SJT10535-1994半导体器件用钨舟.pdf

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1、L90中华人民共和国电子行业标准S,1/T10535-94半导体器件用钨舟Tungstenboatforsemiconductordevices1994-08-08发布1994-12-01.实施中华人民共和国电子工业部发布中华人民共和国电子行业标准SJ/T10535-94半导体器件用钨舟Tungstenboatforsemiconductordevices1主if内容与适用范围1.1本标准规定了半导体器件用钨舟的牌号、型号、规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存.1.2本标准适用于耐高温、高纯度、高密度的钨板(片)材制作的各种形状的钨舟及工装舟皿。2弓I用标准G

2、B3875钨板GB4181钨丝GB4196钨、钥条密度测定方法GB4342.1--.30钨化学分析方法产品分类3.1钨舟牌号:以“钨~舟”两安的汉语拼音字母wzO命名。3.2钨舟的型号:钨舟型号用“V0,0u”表示，其中每型号下的不同种类用、，⋯⋯表示，如V-I表示V型有压边，V-I表示无压边(见表1),3.3钨舟规格用数字表示如一03-15.其中03表示舟壁厚度，"is”表示舟宽。3.4钨舟牌号、型号、种类与规格示例:wzO-V一r-X-Y(wzo-V-t-03-15)舟宽(mm)舟壁厚(mm)钨舟种类钨舟型号钨舟牌号中华人民共和国电子工业部1994-08-08批准1994-12

3、-01实施s)/'r10535-94表示牌号为wao,v型无压边，舟壁厚度为。.3mm，舟宽为15mm的钨舟.3,5钨舟牌号、型号与用途见表1.表I牌号型号与种类用途WZOV-I。有压边金属及非金属，真空蒸镀，电子束溅散燕镀.金属材料高温通火、烧V-1，无压边结，电真空器件，光学玻璃、铬版等表面贾层，复合材料用舟皿.U一，，椭圆型U-IV，圆形4技术要求4.1{七学成分化学成分按GB4181中w,牌号。42规格尺寸规格尺寸按表20口有特殊要求可由供需双方协商)。表2}及规格}一辱压;宽度B总长L舟长l深度人WZO-V-1-04-200.420100WZO-V-1-05-200.56

4、20100WZO-V-I-06-2424120WZO-V-1-03-15155WAO-V-1-03-050.31102.5-3-7WZO-V-1-03-07一1630WZO-U-1-03-16--加36WZO-U-1-03-240..350^-110一-1630WZ()一日一1-04-160.4-一扎丰—一况WZO-U-N-05-260.5-一24加WZO-U-N-05-2450--100一-2420WZO-U-N-04-24a0..s44.3密度金属的密度为19.0g/cm',4.4钨舟个重根据用户要求协商解决。4.5熔点熔点为3300C,月，6表面质量一2一SJ/T10535-

5、944.6.，钨舟应洁净，呈银白色金属光泽，允许舟皿表面有轻微的氧化色，但不得有大而积深`'s及黑班点，电解抛光钨舟允许有小于2mm'面积的未抛光点一处。4.6.2坞舟表面不应有开裂、分层、龟裂、缺边及掉角现象。舟的各种部位不应有毛刺。4.7物理性能承制方选用的钨板的物理性能应符合GB3875的要求.5试验方法5.1刘钨舟的化学成分4.1条按GB4324.1-.30中有关标准进行分析。钨舟的规格尺寸4.2条用精度为。02mm和。.Olmm的卡尺和千分尺进行测量。5.354钨舟的密度4.3条按GB4196进行测量。5.钨舟的重量(个)4.4条用感量为0.2g的天平进行称量‘5.6钨舟

6、的熔点4.5条的测量，在钨舟化学成分合格的条件下可以不进行测量。钨舟的表面质量4.6条用目视进行检查。检验规则6.1检验批检验批必须由同一成分、同一工艺、连续生产的同一种类的产品组成。6.2交收检验6.2.1产品应由供方检验部门，按本标准要求进行检验，保证产品符合本标准的要求。6.2.2需方在收到产品之日起，两个月内按本标准进行验收，如果复验结果与本标准规定不符合时，由供需双方协商解决。6.3抽样方案与判定规则6.3.1化学成分的检验，在每一批料中随机抽取一个样品进行化学成分的分析，如不符合要求，另加倍取样进行分析，取其平均值，如仍不符合要求，则该批料为不合格。6.3.2钨舟的规格

7、尺寸进行百分之进的检验。6.3.3钨舟的密度的检验;在每一批料中任取一个试样进行密度测量。如果不合格，则三倍取样进行测定，如其中两个样品不合格，则该批料为不合格。6.3.4钨舟单个重量的检验应从10。只舟皿中随机抽取一个样品进行测定，如不合格，则三倍取样进行测定，如果三个试样中，有两个不合格，则该100只舟皿为不合格。6.35钨舟的表面质量用目视讲行百分少百的拾纷了包装、标志、运输与贮存71包装检验合格的钨舟，每10只用牛皮纸包裹(防止表面划伤及脆断)，然后再装入塑料