龙翩真空镀膜自动化手册(使用者)

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1、視窗版自動化鍍膜製程系統操作手冊　　使用單位：PreOptix　　編寫單位：永韶科技有限公司　　　版權所有：永韶科技有限公司　翻印必究編寫時間：200901/13版本：3.0　63視窗版自動化鍍膜製程系統目錄1.如何進入自動化鍍膜製程系統2.製程系統架構2.1檔案2.2硬體設定2.2功能測試2.3製程分析2.4製程監控2.5線上量測2.6其他功能3.鍍後檢視系統架構3.13.23.33.43.53.64.系統概要4.1系統特色4.2監控系統簡要631.如何進入自動化鍍膜製程系統:1.1開啟電腦進入視窗(Windows)

2、作業系統後,點選桌面捷徑(須注意開啟路徑是否正確)即可開啟畫面如下圖:注意：1)中間顯示圖框會出現兩次，第一次顯示，提示所載入之製程檔(***.tfc)，一般是上次最後一次進入之製程檔，提供操作者判斷所選擇之製程檔是否正確，不正確就需重選。2)按下OK會出現另一個提示圖框，顯示是否正確載入製程分析檔(***.mit)，若顯示無法讀取此檔資料，即可能上次新建立之製程檔時，沒有正確的分析及存檔，必需重新分析存檔，如此才能進入蒸著程序。3)再按下OK即可呈現下面圖示，此圖示即為此製程執行檔之主畫面。631.2Auto1執行檔

3、若出現問題，無法正常關閉時，請使用Windows之工作管理員將auto1.exe關閉，再開啟Auto1即可。2.系統架構:此系統主要功能分為下列七大項，將逐項說明。2.1檔案建立新製程檔、開啟已存製程檔、存檔及另存新檔2.2硬體設定電腦與硬體之連線設定如PLC，真空計，石英振盪…等2.3功能測試細部製程相關硬體測試2.4製程分析製程檔案編輯、材料檔編輯及膜層分析2.5製程監控自動蒸著、補層蒸著、製程相關資料檔編輯及各顯示畫面2.6線上量測可將廣波域當光譜儀量測,暗電流校正及重新取光2.7其他功能計算nk值及膜厚微調PS

4、:1)主功能或次功能出現反白時，表示此功能在此系統不提供或在此狀況下無法作動。2)主功能下方有訊息提示欄，顯示動作訊息，有助對系統動作的掌握與除錯。2.1檔案功能此主下拉功能細分下列幾項次功能2.1.1新製程檔2.1.2開啟製程2.1.3存檔2.1.4另存新檔2.1.5英文顯示2.1.6中文顯示2.1.7離開632.1.1新製程檔：游標移至檔案，按下滑鼠左鍵，即呈現如上圖之畫面，選擇”新製程檔”,即可進入新製程檔設定畫面,如圖2.1-01，按一下”顯示資料”即呈現如圖2.1-02，在此畫面下即可進行編輯。圖2.1-01

5、圖2.1-02PS:1)新製程檔名內定為NomeName.tfc，以前一次所開啓之檔案為樣板，建議另存新檔、更名後再進行編輯。2)如何編輯製程檔資料，詳細見後。632.1.2開啟製程：將游標移至”檔案”à”開啟製程”點選,即可出現如圖2.1-03之畫面。在此畫面下即可點選之前已存舊檔案，開啟舊檔後便可進行編輯(副檔名為*.tfc)。圖2.1-032.1.3存檔：將游標移至”檔案”à”存檔”點選,即可進行檔案儲存,需注意檔案存檔路徑以及檔名，如下圖2.1-04、圖2.1-05。必須密碼正確才允許存檔。圖2.1-04圖2.

6、1-052.1.4另存新檔：63將游標移至”檔案”à”另存新檔”點選,即可出現如圖2.1-06之畫面，在檔案名稱位置上輸入所要儲存之名稱(不需輸入副檔名，系統會自動添加)，再按存檔鈕即可存檔。圖2.1-062.1.5英文顯示:可將系統顯示切換為英文顯示，如圖2.1-07圖2.1-072.1.6中文顯示可將系統顯示切換為中文顯示2.1.7離開:點選”檔案”à”離開”,即可關閉此系統。632.2硬體設定功能此主下拉功能細分下列幾項次功能2.2.1主控PLC介面2.2.2真空計介面2.2.3石英振盪器介面2.2.4膜厚監控器

7、介面2.2.5離子鎗流量控制器介面2.2.6離子鎗陰極控制器介面2.2.7離子鎗陽極控制器介面2.2.8D/AChannel設定電腦與各項硬體連線設定如圖2.2-01,每項皆有內定值。系統中若有某些功能項反白，表示此系統沒有此項硬體設備。圖2.2-01要點說明：1)硬體設定功能是電腦監控系統與被控制設備之間訊號傳輸設定，其設定與硬體連接線有密切的一對一關係。2)在此系統中，硬體設定介面有下列幾項：1.RS232或RS485傳輸介面，其傳輸埠位置是以COM命名，如PLCRS232連接線插在PCCOM1上，其PLC傳輸設定

8、埠就需選擇COM1的位置，以此類推，如石英振盪器介面、真空計介面、離子鎗控制器介面…也是如此。2.膜厚控制器介面，一般指的是光學膜厚監視器3.D/AChannel設定，系統中之類比訊號控制通道，也是一對一關係。3)進入此項次功能，必須有通關密碼，如圖2.1-0463**此項功能深具破壞性，非製程維修專業人員請勿設定**2.2.1主