生产单晶硅制备及其应用工艺技术

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1、101805741.1   单晶硅晶片及单晶硅的制造方法2  01806781.6   绝缘体上的单晶硅(SOI)材料的制造方法3  02111781.0   分离单晶硅埚底料中石英的工艺4  03112137.3   单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成的制作方法5  02802101.0   直径300mm及300mm以上的单晶硅晶片及其制造方法6  96120692.6   抑制长的大直径单晶硅生长条纹的直拉生长装置7  87103486   掺金、掺铂单晶硅互换热敏电阻及其制作方法8  88108387.9   单晶硅的制造方法和

2、设备9  89103289.4   一种单晶硅压力传感器制造方法及其结构10  90100791.9   单晶硅生产装置11  90102475.9   制造单晶硅的设备12  91102921.4   单晶硅直径测定法及其设备13  91102922.2   单晶硅直径控制法及其设备14  91102924.9   单晶硅生产设备15  91102923.0   单晶硅生产设备16  91102532.4   单晶硅生产设备17  91102343.7   制造单晶硅的装置18  95119376.7   单晶硅上大面积(100)取向

3、的金刚石膜的生长方法19  96102527.1   单晶硅锭及其制造方法20  97113523.1   提拉单晶硅的装置21  97120661.9   直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧的一氧化硅探针22  97121626.6   双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法23  98100416.4   通过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片的方法及其产品24  98116827.2   单晶硅－纳米晶立方氮化硼薄膜类P－N结及其制作方法25  97113737.4   低浓度钙杂质的石墨支撑容器及其在制造单晶硅中的应用26  98

4、121350.2   单晶硅片抗机械力的提高27  98807859.7   生长富空位单晶硅的热屏蔽组件和方法28  98807993.3   用于单晶硅生长的非Dash缩颈法29  99801049.9   形成单晶硅层的方法和制造半导体器件的方法30  99812088.X   热退火后的低缺陷密度单晶硅31  99811709.9   从低缺陷密度的单晶硅上制备硅－绝缘体结构32  01131737.X   标定单晶硅晶圆晶向的方法33  00812335.7   制备具有均匀热过程的单晶硅的方法34  02111221.5  

5、 单晶硅片衬底的磁控溅射铁膜合成二硫化铁的制备方法35  200710133581.6   单晶硅高效复合切割方法及其切割系统36  200710047776.9   新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池37  200710180002.3   过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻38  200710185125.6   单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池39  200710185126.0   单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池40  200710185123.7   单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池4

6、1   200710185124.1    单晶硅太阳能电池的制造方法及单晶硅太阳能电池 42   200710157175.3    超声波清洗单晶硅片方法及其装置 43   200710151631.3    使用金属污染及热处理识别单晶硅中的晶体缺陷区的方法 44   200610162854.5    可反射出色域的电极结构以及单晶硅面板与显示装置 45   200580050178.6    单晶硅的生长方法 46   200710018889.6    单晶硅薄膜及其组件的制备方法 47   200710192803.1  

7、  单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构 48   200710063644.5    提高单晶硅太阳能电池减反射膜质量的方法 49   200810060274.4    改善半导体单晶硅研磨硅片平行度的方法及其装置 50   85100591    非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置 51   85100856    制备单晶硅片表面完整层的新途径 52   02281654.2    一种直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器 53   89213391.0    区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构 54   93200611.6    单晶硅太阳电池

8、微电机风扇凉帽 55   96236137.2    单晶硅片各向异性腐蚀夹具 56   95224595.7    用于制备薄膜的单晶硅辐射式加热器 57   97239008.1    单晶硅炉传动轴用