高旋磁性nicuzn铁氧体流延厚膜研究

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2、－，；＇ｊ＇—？ｆ独创性声明本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。据我所知，除了文中特别加标注和致谢的地方夕ｈ论文中不包含其他人已经发表或撰写过的研究成果，也不包含为获得电子科技大学或其它教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。作者签名；日期：公＞／备年月／多日论文使用授权本学位论文作者完全了解电子科技大学有关保留、使用学位论文的规定，有权保留并向国家有关部口或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权电

3、子科技大学可将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可（＾采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。（保密的学位论文在解密后应遵守此规定）作者签名；孤备＿导师签名：慕聲娜日期；２＞（？／占年＾＾月／名日分类号密级注1UDC（题名和副题名）（作者姓名）指导教师（姓名、职称、单位名称）申请学位级别学科专业提交论文日期2016.3.15论文答辩日期2016.5.15学位授予单位和日期20166答辩委员会主席评阅人注1：注明《国际十进分类法UDC》的类号。ResearchofHighGyromagneticNiCuZnFerriteThickFilm

4、byTapeCastingAMasterThesisSubmittedtoUniversityofElectronicScienceandTechnologyofChinaMajor:ElectronicScienceandTechnologyAuthor:DanChenSupervisor:A.P.XiaonaJiangSchool:SchoolofMicroelectronicsandSolid-StateElectronics摘要摘要NiCuZn铁氧体材料以饱和磁化强度可调节范围宽、居里温度高、铁磁共振线宽较窄等优点，被广泛应用于微波器件中。毫米波铁氧体环行器是毫米波雷达和通信系统的

5、关键部件，起着使电磁波单向传输的重要作用。铁氧体材料性能对铁氧体环行器的性能起决定性作用。近年来，对更薄、更轻、更小型化的电子元器件的需求加速了铁氧体薄膜/厚膜材料的发展。本文对NiCuZn铁氧体厚膜流延和烧结等关键工艺进行研究，着重分析铁氧体流延厚膜物相、显微形貌及材料旋磁性能和微波磁损耗特性，最终制备出高旋磁性NiCuZn铁氧体厚膜材料。实验结果表明：(1)浆料粘度、流延速率、干燥温度等均对流延生带成型质量有重要影响：粘度低于320mPa·s，生带将无法剥离且呈粉末状；干燥温度高于40ºC，生带则出现成型不均匀龟裂；叠层数量对烧结后的厚膜样品的物相、磁性能均影响不大，选择时可结合实际使

6、用进行灵活调整。(2)当取定保温时间为1.5h，烧结温度在1020~1080ºC范围内变化，样品的饱和磁化强度在1060ºC取得最大值5140Gs；取定1040ºC烧结，延长保温时间至3.0h，样品的饱和磁化强度略增为5068Gs。(3)基于弛豫理论分离不同烧结条件下的铁磁共振线宽，发现气孔致宽对铁磁共振线宽影响最大，降低表面粗糙度可使粗糙度致宽降至总线宽的10%以内。最后，基于上述NiCuZn铁氧体厚膜材料，利用HFSS软件对两种结构类型的Ka波段微带环行器进行仿真设计，仿真结果表明：(1)单Y结微带环行器S11＜-33dB，

7、S21

8、＜0.86dB，VSWR＜1.20，中心频率34GH

9、z的带宽为6.0GHz；(2)双Y结微带环行器有S11＜-31dB，

10、S21

11、＜0.72dB，VSWR＜1.25，中心频率34GHz的带宽为8.2GHz。关键词：NiCuZn铁氧体厚膜，流延工艺，铁磁共振线宽，Ka波段，微带环行器仿真IABSTRACTABSTRACTNiCuZnferritematerialwithadjustablesaturationmagnetization,highCurietemperatur