基于qplus技术的原子力显微镜测头及其校准方法的研究

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4、ｇｇＣｈｉｎａＪｉｌｉａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙＭａｒｃｈ２０１５，独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果，除了文中持别加Ｗ标注和致谢之处外，论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得中国计量学院或其他教育机构的学位或证书而使用过的材稱一。与我同工作的同志对本研巧所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明并表示了谢意。学位论文作者签名：签字日期：年月／ｒ日｝学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解中国计量学院有关保留、使用学位论文的规

5、定。特授权中国计量学院可将学位论文的全部或部分内容编入有关数、、据库进行检索，并采用影印缩印或扫描等复制手段保存汇编供查巧和借阅。（。同意学校向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘保密的学位论文在解密后适用本授权说明）学位论文作者签名：：导师签名／签字日期：年）月Ｋ日签字曰期：年＾月ｙ日中图分类号ＴＨ１１３５６７学校代码１０ＵＤＣ６２０密级公开辛ｆｉ奸《摩巧ＣＨＩＮＡＴＩＬＩＡＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＪ硕±学位论文ＭＡＳＴＥＲＤＫＳＥＲＴＡＨＯＮ基于ｑＰｌｕｓ技术的原子力显微镜测头及

6、其校准方法的研究ＤｅｖｅｌｏｍｅｎｔｏｆｔｈｅＡｔｏｍｉｃＦｏｒｃｅｐＭｉｃｒｏｓｃｏｅＳｃａｎｎｉｎＨｅａｄＢａｓｅｄｏｎｔｈｅｐｇＰｌｕｓＴｅｃｈｎｏｌｏａｎｄｉｔｓｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄｑｇｙ作者郑志月导师高思田李东升申请学位工学硕±培养单位中国计量学院学科专业精密仪器及机械研究方向纳米计量二０—五年Ｈ月致谢。光阴似箭，日月如棱，转眼间研巧生时代即将结束两年半的求学生涯中，我成长了许多、，受益匪浅，非常感谢硕±期间那些对我热屯帮助、加油打气的

7、老师和同学。本课题研究工作是在中国计量科学研究院纳米与新材料研究所完成的，深深地感谢我的导师高思田研究员，从课题的选择到实验的开展阶段，但凡遏到不解和疑惑、，高老师总是不厌其烦的提示和指导，让我更加有信屯和热情去学习一丝不苟的工作作风。高老师严肃的科学态度，严谨的科研精神，，平易近人的性格，深深地感染和激励着我，促使我更加严格地要求自己。特别感谢课题沮的李伟老师、鎮密的逻辑思维令人佩，他深厚的学术素养，任何时候遇到任何问题在李伟老师这里都会灰飞烟灭服得五体投地；特别感谢施玉书老师一，在中国计量科学研究院学习的年中，他

8、对我各方面的关也和帮助，让我学习了很多；特别感谢李琪老师、李适老师、陶兴付老师对我们的。各种支持