基于微惯性导航系统的mems陀螺的应用研究

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1、基于微惯性导航系统的MEMS陀螺的应用研究摘要：惯性导航系统最大的优点就是能够不依靠外界信息的基础上展开长时间的自主导航，目前该类技术也逐渐成熟，其精度较高。本文主要探讨研究了基于微惯性导航系统的MEMS陀螺误差补偿方法，以期更好地满足社会发展的需要。关键词：微惯性;导航系统;MEMS陀螺误差补偿中图分类号：TP212.9文献标识码:A文章编号：1673-1069(2017)01-153-21基于MEMS的微惯导系统0前，微惯性导航系统在汽车工程、航空航天、通信工程等方面展开了广泛的利用，和传统惯导系统相比而

2、言，基于MEMS技术的惯导系统有着较多的优势，同时也在不断地发展［1］。如今惯性技术显然成为了微惯性导航系统的一个发展新方向，一般涉及了数据处理单元、微惯性测量单元、导航计算机三方面。其中温度传感器、三个正交放置的MEMS陀螺仪以及MEMS加速度计构成了微惯性测量单元，此时的加速度计、陀螺仪二者的空间华标系需要相同，在数据处理的基础上把MIMU单元中加速度计、陀螺仪的输出基于微惯性导航系统的MEMS陀螺的应用研究摘要：惯性导航系统最大的优点就是能够不依靠外界信息的基础上展开长时间的自主导航，目前该类技术也逐渐

3、成熟，其精度较高。本文主要探讨研究了基于微惯性导航系统的MEMS陀螺误差补偿方法，以期更好地满足社会发展的需要。关键词：微惯性;导航系统;MEMS陀螺误差补偿中图分类号：TP212.9文献标识码:A文章编号：1673-1069(2017)01-153-21基于MEMS的微惯导系统0前，微惯性导航系统在汽车工程、航空航天、通信工程等方面展开了广泛的利用，和传统惯导系统相比而言，基于MEMS技术的惯导系统有着较多的优势，同时也在不断地发展［1］。如今惯性技术显然成为了微惯性导航系统的一个发展新方向，一般涉及了数据

4、处理单元、微惯性测量单元、导航计算机三方面。其中温度传感器、三个正交放置的MEMS陀螺仪以及MEMS加速度计构成了微惯性测量单元，此时的加速度计、陀螺仪二者的空间华标系需要相同，在数据处理的基础上把MIMU单元中加速度计、陀螺仪的输出输送至导航计算机内，完成导航解算，对速度、位置、姿态等相关信息进行输出。2MEMS陀螺仪概述微机械系统作为一种在微加工技术、集成电路技术的基础上，把微传感器、微结构、控制电路这三者有机地集成于一个较小的芯片中。现如今，我国的科学技术水平正在突飞猛进地发展，尤其近几年来我国的微电子

5、技术、微型制造技术得到了大力的改进、发展，在一定程度上推动了MEMS系统的产生、发展。微机械系统正是由于其自身独特的加工技术、制造工艺，给MEMS系统带来诸多的优点，主要包括了集成化、质量轻、微型化、成本低等。MEMS陀螺仪严格按照MEMS技术进行制造，最大的优势就是其独特的工作原理。传统的光学陀螺，一般包括了光纤、激光陀螺仪等，主要是在光的Sagnac效应的前提下来对转动角速度变化展开计算的［2］。传统的力学陀螺，主要包括了液浮式、静电式陀螺仪等，应用的是力学特性来对角度变化情况进行测量，其工作原理主要是依

6、据物理学中的角动量守恒定理来进行的。而MEMS陀螺仪是以MEMS技术为前提的，即主要是在科里奥利效应、经典力学基础上进行的，传统的陀螺仪是难以和现代MEMS陀螺仪相比拟的，因此MEMS陀螺仪得到了广泛的使用。正是因为MEMS陀螺仪的工作原理是基于哥氏效应展开的，其产生的大小一般是和输入角速度、振动速度两者的乘积成正比的哥氏力，在对哥氏力的方向、大小进行检测的基础上，能够最大程度上得到输入角速度的信息，其质量块因为受到力的影响，通常进行的是绕中心轴转动运动以及振动运动。如图1所示，为框架式MEMS陀螺仪示意围绕

7、着框架式MEMS陀螺仪示意图简单介绍框架式MEMS陀螺的原理、结构。框架式MEMS陀螺仪主要是通过外、内两个正交框架组合而成，其中还包括了检测、基座的质量块。该两个框架为检测框架、驱动框架，在外框架两边设立了激振电极，内框架两侧设置读取电极，固定该四个电极相对陀螺仪壳体位置，其中内框架组、检测质量块有机结合而成一个整体，外框架和基座、反的交变电压于两个激励电极上，此时的外框架会由于产生交变静电力进而出现力矩作用，从而导致绕驱动轴做角振动运动的情况，另一方面，质量块上的各点也是进行线振动运动。若是基座绕输入轴在

8、惯性空间凭借角速度是u来进行转动时，在各个质点上会出现哥式加速度，发生哥氏惯性力，而该惯性力会出现绕输出轴的哥氏力矩，同时在这个力矩的影响下，造内框架在侥性杆的基础上进行连接旦加上相位相成内框架绕输出轴行角振动，输入角速度的大小其实就是振幅正比，相位是通过输入角速度的方向决定的，致使内框架之间距离、两个读取电极依据一定的振动规律进行改变，进而产生电容变化。同时电容的变化值的基础上，就能对输出的电压信