rofin激光器使用简明说明书

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1、Rofin激光器使用简明说明书控制电路板：控制电路板主要包括：●电源，主开关，保险，继电器，安全装置，电机保护开关●HV启动中的高频发生器以及高压产生单元●计算机部分包括：CPU卡，数字输入，继电器输出，脉冲坡调发生单元，一个通用的外部控制系统接口●键盘和显示（控制终端），控制终端可以装在任何其他本类型激光器电路板上面板符号说明NO.:名称功能符号Q1MainSwitch机械开关连接主电源-H1MainisOn信号灯，灯亮表示主电源闭合-H2HVisOn信号灯，灯亮表示高压闭合-H3Shutterisclosed信号灯，灯亮表示光闸关闭-H4Shutter

2、isopen信号灯，灯亮表示光闸打开-S01Emergencyoff机械按钮，按下后，所有主接触器后的电路全部断开。除了Q1里闭合的那一部分仍然保持连通。-S1Mainsoff打开主接触器的按钮，取消S2操作，所有主接触器后的电路全部断开。除了Q1里闭合的那一部分仍然保持连通。○-S2Mainson按下后给以下单元供电：·控制电柜的风扇·高频发生器风扇·高频放电管电压模块︱-S3HVOff高压断开按钮○-S4HVON高压闭合按钮（前提：光闸必须关上）︱-S5ShutterClose光闸关闭按钮-S6ShutterOpen光闸打开按钮-S7KeySwitch

3、ShutterLocked在此情况下，光闸不能被打开○-S7KeySwitchShutterEnable光闸在此情况下可以被打开︱-S8KeySwitchModeSelect在此状态下，高压和光闸都锁住不能开○手动模式自动模式每日启动程序1、打开冷却水（如果采用水冷机组，则打开水冷机组）2、打开面板上的Q1开关3、按下“MAINSON”按钮信号灯“MAINSISON”闪烁激光器里的风机启动“MAINSON”出现在显示屏上4、在显示屏上出现如下信息“WATERTEST”大约10秒后“FLAMENTON”大约30秒后“HVREADY”如果有错误信息出现，则排除

4、确认后按下“RETURN”5、按下高压开关按下“HIGHVOLTAGEON”按钮“HIGHVOLTAGEISON”灯闪烁激光器警告灯发光此时激光器可以开始操作了，可以通过键盘来选择程序6、LASERBEAMON在按下这个按钮之前确认需要出光，需要进行所有必须的安全防护工作。关激光器1、按下“LASERBEAMOFF”键，关闭激光器光闸2、按下“HIGHVOLTAGE(HV)OFF”关闭高压3、按下“MAINSOFF”断开主电源4、关闭冷水机组5、关闭Q1开关主要报警信号输入说明后果文字显示主电源浮动>±10％或逆相序主电源关闭控制系统关闭高压关闭无文字显示

5、真空管抽真空（真空检查或激光气体更换时）高压锁定EVACUATION正在更换激光气体在服务菜单中选择相应键可以实现此功能高压锁定GASEXCHANGE真空管将冲入激光气体高压锁定GASFILLING主电源关闭主电源关闭或等待打开高压锁定MAINSOFF真空检查激活此功能可以在服务菜单中打开高压锁定VACUUMTESTX100.2X100.4在打开主电源后，计算机将等待3分钟以调节冷却水流量，为打开射频管做准备。高压锁定WATERTEST警告信号：腔内激光气压超出限制，这个信号表示激光气体交换十分必要。无CAVITYPRESSUREX100.7警告信号：激光

6、气瓶内气压低或是GASBOTTLEPRESSUER警告信号：最近72小时内激光器气体没有更换，建议在24小时内换气，否则高压会锁住。GASCHANGEINMAX24hX130.6警告信号：真空泵电机回路空开断开1>VACUUMPUMPX140.4X100.5ALLX24V电源断开24VSUPPLYCANBUSERROR冷却水温度报警COOLINGWATERTEMPEVACUATIONTIME射频风扇压力过小，或相序接反高压锁定FANRFGENERATOR换气错误高压锁定GASCHANGEFAULT需要换气高压锁定GASCHANGEREQUIRED充气时间超

7、过高压锁定GASFILLTIMEOUT射频电源过流高压锁定GRIDCURRENT高压监控高压锁定HVMONITORING高压过载高压锁定HVOVERCURRENTHV软启动错误高压锁定HVSOFTSTARTFAULT电机回路或激光器控制电路风扇断开高压锁定1>FANS高压过流高压锁定LAOVERCURRENT激光器门锁信号高压锁定INTERLOCKDOORS在HV锁定下K1没有断开主电源和高压锁定K1FAULT在主电源锁定下K3没有断开主电源和高压锁定K3FAULT电流监控继电器没有反馈高压锁定LASERWARNINGLAMP最大最小激光功率超出限制高压锁

8、定LASERPOWERLIMITS激光功率测量电流小于3.5高压锁