超光滑表面疵病的显微散射检测方法

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1、分类巧密级ＵＤＣ＾南責涼又犬掌ＮＡＮＪＩＮＧＵＮＩＶＥＲＳＩＴＹＯＦＳＣＩＥＮＣＥ＆ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ硕壬专业学位论文超光滑表面疵病的显微散射检测方法（题名和副题名）杨星宇（作者姓名）指导獅姓名王青副教授学位类别工程硕壬学科名称光学工程研究方向精密光学测试理论与技术论文提交时间２０１５．０３注１：注明《国际十进分类法ＵＤＣ》的类巧。声明．本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在本学位论文中，除了加标注和致谢的部

2、分外，不包含其他人已经发表或公布过的研究成果，也不包含我为获得任何教育机构的学位或学历而使用过的材料一。与我同工作的同事对本学位论文做出的贡献均已在论文中作了明确的说明。研究牛黎名；糾＾年＾月／日学位论文使用授权声明南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可Ｗ借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可Ｗ向有关部口或机构送交并授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容。对于保密论文。，按保密的有关规定和程序处理研究生签名；ｆｅ年与月日巧Ｉ硕±学位论文超淵棄

3、摘要一些高科技产业对精密仪器表面精度的要求越来越高现代生产和制造业中，，精密元件表面疵病对系统性能的影响很大，可能造成系统擁痕，使其不能正常工作，送就使化一、自动化、数字化的检测是得表面疵病的检测势在必行，如何做到高效个亟待解决的问题。本论文结合了航天九院对陀螺光腔内反镜的检测要求，在基于光散射效应的表面疵一套利用ＣＣＤ散射显微镜检测超光滑表面的系统病检测方法的基础上，研制了，该系统采用半导体激光光源，使，使光线定的角度入射到陀螺光腔内反镜上其表面疵病散射光进入显微成像《统，在暗背景下得到亮像，方便

4、了图像的后期处理，该方案解决了前阶段通过员工裸眼在显微镜下对疵病进行观察，造成效率低下，人眼疲劳，随机误差大等问题，；采用四轴电动旋转平移台，通过计算机控制实现系统的精确移动与定位、、实现了该检测系统的自动化高效化数字化，该旋转台可保证入射光从任意角度照射一到元件表面上，进入不到成像系，避免了某些疵病在定角度入射光照射下散射光太弱统，不能在暗背景下形成亮像的问题；对采集到的图像进行了中值滤波、高斯滤波的处一理疵病的图像进行融合，，把多角度入射光照射下同通过边缘检测实现了对疵病位置的数字化标注。关键词：

5、疵病检测，光散射，图像处理ＩＡｂｓｔｒａｃｔ硕古学位论文ＡｂｓｔｒａｃｔＩｎｍｏｄｅｍｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇｉｎｄｕｓｔｒｙ，ｔｈｅｒｅｉｓａｈｉｇｈｒｅｑｕｉｒｅｍｅｎｔｆｏｒｔｈｅｓｕｒｆａｃｅａｃｃｕｒａｃｙｏｆｐｒｅｃｉｓｉｏｎｉｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ．Ｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｄｅｆｅｃｔｓｏｆｏｐｔｉｃａｌｅｌｅｍｅｎｔｓｈａｖｅａｒｅａｔｉｎｆｌｕｅｎｃｅｏｎｉｔｓｇｏｔｉｃａｌｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｓｏｔｈｅｄｅｔｅｃｔｉｏ打ｏｆｓｕｒｆａ

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7、也ｄｐｔｑｉｆ化ｅｙｖｉｔｙｍｉ．Ｔｈｉｇｐｓｓｔｅｍｉｓｂａｓｅｄｏ。化ｔｓｃａｔｔｅｒｉｎｄｅｔｅｃｔｉｏ打ｕｓｉｎ沒ｌａｓｅｒａｓ化ｔｓｏｕｒｃｅａｎｄａＣＣＤｙｇｈｇ，ｇｇｈ，ｄｅｔｅｃｔｉｏｎ化ｒｅｃｅｉｖｅｔｈｅｉｍａｇｅｓｏｆｔｈｅｓｙｓｔｅｍ，ｉｔｈａｓｓｏｌｖｅｄｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｏｆｏｏｒｅｆｉｃｉｅｎｃｙａｎｄｐａｄｅｆｅｃｔ－ｅｅｃｔｓｎａｆｏｕｒ－ｓｅｅｃｌｏｗｒｅｃｉｓｉｏｎｏｆｔｒｉｔｏｎ站ｄｓｄｔｉｏｎｍｅｔｈｏｄ

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