺过程及参数进行了实践。硅片检测硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量，这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等。该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。其中，光伏硅片检测仪对硅片表面不平整度进行检测，同时检测硅片