基于微纳结构的太赫兹传感器

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1、＇．户—：１：＾ｆ＇‘／Ｍ麵！Ｉ矣击种成Ａ著ＵＮＩＴＹＯＦＩＣｓｃＣＥＡＮＤＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹＯＦＣＨＩＮＡＩＶＥＲＳＥＬＥＣＴＲＯＮＩＥＮ业学位硕±学位论文Ｉ专ＭＡＳＴＥＲＴＨＥＳＩＳＦＯＲＰＲＯＦＥＳＳＩＯＮＡＬＤＥＧＲＥＥ．．麵■儀．Ｉ论文题目基于微纳结构的太赫兹传感器专业学位类别工程硕壬Ｈ学号２０１３２２０４０４４５｜作者姓名徐盖奇指导教师张雅蠢教授？？？

2、’■‘＂■分类号密级注1UDC学位论文基于微纳结构的太赫兹传感器（题名和副题名）徐盖奇（作者姓名）指导教师张雅鑫教授电子科技大学成都（姓名、职称、单位名称）申请学位级别硕士专业学位类别工程硕士工程领域名称电子与通信工程提交论文日期2016.3.15论文答辩日期2016.5.15学位授予单位和日期电子科技大学2016年6月答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号。THETERAHERTZSENSORBASEDONMICRO-NANOSTRUCTUREAMasterThesisSu

3、bmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:MasterofEngineeringAuthor:XuGaiqiSupervisor:Prof.ZhangYaxinSchool:SchoolofPhysicalElectronics独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加Ｗ标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人己经发表或撰写过的研究成果，也不包含

4、为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名：化ｉ寺日期：如ｆ《年（月日论文使用繊本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并巧国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电子科技大学可Ｗ将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可Ｗ采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位

5、论文在解密后应遵守此规定）作者签名：傍Ｍ导师签名：么々日期：《年＾月日摘要摘要随着太赫兹源的出现，基于太赫兹技术的各种器件得到了良好的发展环境，再加上微纳结构—超材料的出现更进一步推进了太赫兹器件的快速发展。由于超材料的设计灵活性，各种太赫兹器件的发展均可以从此入手，因此近年来各种基于超材料的太赫兹器件相继出现，并且具备良好的性能，像典型的有基于超材料的太赫兹滤波器、太赫兹调制器、太赫兹吸收器以及太赫兹传感器。本文主要研究的是基于微纳结构的太赫兹传感器，确切的说是微流传感器。在对基于微纳结构

6、的太赫兹微流传感器进行研究前，我们首先需要对微纳结构—超材料进行广泛的研究，了解超材料的特性和一些常见结构的工作原理，如增强谐振研究和高Q值的研究都是必要的，当然对太赫兹传感器也需要做一定的调研工作，比如太赫兹传感器的结构设计和理论分析等，并且不同领域的传感器是有区别的，在有了一定的基础之后才能够进行我们的太赫兹微流传感器的研究工作。太赫兹微流传感器的研究涉及到多个方面，前期主要是器件的设计思路和利用我们的电磁仿真软件CST进行模型建立，中期主要是继续使用CST进行器件的结构模型优化和改进，后期便是实验验

7、证环节了，在此环节中我们还需要学习器件的加工制备。在经过长时间的理论研究之后，由本人在中科院苏州纳米所进行了微纳工艺的学习并且进行传感器的制备环节。加工好的芯片并不能直接进行测试，这是因为传感器的组成比较复杂，需要进行组装之后才能够形成一个传感系统。在一系列比较严密的封装之后我们对我们的器件进行了测试，测试结果表明我们的设计思路是正确可行的。关键字：太赫兹，超材料，传感器，CSTIABSTRACTABSTRACTWiththeappearenceofterahertzsource,avarietyofde

8、viceshasbeendevelopedbasedonTHztechnology,coupledwiththemicro-nanostructure,thatis,metamaterialfurtherpromotetherapiddevelopmentofTHzdevices.Sincethedesignofmetamaterialsisveryflexible,variousterahertzdevicescanbede