银基电磁屏蔽镀膜玻璃论文

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1、武汉理工大学硕士学位论文银基电磁屏蔽镀膜玻璃姓名：杨晓东申请学位级别：硕士专业：光电子及信息材料指导教师：赵青南;赵修建20080501武汉理工大学硕士毕业论文摘要随着电子技术的发展，电子设备的广泛应用，电磁辐射对人们生活的影响日益增加。电磁干扰的危害主要有两个方面：(1)导致电子设备产生噪音甚至是故障；(2)危害人类的身体健康。因此，屏蔽电磁辐射显得非常重要。很多电磁屏蔽材料被用来防止电磁辐射的干扰。在很多领域如高灵敏的医疗诊断设备、个人电子设备的显示屏、航天飞行器的窗户，要求材料既具有电磁屏蔽功能，又具有较高的可见光透射率。透明电磁屏蔽玻璃很好的符合了这些要求。本文的创

2、新点：用磁控溅射的方法在室温下在载玻片衬底上制备了AZO／AgAZO三层膜和AZO／Ag／AZO／Ag／AZO五层膜，基于电磁屏蔽多层膜的光学薄膜设计矩阵法理论，对多层膜系进行设计计算，确定各层膜材料及膜厚的基本参数，为实验提供了理论依据，使镀膜玻璃具有高的可见光透射率和高的电磁屏蔽效能，研究了Ag纳米薄膜在室温大气条件下的氧化过程和机理。本文得出的主要结论如下：1)对于AZO／Ag／AZO三层膜系，当银膜的厚度为16nm，AZO膜的厚度为45nm时，膜系有最佳的光电、电磁性能，方块电阻为5．02D．／sq，最大可见光透射率为86％，红外反射率为95％，电磁屏蔽效能为35d

3、B(5．85．8．2GHz)。2)对于AZO／Ag／AZO／Ag／AZO五层膜系，当银膜的厚度为16nm，AZO膜的厚度为92rim时，膜系有最佳的光电、电磁性能，方块电阻为2．73D．／sq，最大可见光透射率为70％，红外反射率为99％，电磁屏蔽效能为40dB(5．85．8．2GHz‘)。3)Ag纳米薄膜暴露在室温大气环境中会被逐渐氧化，光学和电学性能都发生了很大的变化，失去了良好的导电性能和对红外的高反射性能。A92S和A92S04先是点状分布在Ag膜表面，等Ag膜完全氧化后，形成连续致密的AgES(含少量的A92S04)薄膜。Ag纳米薄膜暴露在室温大气环境中氧化时，0

4、2开始只是化学吸附在薄膜表面，引起表面重构，没有A920生成。然后含S的小分子气体(如：H2S，S02)也化学吸附在薄膜表面，引起表面重构。最后Ag纳米薄膜在02和这些含S的小分子气体的作用下被大量氧化成圆锥形柱状的A92S和少量AgaS04颗粒。大气中的C02和N2不会与Ag纳米薄膜反应。关键词：Ag膜，磁控溅射，AZO薄膜，电磁屏蔽，氧化武汉理工大学硕士毕业论文AbstractWiththedevelopmentofelectronictechnologyandbroadapplicationofelectronicequipment，electromagneticra

5、diationhasallincreasingsignificantimpactonthehumanlife．Theelectromagneticinterferencecouldcausetwoproblems：(1)noisesignalandevenmalfunctionoftheelectronicappliance；(2)radiativedamageofthehumanbody．Thereforshieldingofelectromagneticradiationisveryimportant．Manyelectromagneticshieldingmateri

6、alsareusedtopreventelectromagneticinterference．Inmanyfieldssuchasmedicalinstrumentfordiagnosis，displayscreenofpersonalelectronicequipment，windowsofaerospacecraft，requestthematerialswithlargeshieldingeffectivenessandhightransparencyinthevisibleran．ge．Transparentelectromagneticshieldingglass

7、esaccordwiththeserequests．TheinnovationsinthisarticlearethatAZO／Ag：，‘AZOandAZO／Ag／AZO／Ag／AZOmultilayerfilmsareproducedbymagneticsputteringatroomtemperature；throughexperimentsandtheorycalculation，thestructureofthemultilayerfilmsisfixedwhatmakesuretheglasshashig