《镀膜培训教材》word版

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1、1.什么是镀膜玻璃？答：应用物理或化学方法在玻璃表面沉积金属或金属化合物薄膜，使玻璃表面具有一定的反射太阳能的作用。这种沉积了薄膜的玻璃通常被称为镀膜玻璃。2．镀膜玻璃有那几种生产方法？工程玻璃镀膜线采用的是哪种生产方法？答：蒸发沉积、离子沉积、溅射沉积。此三种属于物理沉积。热分解气相沉积、等离子体气相沉积皆属于化学沉积。工程玻璃镀膜线采用的是溅射沉积法。3．工程玻璃镀膜线生产的镀膜玻璃分为哪两大类？试将现有牌号按此两大类进行划分。答：工程玻璃镀膜线生产的镀膜玻璃分为阳光控制膜和低辐射膜（LOW-E）两大类。阳光控制膜有AC系列、SC系列、BD系列

2、、TS系列等。低辐射膜有LE系列、CE系列、LER系列、LET系列、TE系列、RE系列等。4．请举出标准锡基LOW-E玻璃的膜层结构，并说明低辐射膜的基本作用原理和各膜层的作用。答：GLASS/SnOx/Ag/NiCr/SnOx银是自然界中辐射率最低的物质，在玻璃上镀一层10~30纳米的金属银层，就可以使玻璃的辐射率从0.84降低至0.04-0.12,这是低辐射膜的基本作用原理—玻璃经过这种工艺处理后，其辐射热损耗可以减少90%，将其制成低辐射中空玻璃以后，热阻可以比普通中空玻璃再提高一倍以上。SnOx在LOW-E中的作用有：a调节透反射及色，b.

3、能比较好的结合GLASS、Ag层，提高结合强度。C.顶层SnOx起到保护和隔离空气的作用。NiCr起到在镀顶层SnOx时保护Ag层不被迅速氧化的作用。5．何为第二面LOW-E和第三面LOW-E？分别有哪些系列？答：一片低辐射中空玻璃从室外到室内依次为第一到第四面，客户从室外向室内看。由于膜层总在中空玻璃腔体内，即总在第二面或第三面。第二面LOW-E指中空玻璃室外片为膜片，客户从室外向室内看到的是室外片的玻璃面颜色，所以在生产时需要控制的是该膜片的玻璃面颜色，即Rg、ag*、bg*。第二面LOW-E有CE系列、LER系列、LET系列、TE系列、RE系

4、列等。第三面LOW-E指中空玻璃室内片为膜片，客户从室外向室内看到的是室内片的膜面颜色，所以在生产时需要控制的是该膜片的膜面颜色，即Rf、af*、bf*。第三面LOW-E有LE系列。6．镀膜生产对真空度有何要求？答：真空度在通入工艺气体用于烧靶前，真空镀膜室的压力通常在6*E-5mbar以下，通入工艺气体用于生产前，真空镀膜室的压力通常在4*E-5mbar以下。在通入工艺气体后，进行烧靶、调试或生产时，真空镀膜室的压力控制在1*E-3到7*E-3mbar范围内。7．控制工如何进行工艺参数控制？其目的是什么？答：镀膜工艺参数用菜单方式进行输入，控制工

5、可根据实际情况参照镀膜工艺参数控制表对溅射功率、溅射电流、工艺气体输入值、辊道速度等进行调整。若辊道速度不在镀膜工艺参数控制范围内，控制工可根据实际辊道速度换算出溅射功率输入计算机，并根据实际情况对溅射功率、工艺气体输入值、辊道速度等进行调整，使样片的颜色符合《镀膜玻璃颜色标准》。8．镀膜线有哪几种真空泵？它们各有何特点？根据其特点其开启顺序是怎样的？答：镀膜线有机械泵、罗茨泵、涡轮分子泵三种真空泵。机械泵的特点是能直接从1*E3开始抽真空，抽速快但不能达到较高的真空度。罗茨泵需要有一定的前级真空度才能正常工作，抽速较快，能达到比较高的真空度。分子

6、泵在三种泵里抽速最慢，但能达到的真空度最高，启动所需前级真空度也最高。根据三种泵的特点，其开启顺序依次为机械泵、罗茨泵、分子泵。其中机械泵作为罗茨泵的前级泵，罗茨泵作为分子泵的前级泵。9.请举出本线所使用的靶材种类答：Sn、SSt、Ti、Cr、Ag、NiCr、Si、Zn、TiOx。10．为什么相隔一天的两次放样输入同样的工艺单却不能得到相同的结果，有哪些因素影响它？答：因为在两次放样的间隔内，设备的状态已经发生了变化。影响设备状态的因素有气压（真空度）、靶材的状态（包括使用功率、处于何种工艺状态、表面的状况）、设备部件的运转情况（包括分子泵的状态、

7、电源的稳定、圆靶转速是否正常），还有样片本身的颜色差异。控制工在放样调试期间要充分考虑到所有可能影响到样片颜色的因素，及时作出调整。11．控制工在进行工艺单功率换算时，必须考虑到哪些问题？答：必须考虑到的问题有：1、速度和功率的比例关系。溅射速度越快功率越高，两者成正比关系。即P1/P2=V1/V2。2、电源控制柜和阴极的不同其在同一状态下的溅射速率的差异。3、氧气的多少会造成L.S值的变化，并直接影响膜层的厚度。在改变功率后氧气的比例也会随之变化，所以要掌控L.S值的变化，保证正确的膜层厚度。4、真空度的高低会影响到同样功率下实际的膜层厚度，所以

8、两张工艺单真空度的差异必须考虑在内。5、靶材新旧的差异。这一点几种通常在金属态下溅射的材料如Ag、NiCr、Ti体现较明显