微电子“智”造中国芯

《微电子“智”造中国芯》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在学术论文-天天文库。

1、微电子“智”造中国芯随着信息产业的发展，集成电路(也就是常说的“芯片”)成为、平板电脑等电子移动终端离不开的设备，而光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备。以光刻机为代表的高端半导体装备支撑着集成电路产业发展，芯片越做越小，集成的电路越来越多，能使终端变得小巧玲珑。在光刻机领域，上海微电子装备有限公司(下称“SMEE”)取得了重要突破，并在先进封装光刻机产品方面形成了系列化和量产化，在国际同类产品中处于先进水平，还实现了光刻机海外市场的销售突破。SMEE也被列入国家发改委2016年1月底公布的国家认定企业技术中心名单。在微观世界里“造房子”近日，在浦东张江园区SMEE展览馆里

2、，SMEE人事总监贺跃进向《中国经济周刊》记者介绍了组成光刻机的核心部件。他将制造光刻机比作是在微观世界里“造房子”——成像系统由几十个直径为200～300毫米的透镜组成，定位精度都是纳米级。微米级的瞬时传输控制技术，犹如两架空客以1000/小时公里同步高速运动，在瞬间对接穿针引线;玻璃镜面加工等精度，误差不会超过0.5毫米。SMEE总经理贺荣明接受《中国经济周刊》记者采访时表示，光刻机是集成电路装备中技术难度最高、价值量最大的部分，由于技术的超高难度导致在全世界形成了超高的技术门槛。据了解，当今世界能够拥有这种技术、生产这种产品的只有两三个国家的两三家公司。贺荣明表示，集成

3、电路行业发展的很多技术路线、工艺路线是非常依赖于光科技的发展路线，所以从这个角度，它就成为信息产业集成电路行业发展的重要基石;从另一个角度来讲，我国正在进行大的结构调整，对集成电路产业提出了非常高的期待与要求，不仅涉及到整个国家的产品结构调整发展，从某种程度它也涉及到整个信息产业的安全，所以如何在集成电路行业拥有自己的核心装备，对国家国民经济的发展就至为重要。光刻机是集成度非常高，涉及的门类、领域、科技种类非常广泛的集成性的设备，由于这种设备的发展会牵引带动很多关键单元技术、子技术、子学科的发展，“牵一发而动全身”，它可以牵引推动整个高科技基础领域的发展。据了解，以光刻机为代

4、表的产品主要应用于四大领域，芯片制造、芯片先进封装、LED制造、下一代显示屏制造。另外还有类光科技产品，包括激光封装、激光退火等设备，去年开始在试验，今年逐步开始小批生产，未来为移动穿戴、智能时代提供产品。贺荣明表示，光刻机的自主研发可以概括为一个“难”字，“因为难，有时候就逼着你没有后路背水一战去创新。”任何一个行业的发展，特别是高端装备的发展，其实最重要的还是人才，光刻机人才与其他行业相比，涉及面更广，有几十个专业，所有的技术在这个产品上汇聚、交杂，形成异常复杂的设备，对人才的广泛性、多样性提出更高要求。不要只埋头搞科研，还要会“沿途下蛋”贺荣明告诉记者，高端光刻机开发的

5、周期非常长，难度也非常高，如果在整个过程中只是走研发的道路，而不是及时考虑产业化，那么对整个项目的开发、人才团队的鼓励都会带来管理上的困难。SMEE的决策者们在决定以高端光刻机开发为主线的同时，每天都在考虑当离高端产品的开发还有一定高峰要攀登的时候，在“半山腰”、在“山脚”下，能不能把已经掌握、部分掌握的技术变成产品，去服务于行业。基于这个思路，SMEE就形成了很多“沿途下蛋”的产品。比如说，同样是光刻机，它在前道的产业化应用难度非常高，但是后道的先进封装对光刻机的应用越来越广泛，可以先行进入，所以SMEE就抓住了这个契机，开发了一款适用于先进封装行业的光刻机。此前，这种光刻

6、机完全依赖于进口，而今SMEE已经占领了80%以上的国内市场。现在市场上高端智能上都有SMEE自主研发的先进封装光刻机的功劳。这样一来，产品的研发形成了一种阶梯、波浪，“前面在不断瞄准高科技的发展，同时它不断把掌握的技术辐射为具有应用前景又能为国民经济、产业领域提供很好技术支撑的产品，这样两个目标形成一种互动、良性循环。既通过高科技的研发来锤炼人才，又通过产品的市场化来打造工程性人才，这种人才的分合汇聚组合让公司向两维领域发展(一维是技术高度，一维是产业宽度)，不让公司变为纯粹的研发机构，同时也不让公司太功利化。这两者融合能为公司将来高端光刻机的发展提供良好的发展模式。”贺荣

7、明表示。贺荣明直言，企业运营的最大压力在于技术突破和人才团队的聚焦与持续发展。由于我国技术基础比较薄弱，不但要攻克技术上的难点，还要解决攻克过程中的管理问题。在供应链的打造和高科技行业上受到国外的限制等，使得我国整个技术门类还不健全，整个资源链还不完善，现在一方面以自主创新为主，一方面用更宽泛的国际视野面向全球整合资源。“我国高速发展，吸引了全球高科技人才、组织对我们充满期待，这样迎来了利用国际资源解决自身瓶颈，使得SMEE在坚持自主创新的同时全球化、国际化。”从跟踪国际专利到不断掌握拥有完全自主知识产